Produk

VETEK CVD Silicon Carbide (SiC) Coated Graphite RTP RTA Carrier dirancang kanggo proses termal kanthi cepet (RTP) lan sistem anil termal kanthi cepet (RTA) sing digunakake ing manufaktur semikonduktor. Diprodhuksi saka grafit isostatik kemurnian dhuwur kanthi lapisan CVD SiC sing padhet, nyedhiyakake stabilitas termal sing luar biasa, keseragaman suhu sing apik, resistensi kimia sing unggul, lan generasi partikel ultra-rendah. Direkayasa kanggo nahan siklus pemanasan lan pendinginan kanthi cepet, operator kasebut njamin dhukungan wafer sing dipercaya lan kinerja proses sing stabil kanggo anil wafer silikon lan aplikasi semikonduktor suhu dhuwur liyane.

VETEK CVD TaC Coated Susceptor nggabungake substrat grafit isostatik kemurnian dhuwur kanthi lapisan tantalum karbida (TaC) CVD sing padhet kanggo menehi stabilitas termal sing luar biasa, tahan korosi, lan generasi partikel sing sithik kanggo nuntut epitaksi semikonduktor. Dirancang kanggo wutah epitaxial SiC, GaN, lan AlN, nyilikake kontaminasi, nambah keseragaman suhu wafer, lan ngluwihi umur layanan komponen ing proses MOCVD lan CVD suhu dhuwur.

Susceptor RTP sing dilapisi CVD SiC saka VeTek Semiconductor nyedhiyakake pangolahan termal kanthi cepet (RTP) lan peralatan anil termal kanthi cepet (RTA) sing digunakake ing saindhenging manufaktur semikonduktor. Substrat digawe saka grafit isostatik kemurnian dhuwur, ing endi lapisan silikon karbida (SiC) CVD sing padhet disimpen. Konstruksi iki ngasilake konduktivitas termal sing dhuwur, inertness kimia sing kuat, lan stabilitas dimensi sing tetep sajrone siklus suhu dhuwur sing bola-bali.

Kanggo aplikasi pertumbuhan kristal semikonduktor sing nuntut, crucible grafit telung potong VETEK nyedhiyakake stabilitas, kemurnian, lan kerataan termal sing dibutuhake proses kasebut. Digawe saka grafit isostatik kelas dhuwur-karo lapisan SiC, TaC, utawa PyC opsional-desain pamisah kasebut ora mung kanggo penak. Aktif nyuda stres termal, nggawe pangopènan luwih cepet, lan tetep nindakake siklus sawise siklus.

VETEK PG (Pyrolytic Graphite) Dilapisi Ring wis waé-dibangun kanggo semikonduktor termal lapangan lan lingkungan wutah kristal ngendi distribusi panas seragam lan suhu stabil non-negotiable. Diwiwiti karo basis grafit kemurnian dhuwur lan rampung karo lapisan Pyrolytic Graphite kandhel, komponèn iki ngirim konduktivitas termal ngédap, stands nganti kejut termal abot, lan nahan dimensi liwat long roto ing suhu nemen. Sampeyan bakal nemokake dering iki digunakake sacara ekstensif ing tungku wutah kristal, oven suhu dhuwur, lan rakitan lapangan termal kanggo semikonduktor-ing endi wae sing kontrol suhu pas langsung drive repeatability proses lan kualitas produk final.

Yen sampeyan wis nate ngatasi aliran gas sing ora rata utawa kontaminasi partikel ing kamar deposisi, VETEK CVD SiC Coated Graphite Shower Head dirancang kanggo ngatasi. Diwiwiti karo grafit isostatik kemurnian dhuwur kanggo stabilitas termal lan mesin sing gampang, banjur entuk lapisan CVD Silicon Carbide (SiC) sing padhet sing nutupi permukaan, tahan gas korosif (kayata HCl utawa NF₃), lan nyegah outgassing. Asilé yaiku piring distribusi gas sing ngirim aliran seragam ngliwati wafer, nangani epitaksi suhu dhuwur, lan tahan luwih dawa tinimbang grafit utawa kuarsa kosong - dadi komponen sing dipercaya kanggo proses CVD, PECVD, MOCVD, silikon epitaksi, lan epitaksi SiC. Kita uga nawakake pola lan ukuran bolongan khusus, amarga ora ana rong reaktor sing padha.