Produk

Tantalum Carbide Coating

Semikonduktor VeTek minangka produsen utama bahan Tantalum Carbide Coating kanggo industri semikonduktor. Penawaran produk utama kalebu bagean lapisan karbida tantalum CVD, bagean lapisan TaC sing disinter kanggo pertumbuhan kristal SiC utawa proses epitaksi semikonduktor. Lulus ISO9001, VeTek Semiconductor nduweni kontrol kualitas sing apik. VeTek Semiconductor darmabakti kanggo dadi inovator ing industri Tantalum Carbide Coating liwat riset lan pangembangan teknologi iteratif.


Produk utama yaikuTaC Coated Guide Ring, CVD TaC dilapisi ring guide telung petal, Tantalum Carbide TaC Coated Halfmoon, CVD TaC lapisan susceptor epitaxial SiC planet, Tantalum Carbide Coating Ring, Tantalum Carbide Coated Porous Graphite, TaC Coating Rotasi Susceptor, Ring Tantalum Carbide, TaC Coating Rotasi Plate, TaC dilapisi wafer susceptor, TaC Coated Deflector Ring, CVD TaC Coating Cover, TaC Coated Chucketc., kemurnian ngisor 5ppm, bisa ketemu syarat customer.


Grafit lapisan TaC digawe kanthi nutupi permukaan substrat grafit kanthi kemurnian dhuwur kanthi lapisan tantalum karbida kanthi proses Deposisi Uap Kimia (CVD) proprietary. Kauntungan ditampilake ing gambar ing ngisor iki:


Excellent properties of TaC coating graphite


Lapisan tantalum carbide (TaC) wis entuk perhatian amarga titik leleh sing dhuwur nganti 3880 ° C, kekuatan mekanik sing apik, kekerasan, lan tahan kanggo kejut termal, dadi alternatif sing apik kanggo proses epitaksi semikonduktor senyawa kanthi syarat suhu sing luwih dhuwur, kayata sistem Aixtron MOCVD lan proses epitaksi LPE SiC. Uga nduweni aplikasi sing akeh ing proses pertumbuhan kristal SiC metode PVT.


Fitur Utama:

 ●Stabilitas suhu

 ●kemurnian Ultra dhuwur

 ●Resistance kanggo H2, NH3, SiH4, Si

 ●Resistance kanggo stock termal

 ●Adhesion kuwat kanggo grafit

 ●Jangkoan lapisan conformal

 Ukuran nganti diameter 750 mm (Produsen mung ing China tekan ukuran iki)


Aplikasi:

 ●Pembawa wafer

 ● Susceptor pemanasan induktif

 ● unsur panas resistif

 ●disk satelit

 ●Sirah padusan

 ●Ring guide

 ●panrima LED Epi

 ●Nozzle injeksi

 ●Masking ring

 ● tameng panas


Lapisan tantalum karbida (TaC) ing bagean silang mikroskopis:


the microscopic cross-section of Tantalum carbide (TaC) coating


Parameter VeTek Semiconductor Tantalum Carbide Coating:

Sifat fisik lapisan TaC
Kapadhetan 14,3 (g/cm³)
Emisivitas spesifik 0.3
Koefisien ekspansi termal 6.3 10-6/K
Kekerasan (HK) 2000 HK
Resistance 1×10-5Om *cm
Stabilitas termal <2500 ℃
owah-owahan ukuran grafit -10~-20um
Ketebalan lapisan Nilai khas ≥20um (35um±10um)


TaC coating data EDX

EDX data of TaC coating


Data struktur kristal lapisan TaC:

unsur Atom persen
Pt. 1 Pt. 2 Pt. 3 Rata-rata
C K 52.10 57.41 52.37 53.96
M 47.90 42.59 47.63 46.04


View as  
 
Tac dilapisi dering kanggo pvt kristal tunggal sic

Tac dilapisi dering kanggo pvt kristal tunggal sic

Minangka salah sawijining supplier produk lapisan lapisan tAC ing China, vetek semikonduktor bisa nyedhiyakake bagean khusus kanggo pelanggan kanthi warna-warna khusus. Cincin dilapis Tac kanggo pertumbuhan pvt Crystal yaiku salah sawijining produk sing paling apik ing Sikmonductor lan Diwasa. Nduwe peran penting ing pertumbuhan pvt saka or kristal SIC lan bisa mbantu para pelanggan tuwuh kristal sic sing bermutu tinggi. Ngarepake priksaan sampeyan.
CVD TAC Coated Cincin Pandhuan Petal Petal

CVD TAC Coated Cincin Pandhuan Petal Petal

Vetek Semiconduktor wis ngalami pirang-pirang taun pembangunan teknologi lan wis nguwasani teknologi proses utama lapisan CVD tAC. CVD TAC Coat Coated Cincin Pandhuan minangka salah sawijining produk lapisan lapisan sing paling diwasa ing Semikonduktor lan minangka komponen penting kanggo nyiapake kristal sik dening metode pvt. Kanthi bantuan saka Semikonduktor, aku percaya produksi kristal sic sampeyan bakal luwih lancar lan luwih efisien.
Cincin lapisan karbida tantalum

Cincin lapisan karbida tantalum

Vetek semikonduktor tantalum karbida cincin lapisan yaiku komponen sing penting ing industri semikonduktor, khusus ing etching wafers sic. Gabungan saka pangkalan grafit lan lapisan tac njamin kinerja sing luwih unggul ing lingkungan sing agresif kanthi kimia. Kanthi stabilitas termal sing ditingkatake, tahan mekar, lan kekuwatan mekanik, cincin dilapisi tantalum mbantu ngasilake produsen semikonduktor entuk prestasi, linuwih, lan asil sing berkualitas tinggi.
Cincin lapisan tac

Cincin lapisan tac

TaC Coating Ring minangka komponen kinerja dhuwur sing dirancang kanggo digunakake ing proses semikonduktor, VeTek semikonduktor TaC Coating Ring nduweni stabilitas termal sing dhuwur, tahan kanggo korosi kimia, lan kekuatan mekanik sing apik banget lan khusus digunakake kanggo nahan lan ndhukung wafer SiC sajrone proses etsa, ngendi kontrol pas lan kekiatan penting kanggo entuk wafer kualitas dhuwur. kita ngarep-arep konsultasi luwih lanjut.
Tac Coating Crucible

Tac Coating Crucible

Minangka professional Tac Coetclier lan pabrikan ing China, coating Semikonduktor Tac Cacan Crucible duwe peran sing ora bisa diganti ing proses semikonduktor sing apik banget, stabilitas kimia sing apik banget lan resistensi karat sing apik banget. Sugeng pitakon luwih dhisik.
Tantalum karbida katerangan cincin

Tantalum karbida katerangan cincin

Minangka pemasok pemajah pemajeg TAC Coating lan produsen, vetek semikonduktor tantalum karbida napsu cincin minangka komponen sing penting kanggo nuntun lan ngoperasikake aliran transportasi (proses uap fisik). Iki nyedhiyakake deposisi seragam kristal siji ing zona wutah kanthi nyetel distribusi lan kacepetan aliran gas. Vetek Semiconduktor minangka pabrikan utama lan supplier muni cute lapisan ing China lan ing jagad iki, lan kita ngarepake konsultasi sampeyan.
Minangka Produsen lan supplier profesional Tantalum Carbide Coating ing China, kita duwe pabrik dhewe. Apa sampeyan mbutuhake layanan khusus kanggo nyukupi kabutuhan wilayah tartamtu utawa pengin tuku sing digawe lan awet sing digawe ing China, sampeyan bisa ninggalake pesen.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept