Tac Coating Susceptor

Rotasi rotasi rotasi vetek semikonduktor TAC yaiku minangka komponen utama kanggo penanganan wafer ing proses semikonduktor. ItsTac apaKitaNduwe toleransi suhu dhuwur (titik lebur nganti 38080 ° C), stabilitas kimia lan resistensi karat, sing njamin proses tliti lan kualitas tinggi.

Tac Coating Susceptor (Tantalum Carbon Counter Rotation Susceptor) minangka komponen peralatan utama sing digunakake ing proses semikonduktor. Biasane dipasang ingDepepensi uap kimia (CVD)Lan epitexy molekin (MBE) peralatan kanggo ndhukung lan muter wafers kanggo njamin pemendakan materi seragam lan reaksi sing efisien. Produk jinis iki ningkatake urip layanan lan kinerja peralatan ing suhu dhuwur lan lingkungan korosif kanthi nutupi landasanLapisan Karbon (Tac).

Susceptor Rotasi Rotasi Tac biasane dumadi saka lapisan tAC lan grafit utawa karbida silikon minangka bahan substrat. Tac minangka bahan keramik suhu sing dhuwur banget kanthi titik leleh sing dhuwur banget (titik lebur nganti 3880 ° C), atose (Vickers Hardness udakara 2000 HK) lan resistensi karat kimia sing apik banget. Semikonduksi vetek bisa kanthi efektif lan kanthi merata nutupi lapisan karbon tantalum ing bahan substrat liwat teknologi CVD.

Susceptor rotasi biasane digawe saka konduktivitas termal lan bahan kekuatan dhuwur (grafit utawakarbida silikon), sing bisa menehi dhukungan mekanik lan stabilitas termal ing lingkungan suhu sing dhuwur. Kombinasi sing sampurna saka loro nemtokake kinerja susceptor rotasi rotasi lapisan tAC kanthi nyengkuyung lan muter wafers.

TAC Lapisan Rotasi Susceptor ndhukung lan muter wafer ing proses CVD. Wong sing keret saka TAC udakara 2000 HK, sing ngidini kanggo nerusake gesekan materi lan muter peran dhukungan sing apik, saéngga bisa nggawe bensin reaksi kasebut kanthi merata diadegake. Ing wektu sing padha, toleransi suhu dhuwur lan resistensi korosi lapisan TAC bisa digunakake kanggo wektu sing suwe kanthi suhu sing suwe lan atmosfer sing efektif, sing efektif ngindhari kontaminasi wafer lan operator.

Kajaba iku, konduktivitas termal TAC yaiku 21 w / m · K, sing duwe transfer panas sing apik. Mula, Susceptor Rotasi Rotasi Tac bisa dadi panas ing kahanan suhu dhuwur lan mesthekake keseragaman proses pemendhot gas liwat gerakan rotasi, mula njaga konsistensi lan kualitas tinggiWutah wafer.

Lapisan karbida tantalum (tac) ing bagean salib mikroskopis：

Properties fisik saka lapisan TAC：

Toko Potongan Susceptor Rotasi Tac: