Semikonduktor VeTek minangka produsen utama bahan Tantalum Carbide Coating kanggo industri semikonduktor. Penawaran produk utama kalebu bagean lapisan tantalum karbida CVD, bagean lapisan TaC sing disinter kanggo pertumbuhan kristal SiC utawa proses epitaksi semikonduktor. Lulus ISO9001, VeTek Semiconductor nduweni kontrol kualitas sing apik. VeTek Semiconductor darmabakti kanggo dadi inovator ing industri Tantalum Carbide Coating liwat riset lan pangembangan teknologi iteratif.
Produk utama yaiku TaC Coated Guide Ring, CVD TaC coated three-petal guide ring, Tantalum Carbide TaC Coated Halfmoon, CVD TaC coating planetary SiC epitaxial susceptor, Tantalum Carbide Coating Ring, Tantalum Carbide Coated Porous Graphite, TaC Coating Rotation Susceptor, Rotasi TaC Coating, Rotasi TaC Coating, Rotasi TaC Coating, Rotasi TaC Coating, Rotasi TaC Coating, Rotasi Plate TaC susceptor, TaC Coated Deflector Ring, CVD TaC Coating Cover, TaC Coated Chuck etc., kemurnian ngisor 5ppm, bisa ketemu syarat customer.
TaC coating grafit digawe kanthi nutupi permukaan substrat grafit kemurnian dhuwur kanthi lapisan tantalum karbida sing apik kanthi proses Deposisi Uap Kimia (CVD) proprietary. Kauntungan ditampilake ing gambar ing ngisor iki:
Lapisan tantalum carbide (TaC) wis entuk kawigatosan amarga titik leleh sing dhuwur nganti 3880 ° C, kekuatan mekanik sing apik, kekerasan, lan tahan kanggo guncangan termal, dadi alternatif sing apik kanggo proses epitaksi semikonduktor senyawa kanthi syarat suhu sing luwih dhuwur, kayata sistem Aixtron MOCVD lan proses epitaksi LPE SiC PV.
Fitur Utama
● stabilitas Suhu nganti 2500 ° C karo resistance banget kanggo kejut termal.
● Kemurnian Ultra-dhuwur (<5ppm) lan adhesion kuwat kanggo grafit kanggo generasi partikel minimal.
● Resistance unggul kanggo H₂, NH₃, SiH₄ lan Si vapors ing lingkungan proses atos.
● Jangkoan lapisan conformal kanthi kapasitas ukuran nganti diameter 750mm, kasedhiya ing China.
Spesifikasi Produk
Parameter Lapisan Karbida Tantalum Semikonduktor VeTek:
| Sifat fisik lapisan TaC |
| Kapadhetan |
14,3 g/cm³ |
| Kekerasan |
2000 HK |
| Ekspansi termal |
6.3×10⁻⁶/K |
| Resistance |
1×10⁻⁵ Ohm·cm |
| Stabilitas termal |
<2500°C |
| Ketebalan lapisan |
≥20μm (khas 35±10μm) |
lapisan karbida (TaC) ing penampang mikroskopis:
Data EDX lapisan TaC:
Data struktur kristal lapisan TaC:
| unsur |
Atom persen |
|
|
Pt. 1 |
Pt. 2 |
Pt. 3 |
Rata-rata |
| C K |
52.10
|
57.41
|
52.37
|
53.96
|
| Ta M |
47.90
|
42.59
|
47.63
|
46.04
|
Aplikasi
Kanggo nyukupi kabutuhan macem-macem proses semikonduktor, VeTek nawakake produk Tantalum Carbide Coating sing ditargetake. Tabel ing ngisor iki nggolongake miturut area aplikasi utama, nyathet komponen khas lan proses sing ditrapake:
| Lapangan Aplikasi |
Produk Khas |
Deskripsi Aplikasi |
| SiC Epitaxy |
CVD TaC dilapisi susceptor planet,TaC dilapisi wafer susceptor,ring guide ditutupi TaC
|
Cocog kanggo proses epitaxial SiC suhu dhuwur (contone, metode LPE), nyedhiyakake stabilitas termal sing dhuwur lan antarmuka kontaminasi sing sithik kanggo njamin keseragaman film. |
| GaN / LED Epitaxy (MOCVD) |
Kepala pancuran, disk satelit, cincin masking, tameng panas, nozzle injeksi |
Cocog kanggo sistem Aixtron MOCVD, tahan karat H₂/NH₃, nyuda kontaminasi partikel lan ningkatake asil epitaxial LED. |
| Pertumbuhan Kristal SiC (Metode PVT) |
TaC dilapisi grafit keropos,TaC dilapisi halfmoon,ring panuntun,panutup,cuk
|
Digunakake ing wutah ingot PVT SiC, tahan nganti 2500 ° C, nyegah reaksi grafit, lan njamin kemurnian kristal. |
| Komponen Pemanasan & Dhukungan Suhu Dhuwur |
susceptor pemanasan induktif,elemen pemanas resistif, pembawa wafer
|
Cocog kanggo sistem pemanasan induksi utawa resistif, nyedhiyakake kekerasan dhuwur lan tahan kejut termal, nambah umur komponen kanthi kaping 3-5. |
Kanggo solusi sing cocog proses sing luwih rinci, waca ingSilicon Carbide Epitaxy Kabkaca aplikasi sing gegandhengan.
We ndhukung layanan selaras adhedhasar syarat customer. Lulus ISO9001 kanthi kontrol kualitas apik.
Welcome kanggo hubungi kita kanggo rembugan luwih utawa ninggalake pesen
