Solid Silicon Carbide Kab

VeTek Semiconductor Solid Silicon Carbide minangka komponen keramik penting ing peralatan etsa plasma, silikon karbida padhet (CVD silikon karbida) bagean ing peralatan etching kaleburing fokus, showerhead gas, tray, dering pinggiran, lan sapiturute. Amarga reaktivitas lan konduktivitas saka silikon karbida padhet (CVD silikon karbida) kanggo klorin - lan gas etsa sing ngemot fluorine, bahan kasebut minangka bahan sing cocog kanggo dering fokus peralatan plasma lan liyane. komponen.

Contone, dering fokus minangka bagéyan penting sing diselehake ing njaba wafer lan kontak langsung karo wafer, kanthi ngetrapake voltase menyang dering kanggo fokus plasma sing ngliwati dering, saéngga fokus plasma ing wafer kanggo nambah keseragaman. pangolahan. Ring fokus tradisional digawe saka silikon utawakuarsa, Silicon konduktif minangka bahan ring fokus umum, iku meh cedhak konduktivitas wafer Silicon, nanging kekurangan punika resistance etching miskin ing plasma fluorine-ngemot, etching mesin bahan bagean asring digunakake kanggo periode wektu, bakal ana serius. kedadean karat, akeh nyuda efficiency produksi.

SRing Fokus SiC olidPrinsip Kerja：

Working Principle of Solid SiC Focus Ring

Perbandingan Ring Fokus Berbasis Si lan Cincin Fokus CVD SiC:

Perbandingan Si Based Focusing Ring lan CVD SiC Focusing Ring
Item	lan	CVD SiC
Kapadhetan (g/cm³)	2.33	3.21
Band gap (eV)	1.12	2.3
Konduktivitas termal (W/cm ℃)	1.5	5
CTE (x10^-6/ ℃)	2.6	4
Modulus elastis (GPa)	150	440
Kekerasan (GPa)	11.4	24.5
Resistance kanggo nyandhang lan karat	mlarat	Banget

VeTek Semiconductor nawakake bagean silikon karbida padhet (CVD silikon karbida) kaya dering fokus SiC kanggo peralatan semikonduktor. Cincin fokus karbida silikon sing padhet ngluwihi silikon tradisional saka segi kekuatan mekanik, resistensi kimia, konduktivitas termal, daya tahan suhu dhuwur, lan resistensi etsa ion.

Fitur utama ring fokus SiC kalebu:

Kapadhetan dhuwur kanggo nyuda tingkat etsa.

Insulasi sing apik banget kanthi bandgap sing dhuwur.

Konduktivitas termal sing dhuwur lan koefisien ekspansi termal sing kurang.

Resistance lan elastisitas impact mekanik sing unggul.

Atose dhuwur, tahan nyandhang, lan tahan korosi.

Diprodhuksi nggunakakePlasma-enhanced chemical vapor deposition (PECVD)Techniques, dering fokus SiC kita nyukupi panjaluk pangolahan etsa ing manufaktur semikonduktor. Dheweke dirancang kanggo tahan daya lan energi plasma sing luwih dhuwur, utamane ingcapacitively coupled plasma (CCP)sistem.

Dering fokus SiC VeTek Semiconductor nyedhiyakake kinerja lan keandalan sing luar biasa ing manufaktur piranti semikonduktor. Pilih komponen SiC kanggo kualitas lan efisiensi sing unggul.

View as

Blok SIC CVD kanggo Wutah Kristal SIC

CVD SIC Blok kanggo tuwuh Kristal SIC, minangka bahan mentah sing anyar sing dikembangake dening detek semanik. Nduwe rasio output sing dhuwur lan bisa tuwuh kreta tunggal karbida sing gedhe, gedhe, yaiku bahan generasi kaloro kanggo ngganti bubuk sing digunakake ing pasar saiki. Sugeng rawuh kanggo ngrembug masalah teknis.

