Produk

Halfmoon minangka komponen grafit sing digunakake ing reaktor LPE SiC, utamane dipasang ing zona panas kamar. Sanajan ora langsung ngubungi wafer, nanging isih nduweni peran ing stabilitas aliran gas lan operasi reaktor sajrone pertumbuhan epitaxial. Kanggo nangani suhu dhuwur lan kondisi proses reaktif, komponen kasebut biasane dilindhungi karo lapisan CVD SiC, dene lapisan TaC uga kasedhiya kanggo sawetara aplikasi. VETEK uga nyedhiyakake insulasi grafit lan bagean grafit sing dilapisi liyane kanggo sistem epitaksi SiC.

Ring ndhuwur epi SiC 8-inch minangka bagean hardware kanggo reaktor semikonduktor. Kerjane ing sistem epitaksi Si / SiC lan MOCVD / CVD. dering iki stabilizes panas nang kamar. Uga ngontrol aliran gas. Bahan kasebut yaiku CVD Silicon Carbide kemurnian dhuwur. Ora duwe masalah outgassing grafit. Uga nyuda kontaminasi partikel sajrone produksi. We welcome pitakonan Panjenengan.

VETEK wis ngembangake rasa alus serat karbon kanthi nggunakake kombinasi kardi presisi lan teknologi jet udara. kita bisa njamin struktur serat Highly seragam saindhenging materi. Dibangun kanggo tahan panas banget saka tungku industri nalika tetep entheng banget. Kanthi massa termal sing kurang lan tekstur sing fleksibel, gampang dipasang lan pas menyang pojok tungku, mbantu ngoptimalake efisiensi energi ing saben siklus.

Kualitas bahan sumber awal minangka faktor utama sing mbatesi asil wafer ing produksi kristal tunggal SiC. VETEK's 7N High-Purity CVD SiC Bulk nawakake alternatif polycrystalline kapadhetan dhuwur kanggo bubuk tradisional, khusus direkayasa kanggo Pengangkutan Uap Fisik (PVT). Kanthi nggunakake wangun CVD akeh, kita ngilangi cacat wutah umum lan nambah throughput tungku. Looking nerusake kanggo pitakonan Panjenengan.

Ing fabrikasi canggih kaya Difusi, Oksidasi, utawa LPCVD, prau wafer ora mung wadhah-iku bagean kritis saka lingkungan termal. Ing suhu tekan 1000 ° C nganti 1400 ° C, bahan standar asring gagal amarga warping utawa outgassing. Solusi SiC-on-SiC VETEK (substrat kemurnian dhuwur kanthi lapisan CVD sing padhet) dirancang khusus kanggo nyetabilake variabel panas dhuwur kasebut.

Suhu dhuwur lan lingkungan reaktif kimia MOCVD, perlindungan kamar reaksi lan presisi kontrol proses sing paling penting. VETEK nyedhiyakake komponen kuarsa Opaque (Putih Susu) premium, sing dirancang khusus kanggo tumindak minangka "ruang resik" lan "gerbang presisi" ing peralatan semikonduktor sampeyan. Komponen kasebut nawakake solusi sing larang regane nanging kinerja dhuwur kanggo ngatur radiasi termal lan nyegah kontaminasi.