Solid Silicon Carbide Kab

VeTek Semiconductor Solid Silicon Carbide minangka komponen keramik penting ing peralatan etsa plasma, silikon karbida padhet (CVD silikon karbida) bagean ing peralatan etching kaleburing fokus, showerhead gas, tray, dering pinggiran, lan sapiturute. Amarga reaktivitas lan konduktivitas saka silikon karbida padhet (CVD silikon karbida) kanggo klorin - lan gas etsa sing ngemot fluorine, bahan kasebut minangka bahan sing cocog kanggo dering fokus peralatan plasma lan liyane. komponen.

Contone, dering fokus minangka bagéyan penting sing diselehake ing njaba wafer lan kontak langsung karo wafer, kanthi ngetrapake voltase menyang dering kanggo fokus plasma sing ngliwati dering, saéngga fokus plasma ing wafer kanggo nambah keseragaman. pangolahan. Ring fokus tradisional digawe saka silikon utawakuarsa, Silicon konduktif minangka bahan ring fokus umum, iku meh cedhak konduktivitas wafer Silicon, nanging kekurangan punika resistance etching miskin ing plasma fluorine-ngemot, etching mesin bahan bagean asring digunakake kanggo periode wektu, bakal ana serius. kedadean karat, akeh nyuda efficiency produksi.

SRing Fokus SiC olidPrinsip Kerja：

Working Principle of Solid SiC Focus Ring

Perbandingan Ring Fokus Berbasis Si lan Cincin Fokus CVD SiC:

Perbandingan Si Based Focusing Ring lan CVD SiC Focusing Ring
Item	lan	CVD SiC
Kapadhetan (g/cm³)	2.33	3.21
Band gap (eV)	1.12	2.3
Konduktivitas termal (W/cm ℃)	1.5	5
CTE (x10^-6/ ℃)	2.6	4
Modulus elastis (GPa)	150	440
Kekerasan (GPa)	11.4	24.5
Resistance kanggo nyandhang lan karat	mlarat	Banget

VeTek Semiconductor nawakake bagean silikon karbida padhet (CVD silikon karbida) kaya dering fokus SiC kanggo peralatan semikonduktor. Cincin fokus karbida silikon sing padhet ngluwihi silikon tradisional saka segi kekuatan mekanik, resistensi kimia, konduktivitas termal, daya tahan suhu dhuwur, lan resistensi etsa ion.

Fitur utama ring fokus SiC kalebu:

Kapadhetan dhuwur kanggo nyuda tingkat etsa.

Insulasi sing apik banget kanthi bandgap sing dhuwur.

Konduktivitas termal sing dhuwur lan koefisien ekspansi termal sing kurang.

Resistance lan elastisitas impact mekanik sing unggul.

Atose dhuwur, tahan nyandhang, lan tahan korosi.

Diprodhuksi nggunakakePlasma-enhanced chemical vapor deposition (PECVD)Techniques, dering fokus SiC kita nyukupi panjaluk pangolahan etsa ing manufaktur semikonduktor. Dheweke dirancang kanggo tahan daya lan energi plasma sing luwih dhuwur, utamane ingcapacitively coupled plasma (CCP)sistem.

Dering fokus SiC VeTek Semiconductor nyedhiyakake kinerja lan keandalan sing luar biasa ing manufaktur piranti semikonduktor. Pilih komponen SiC kanggo kualitas lan efisiensi sing unggul.

View as

Bahan murni CVD materi CVD

Bahan mentah CVD SIC sing disiapake dening CVD minangka bahan sumber paling apik kanggo wutah kristal karbida kanthi transportasi uap fisik. Kapadhetan bahan mentah CVD sic sing diwenehake dening para dokter semikonduktor luwih dhuwur tinimbang partikel cilik sing dibentuk dening gasis spontan kanggo lan c-sing ngemot gas, lan ora mbutuhake tungku sing darmabakti, lan ora entuk tingkat penguapan sing meh terus-terusan. Bisa tuwuh kristal tunggal sing apik banget. Ngarepake priksaan sampeyan.