Ndeleng Liyane >> Kirim Pitakonan >>

Teknologi anyar kristal sic

Kesucian Silikon Silikon High Silikon (SIC) dibentuk dening deposisi uap kimia (CVD) diijolake digunakake minangka bahan sumber kanggo ngangkut kristal vapor (Pvt). Ing SIC TEKNOLOGI Anyar TEKNOLOGI, Bahan sumber dimuat menyang kribil lan diuripake menyang kristal wiji. Gunakake blok CVD-SIC sing dhuwur kanggo dadi sumber kristal sik sing tuwuh. Sugeng rawuh kanggo netepake kemitraan karo kita.

Ndeleng Liyane >> Kirim Pitakonan >>

Kepala Pancuran CVD SIC

Vetek Semiconduktor minangka produsen sirah mandi CVD SIC lan inovator ing China.We wis khusus ing Bahan SIC kanggo stabil cincin SIC sing dipilih minangka stabilitas mekanik sing apik banget, kekuwatan mekanik sing apik banget kanggo erosi plasma sing apik banget. Kita ngarep-arep dadi mitra jangka panjang ing China.

Ndeleng Liyane >> Kirim Pitakonan >>

SIC STAD SUMBER

Vetek Semiconduktor minangka produsen sirah mandi SIC lan inovator ing China.We wis khusus ing Bahan SIC kanggo stabil heramis sing apik banget, kekuatan mekanik sing apik banget kanggo dadi mitra jangka panjang ing China.

Ndeleng Liyane >> Kirim Pitakonan >>

Solid SiC Gas Shower Kepala

Solid SiC Gas Shower Head main peran utama kanggo nggawe seragam gas ing proses CVD, saéngga njamin pemanasan seragam saka substrat. VeTek Semiconductor wis melu banget ing bidang piranti SiC sing padhet sajrone pirang-pirang taun lan bisa nyedhiyakake Kepala Pancuran Gas SiC Solid sing disesuaikan. Ora ketompo apa syarat sampeyan, kita ngarepake pitakon sampeyan.

Ndeleng Liyane >> Kirim Pitakonan >>

Penepapan uap kimia Proses proses SIC Edge Sik

Vetek Semiconduktor mesthi setya kanggo riset lan pangembangan lan pabrik bahan semikonduktor maju. Dina iki, Vetek Somiconductor wis nggawe kemajuan sing apik ing pemendharan uap kimia, proses produk ring solid SIC lan bisa nyedhiyani para pelanggan kanthi cincin sik. Cincin sis solid nyedhiyakake mobilitas etching sing luwih apik lan posisi wafer sing tepat nalika digunakake kanthi asil electrostatic, njamin asil etching sing konsisten lan dipercaya. Nggolek priksaan lan dadi mitra jangka panjang saben liyane.

Ndeleng Liyane >> Kirim Pitakonan >>

Minangka Produsen lan supplier profesional Solid Silicon Carbide Kab ing China, kita duwe pabrik dhewe. Apa sampeyan mbutuhake layanan khusus kanggo nyukupi kabutuhan wilayah tartamtu utawa pengin tuku sing digawe lan awet sing digawe ing China, sampeyan bisa ninggalake pesen.

Kode QR

Babagan awake dhewe

Produk

Hubungi Kita

Telpon
+86-18069220752
Fax
+86-579-87223657
E-mail
anny@veteksemi.com
alamat
Jalan Wangun, Street Ziyang, Wuyi County, Jinhua City, Provinsi Zhejiang, China

Menu Web

Panelusuran Produk

Basa

Menu metu

Solid Silicon Carbide Kab

Fitur utama ring fokus SiC kalebu:

Blok SIC CVD kanggo Wutah Kristal SIC

Teknologi anyar kristal sic

Kepala Pancuran CVD SIC

SIC STAD SUMBER

Solid SiC Gas Shower Kepala

Penepapan uap kimia Proses proses SIC Edge Sik

Kirim Pitakonan

Kode QR

Babagan awake dhewe

Produk

Hubungi Kita

Telpon

Fax

E-mail

alamat