Produk

Carbide Solid Solid

Vetek semikonduktor solicon karbida yaiku komponen keramik penting ing peralatan plasma etching, karbida soliconCvd silikon karbida) bagean ing peralatan etching kalebuFokus Rings, Gas Showerheas, dering, cincin pinggir, lsp. Amarga réaktivitas silikon karbida lan cvd silikon) menyang klorin - lan bahan sing cocog karo cvd, minangka bahan sing cocog karo cvd, minangka bahan sing cocog kanggo peralatan sing cocog karo cemara lan komponen liyane.


Contone, cincin fokus minangka bagean penting sing diselehake ing njaba wafer lan langsung kontak karo wafer, kanthi ngetrapake voltase menyang cincin kasebut, kanthi fokus ing plasma kanggo nambah keseragaman kanggo ngolah pangolahan. Dering fokus tradisional digawe saka silikon utawaKuarsa, Silikon konduktivitas minangka bahan cincin fokus sing umum, meh cedhak karo tumindak wafers silikon, nanging kekurangan tahan serangga fluorine, bakal ana efisiensi produksi serius.


SOliid Fokus FokusPrinsip kerja

Working Principle of Solid SiC Focus Ring


Perbandingan ring basis Adhedhasar lan cvd fokus CRD:

Perbandingan karo Dering fokus ing Adhedhasar lan CVD Fokus Cincin
Item Lan CVD SIC
Kapadhetan (g / cm3) 2.33 3.21
Band Gap (EV) 1.12 2.3
Konduktivitas termal (w / cm ℃) 1.5 5
Cte (x10-6/ ℃) 2.6 4
Modulus elastis (GPA) 150 440
Hardness (GPA) 11.4 24.5
Rintangan kanggo nyandhang lan korosi Miskin Banget


Vetek Somiconduktor nawakake karbida solor canggih canggih (CVD karbohicon karbida) kaya SIC Fokus dering SIC kanggo peralatan semikonduktor. Silikon solid kita fokus ing cincin tradisional Outperform ing babagan kekuatan mekanik, resistensi kimia, kekurangan suhu, lan tahan ulang Etate-iron.


Fitur utama saka cincin fokus sik kalebu:

Kapadhetan sing dhuwur kanggo tarif etching suda.

Penebat banget karo bandgap dhuwur.

Konduktivitas termal lan koefisien kurang ekspansi termal.

Rintangan lan kelainan mekanik sing unggul.

Hardness, nyandhang resistensi, lan resistensi karat.

Diprodhuksi nggunakakePLASMA-Meningkat Dipendheksi kimia (PECVD)Teknik, cincin fokus sik kita ketemu panjaluk proses etching ing pabrik semikonduktor. Dheweke dirancang kanggo nahan daya lan tenaga plasma sing luwih dhuwur, khusus ingPlasma sing bisa digayuh (CCP)Lanstem.

Cincin fokus vetek semikonduktor menehi kinerja lan linuwih sing luar biasa ing manufaktur piranti semikonduktor. Pilih komponen SIC kanggo kualitas lan efisiensi.


View as  
 
Sirah pada mobil silikon

Sirah pada mobil silikon

Silikon mandhegake karbida karbida duwe toleransi suhu sing apik, stabilitas kimia, konduktivitas termal lan kinerja distribut gas sing apik, sing bisa nggayuh distribusi gas seragam lan ningkatake kualitas film. Mula, biasane digunakake ing proses suhu sing dhuwur kayata deposisi uap kimia (CVD) utawa pemilikan uap fisik (PVD). Sugeng rawuh konsultasi luwih saka kita, vetek semikonduktor.
Cincin Silik Carbide Carbide