Ndeleng Liyane >> Kirim Pitakonan >>

Carrier wafer SIP sing padhet

Vetek Semikonduktor Carrier SIC-Semerduktor dirancang kanggo lingkungan suhu sing dhuwur lan lingkungan tahan karat ing semikonxial ampitoxial lan cocog kanggo kabeh jinis proses pabrik wafer kanthi syarat kesucian sing akeh. Vetek Semiconduktor minangka supplier operator wafer utama ing China lan ngarepake dadi mitra jangka panjang ing industri semikonduktor.

Ndeleng Liyane >> Kirim Pitakonan >>

Kepala Pancuran Bunder Siklus Siklus

Vetek Somiconductor minangka produsen peralatan semikonduktor utama ing China lan pabrikan profesional lan supplier supplier of SCP-shower shower endhese. Bentuk semak disk kita digunakake ing produksi pemetangan film tipis kayata proses CVD kanggo njamin untu bensin reaksi seragam lan minangka salah sawijining komponen inti tungku CVD.

Ndeleng Liyane >> Kirim Pitakonan >>

SIC SEALE SEAL

Minangka produsen produk SIC supades SIC supade ing China. Vetek semiconducto SIC Sealing Part yaiku komponen pengapuran kinerja dhuwur sing digunakake ing pangolahan semikonduktor lan suhu sing dhuwur banget lan proses tekanan tinggi. Sugeng rawuh konsultasi luwih lengkap.

Ndeleng Liyane >> Kirim Pitakonan >>

Sirah pada mobil silikon

Silikon mandhegake karbida karbida duwe toleransi suhu sing apik, stabilitas kimia, konduktivitas termal lan kinerja distribut gas sing apik, sing bisa nggayuh distribusi gas seragam lan ningkatake kualitas film. Mula, biasane digunakake ing proses suhu sing dhuwur kayata deposisi uap kimia (CVD) utawa pemilikan uap fisik (PVD). Sugeng rawuh konsultasi luwih saka kita, vetek semikonduktor.

Ndeleng Liyane >> Kirim Pitakonan >>

Cincin Silik Carbide Carbide

Minangka Produsen Produk Silikon Carbide Profesional ing China, Vetek Sikmonduktor Carbide Carbide Carbide Segel digunakake ing peralatan pangolahan semikonduktor amarga kekuatan mekanik, kekuatan mekanik lan konduktivitas mekanik lan konduktivitas berermal. Apike banget kanggo proses sing ana suhu sing dhuwur lan gas reaktif kayata CVD, PVD lan Plasma Etching, lan minangka pilihan materi ing semikonduktor. Pitakon luwih lengkap sampeyan.

Ndeleng Liyane >> Kirim Pitakonan >>

Minangka Produsen lan supplier profesional Solid Silicon Carbide Kab ing China, kita duwe pabrik dhewe. Apa sampeyan mbutuhake layanan khusus kanggo nyukupi kabutuhan wilayah tartamtu utawa pengin tuku sing digawe lan awet sing digawe ing China, sampeyan bisa ninggalake pesen.

Kode QR

Babagan awake dhewe

Produk

Hubungi Kita

Telpon
+86-18069220752
Fax
+86-579-87223657
E-mail
anny@veteksemi.com
alamat
Jalan Wangun, Street Ziyang, Wuyi County, Jinhua City, Provinsi Zhejiang, China

Menu Web

Panelusuran Produk

Basa

Menu metu

Solid Silicon Carbide Kab

Fitur utama ring fokus SiC kalebu:

Bahan murni CVD materi CVD

Carrier wafer SIP sing padhet

Kepala Pancuran Bunder Siklus Siklus

SIC SEALE SEAL

Sirah pada mobil silikon

Cincin Silik Carbide Carbide

Kirim Pitakonan

Kode QR

Babagan awake dhewe

Produk

Hubungi Kita

Telpon

Fax

E-mail

alamat