Kepala Pancuran CVD Coated CVD

VetekSemicon CVD SIC Cozed Grapite pancuran, permukaan sing aktor sing presisied mesthekake distribusi gas seragam, sing kritis kanggo entuk deposisi film sing konsisten ing Wafers. TheSIC lapisanOra mung nambah resistensi nyandhang lan ngoksidasi, nanging uga ngluwihi urip layanan ing kahanan proses sing angel.

Digunakake kanthi akeh ing pabrik wafer, epitisme, lan deposisi film ing semikonduktor, kepala pancuran ruangan CVD sing dilapisi minangka komponen proses sing cocog kanggo ngasilake panjaluk produksi semikonduktor generasi sabanjure.

VetekSemi CVD Silicon Carbide Carbide Shathethead saka hasil kimia sing dhuwur saka silikon karbida lan dioptimalake kanggo proses CVD lan MOCVD ing semikonduktor, LED, lan elektronik canggih. Stabilitas termal sing luar biasa, tahan karat, lan distribusi gas seragam njamin operasi stabil jangka panjang ing suhu dhuwur, lingkungan sing bisa diatasi, ngasilake proses ulang.

VetekSemomon CVD SIC Coated Graphite Pancing Panas

● Kemurnian lan Kapadhetan Ultra-Highly

Kepala Pancuran Grapit CVD ditutupi diprodhuksi nggunakake proses CVD sing gedhe-gedhe, njamin kesucian material ≥99.9995%, ngilangi impurities logam. Struktur sing ora patiop kanthi efektif nyegah permeasi lan partikel ngumumake Epitexyxy lan luwih becik kanggo semikonexy lan proses bungkusan maju sing mbutuhake kabersihan sing dhuwur banget. Dibandhingake komponen SIC sing siap tradisional utawa grafit, produk kita njaga kinerja sing stabil sanajan operasi suhu dhuwur sing dawa, nyuda biaya pangopènan lan biaya produksi.

● Stabilitas termal sing apik

Ing proses CVD lan MOBVD suhu dhuwur, bahan konvensional gampang diformasi utawa retak amarga stres termal. CVD SIC Showerhead Tresstandur nganti 1600 ° C lan nampilake kecepatan ekspansi termal sing sithik, njamin stabilitas struktural sajrone suhu kanthi cepet mundhak lan suda. Seragam termal seragam luwih ngoptimalake distribusi suhu ing ruangan reaksi, minimalake bedane deposisi antara pinggiran wafer lan ningkatake keseranan film.

● Korosi anti-plasma

Sajrone proses etching utawa deposisi, gas sing corrosive (kayata cf₄, Cl₂, lan hbr) kanthi cepet mbusak kuarsa kewarsa utawa komponen grafit. Bahan SIC CVD nuduhake ketahanan karat korup sing luar biasa ing lingkungan plasma, kanthi umur 3-5 kali sing bahan konvensional. Tes pelanggan sing nyata wis nuduhake manawa sawise sawise taun 2000 jam, variasi ukuran sing isih ana sajrone ± 1%, njamin distribusi aliran gas gas sing stabil.

● Biaya urip dawa lan pangopènan sithik

Nalika komponen grafit tradisional mbutuhake pengganti sing asring, sirah pancuran CVD kanthi ditutupi SIC njaga kinerja sing stabil sanajan ing lingkungan sing sregep. Iki nyuda biaya sakabehe kanthi luwih saka 40%. Salajengipun, kekuwatan mekanik sing dhuwur kanggo ngrusak karusakan kanthi ora sengaja sajrone nangani utawa nginstal.

● Endorsifikasi verifikasi rantai ekologis

Verifikasi rantai verifikasi VetekSemicon 'Verifikasi rantai ekologis nutupi bahan mentah menyang produksi, lan duwe sertifikasi standar sing dipatenake kanggo njamin linologis lan kelestarian ing lapangan semikonduktor lan energi energi anyar.

Paramèter teknis

Proyek	Parameter
Bahan	CVD sic (opsi lapisan sing kasedhiya)
Kisaran diameter	100mm-450mm (disesuaikan)
Toleransi kekandelan	± 0,05mm
Persatangan permukaan	≤0.2μm
Proses sing ditrapake	Cvd / mocvd / pecvd / etching / epitexy

Lapangan aplikasi utama

Arah aplikasi	Skenario khas
Pabrik Semikonduktor	Piranti Epiteksi, Piranti Gan / Gaas
Elektronik Daya	Produksi Wafer Wafer SIC Epitixial
Dipimpin	Pendudukan Substrat Sapphire MOCVD Sapphire
Peralatan Riset Ilmiah	Sistem pemantikan film tipis tipis tipis

Endorsifikasi verifikasi rantai ekologis

Verifikasi rantai verifikasi VetekSemicon 'Verifikasi rantai ekologis nutupi bahan mentah menyang produksi, lan duwe sertifikasi standar sing dipatenake kanggo njamin linologis lan kelestarian ing lapangan semikonduktor lan energi energi anyar.

Kanggo spesifikasi teknis sing rinci, kertas putih, utawa conto pengujian pengujian, manggaHubungi tim dhukungan teknisKanggo njelajah kepiye para dokter dokter dokter bisa nambah efisiensi proses.