Cincin Silik Carbide Carbide

Minangka Produsen Produk Silikon Carbide Profesional ing China, Vetek Sikmonduktor Carbide Carbide Carbide Segel digunakake ing peralatan pangolahan semikonduktor amarga kekuatan mekanik, kekuatan mekanik lan konduktivitas mekanik lan konduktivitas berermal. Apike banget kanggo proses sing ana suhu sing dhuwur lan gas reaktif kayata CVD, PVD lan Plasma Etching, lan minangka pilihan materi ing semikonduktor. Pitakon luwih lengkap sampeyan.
Blok SIC CVD kanggo Wutah Kristal SIC

Blok SIC CVD kanggo Wutah Kristal SIC

CVD SIC Blok kanggo tuwuh Kristal SIC, minangka bahan mentah sing anyar sing dikembangake dening detek semanik. Nduwe rasio output sing dhuwur lan bisa tuwuh kreta tunggal karbida sing gedhe, gedhe, yaiku bahan generasi kaloro kanggo ngganti bubuk sing digunakake ing pasar saiki. Sugeng rawuh kanggo ngrembug masalah teknis.
Teknologi anyar kristal sic

Teknologi anyar kristal sic

Kesucian Silikon Silikon High Silikon (SIC) dibentuk dening deposisi uap kimia (CVD) diijolake digunakake minangka bahan sumber kanggo ngangkut kristal vapor (Pvt). Ing SIC TEKNOLOGI Anyar TEKNOLOGI, Bahan sumber dimuat menyang kribil lan diuripake menyang kristal wiji. Gunakake blok CVD-SIC sing dhuwur kanggo dadi sumber kristal sik sing tuwuh. Sugeng rawuh kanggo netepake kemitraan karo kita.
Kepala Pancuran CVD SIC

Kepala Pancuran CVD SIC

Vetek Semiconduktor minangka produsen sirah mandi CVD SIC lan inovator ing China.We wis khusus ing Bahan SIC kanggo stabil cincin SIC sing dipilih minangka stabilitas mekanik sing apik banget, kekuwatan mekanik sing apik banget kanggo erosi plasma sing apik banget. Kita ngarep-arep dadi mitra jangka panjang ing China.
SIC STAD SUMBER

SIC STAD SUMBER

Vetek Semiconduktor minangka produsen sirah mandi SIC lan inovator ing China.We wis khusus ing Bahan SIC kanggo stabil heramis sing apik banget, kekuatan mekanik sing apik banget kanggo dadi mitra jangka panjang ing China.

Veteksemicon solid silicon carbide is the ideal procurement material for high-temperature, high-strength, and corrosion-resistant components used in semiconductor and industrial applications. As a fully dense, monolithic ceramic, solid silicon carbide (SiC) offers unmatched mechanical rigidity, extreme thermal conductivity, and exceptional chemical durability in harsh processing environments. Veteksemicon’s solid SiC is specifically developed for critical structural applications such as SiC wafer carriers, cantilever paddles, susceptors, and showerheads in semiconductor equipment.


Manufactured through pressureless sintering or reaction bonding, our solid silicon carbide parts exhibit excellent wear resistance and thermal shock performance, even at temperatures above 1600°C. These properties make solid SiC the preferred material for CVD/PECVD systems, diffusion furnaces, and oxidation furnaces, where long-term thermal stability and purity are essential.


Veteksemicon also offers custom-machined SiC parts, enabling tight dimensional tolerances, high surface quality, and application-specific geometries. Additionally, solid SiC is non-reactive in both oxidizing and reducing atmospheres, enhancing its suitability for plasma, vacuum, and corrosive gas environments.


To explore our full range of solid silicon carbide components and discuss your project specifications, please visit the Veteksemicon product detail page or contact us for technical support and quotations.


Minangka Produsen lan supplier profesional Carbide Solid Solid ing China, kita duwe pabrik dhewe. Apa sampeyan mbutuhake layanan khusus kanggo nyukupi kabutuhan wilayah tartamtu utawa pengin tuku sing digawe lan awet sing digawe ing China, sampeyan bisa ninggalake pesen.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept