Produk

Aksesoris Solid SiC VeTek Semiconductor kanggo platform Aixtron G10-SiC minangka komponen karbida silikon sing kemurnian dhuwur, sing dirancang kanggo lingkungan termal lan kimia sing nuntut pertumbuhan epitaxial SiC. Bagian kasebut nyedhiyakake stabilitas suhu dhuwur sing luar biasa, resistensi kimia, lan generasi partikel ultra-rendah, ndhukung konfigurasi reaktor planet 9 × 150 mm / 6 × 200 mm sing digunakake ing manufaktur piranti daya.

Layanan Pembersihan Profesional VETEK kanggo Bagian Grafit Dilapisi CVD SiC minangka layanan teknis khusus sing dirancang kanggo susceptor peralatan Aixtron / Veeco MOCVD lan komponen grafit sing digunakake ing proses epitaxial GaN / AlN / AlGaN. Proses reresik kepemilikan kita ngilangi efek memori permukaan, mulihake aliran gas sing stabil ing reaktor, lan kanthi ketat nglindhungi lapisan 100 µm CVD SiC kanthi kekandelan nol mutlak lan nol residu logam.

VETEK CVD SiC Coated Graphite Susceptor kanggo Wafer Carrier minangka komponen dhukungan wafer kinerja dhuwur sing dirancang kanggo proses epitaksi semikonduktor. Produk kasebut nggunakake grafit kemurnian dhuwur minangka substrat lan dilapisi lapisan silikon karbida (SiC) seragam CVD, nyedhiyakake stabilitas termal, resistensi kimia, lan kontrol partikel sing apik. Minangka komponen susceptor grafit kritis, iku langsung ndhukung wafer nang kamar reaksi lan mbantu njaga distribusi suhu seragam lan kahanan wutah epitaxial stabil.

VeTek Semiconductor ngirimake bubuk premium High Purity Silicon Carbide (SiC) sing dirancang khusus kanggo Pertumbuhan Kristal SiC (proses PVT), produksi substrat semikonduktor, lan keramik fungsional canggih. Diproses liwat teknologi pemurnian ultra-resik, bahan baku SiC kemurnian dhuwur kita nyedhiyakake tingkat logam jejak sing luar biasa, kinerja sublimasi sing bisa direproduksi, lan kualitas batch-to-batch sing konsisten banget kanggo nyukupi syarat manufaktur semikonduktor sing ketat.

VETEK High Purity Quartz Wafer Boat kanggo peralatan semikonduktor TEL diprodhuksi saka bahan kuarsa kelas semikonduktor lan dirancang kanggo penanganan wafer ing proses suhu dhuwur kayata difusi, oksidasi, anil, lan CVD. Kanthi stabilitas termal sing apik, resistensi kimia, lan karakteristik kontaminasi sing sithik, nyedhiyakake dhukungan wafer sing dipercaya kanggo aplikasi manufaktur semikonduktor.

VETEK Porous TaC Coated Graphite Ring minangka komponen lapangan termal sing dirancang kanggo pertumbuhan kristal tunggal SiC liwat proses PVT (Physical Vapor Transport). Diprodhuksi saka grafit keropos kanthi kemurnian dhuwur lan dilapisi tantalum carbide (TaC) nggunakake teknologi CVD. Desain kasebut ngarahake stabilitas suhu dhuwur, ketahanan kimia, lan kinerja lapangan termal sing dikontrol. Kanthi nyilikake kontaminasi lan ndhukung konsistensi proses, komponen iki nyumbang kanggo asil wutah kristal SiC reproducible.