CVD Tantalum Carbide(TaC) Coated Susceptor

Fitur Utama

Aplikasi

Aplikasi khas kalebu:

• Wutah Epitaxial SiC

• GaN MOCVD Epitaxy

• AlN Epitaxial Wutah

• Manufaktur Semikonduktor Generasi Katelu

• High-Power Electronics

• Piranti RF

• Produksi MicroLED

• Riset lan Sistem Produksi Pilot

Peralatan sing Kompatibel

Platform sing kompatibel kalebu:

• Aixtron

• LPE

• Veeco

• AMEC

• NuFlare

• Reaktor CVD & MOCVD Custom

Uga kasedhiya:

• Wafer Carriers

• Susceptors planet

• Barrel Susceptors

• Rotasi Disk

• Parts Setengah Bulan

• Cover Plates

• Majelis Grafit

• Komponen Field Thermal Custom

Spesifikasi Teknis

Pitakonan sing Sering Ditakoni

1. Apa CVD TaC Coated Susceptor?

Komponen grafit kemurnian dhuwur sing dilindhungi dening lapisan CVD TaC sing padhet digunakake minangka pembawa wafer sajrone pertumbuhan epitaxial.

2. Apa nggunakake TaC coating tinimbang lapisan SiC?

TaC nawakake tahan suhu sing luwih dhuwur, stabilitas kimia sing unggul, lan umur layanan sing luwih dawa.

3.Proses semikonduktor sing nggunakake TaC-csuseptor oat?

SiC epitaxy, GaN MOCVD, AlN epitaxy, lan proses pertumbuhan kristal suhu dhuwur liyane.

4. Apa VETEK bisa nggawe susceptor khusus?

ya wis. Kita nyedhiyakake desain khusus adhedhasar gambar pelanggan lan syarat proses.

5. Apa merek reaktor sing didhukung?

Aixtron, LPE, Veeco, AMEC, NuFlare, lan sistem mainstream liyane.