VeTek Semiconductor minangka mitra inovatif sampeyan ing bidang pangolahan semikonduktor. Kanthi portofolio ekstensif kombinasi bahan Keramik Silicon Carbide kelas semikonduktor, kapabilitas manufaktur komponen, lan layanan teknik aplikasi, kita bisa mbantu ngatasi tantangan sing signifikan. Keramik Silicon Carbide teknis teknik digunakake ing industri semikonduktor amarga kinerja materi sing luar biasa. Keramik Silicon Carbide Ultra-murni VeTek Semiconductor asring digunakake ing kabeh siklus manufaktur lan pangolahan semikonduktor.
DIFFUSION & LPCVD PROCESSING
VeTek Semiconductor nyedhiyakake komponen keramik sing dirancang khusus kanggo difusi batch lan syarat LPCVD kalebu:
● Baffles & nduwèni
● Injector
● Liners & proses tabung
● Silicon Carbide Cantilever Paddles
● Wafer boats lan pedestals
KOMPONEN PROSES ETCH
Nyilikake kontaminasi lan pangopènan sing ora dijadwal kanthi komponen kemurnian dhuwur sing dirancang kanggo kaku pangolahan etch plasma, kalebu:
● Dering fokus
● Nozzles
● tameng
● Showerheads
● Windows / Tutup
● Komponen khusus liyane
KOMPONEN PROSES TERMAL RAPID & PROSES EPITAXIAL
VeTek Semiconductor nyedhiyakake komponen material canggih sing dirancang kanggo aplikasi pangolahan termal suhu dhuwur ing industri semikonduktor. Aplikasi kasebut kalebu RTP, proses Epi, difusi, oksidasi, lan anil. Keramik teknis kita dirancang kanggo tahan guncangan termal, menehi kinerja sing dipercaya lan konsisten. Kanthi komponen VeTek Semiconductor, pabrikan semikonduktor bisa entuk pangolahan termal sing efisien lan berkualitas tinggi, nyumbang kanggo sukses produksi semikonduktor.
● Diffusers
● Isolator
● Susceptors
● komponen termal adat liyane
Fitur Utama
● Kemurnian ultra-dhuwur: Isi SiC> 99,96%, silikon gratis <0,1%, minimalake kontaminasi logam.
● Kinerja suhu dhuwur sing apik banget: suhu kerja nganti 1600 ° C (oksidasi) / 1700 ° C (ngurangi).
● resistance kejut termal unggul lan expansion termal kurang kanggo kinerja dipercaya ing siklus termal cepet.
● Kekuwatan mekanik sing dhuwur (kompresi> 600 MPa) lan inertness kimia marang gas proses lan plasma.
● sawetara produk Comprehensive kanggo difusi / LPCVD, etch, RTP lan pangolahan epi - saka wafer boats kanggo fokus rings lan bagean adat.
● Urip layanan dawa lan generasi partikel suda, mbantu frekuensi pangopènan murah lan nambah asil.
Spesifikasi Produk
Sifat fisik saka Silicon Carbide Recrystallized
| Properti |
Nilai Khas |
| Suhu kerja (°C) |
1600°C (karo oksigen), 1700°C (lingkungan nyuda) |
| Kandungan SiC/SiC |
> 99,96% |
| Konten Si / Gratis Si |
< 0,1% |
| Kapadhetan akeh |
2,60-2,70 g/cm³ |
| Porositas sing katon |
< 16% |
| Kekuwatan komprèsi |
> 600 MPa |
| Dingin mlengkung kekuatan |
80-90 MPa (20°C) |
| Kekuwatan mlengkung panas |
90-100 MPa (1400°C) |
| Ekspansi termal @1500°C |
4,70 × 10⁻⁶/°C |
| Konduktivitas termal @1200°C |
23 W/m·K |
| Modulus elastis |
240 GPa |
| resistance kejut termal |
Apik banget |
Aplikasi
Kanggo nyukupi kabutuhan macem-macem proses semikonduktor, VeTek nawakake produk Keramik Silicon Carbide sing ditargetake. Tabel ing ngisor iki klasifikasi miturut wilayah aplikasi utama:
| Lapangan Aplikasi |
Produk Khas |
Deskripsi Aplikasi |
| Difusi & LPCVD |
Kapal wafer SiC, kantilever dayung, tabung proses, liner, injektor,baffles & nduwèni
|
Komponen SiC kemurnian dhuwur kanggo difusi batch lan tungku LPCVD; stabilitas termal banget lan resistance kimia nganti 1600-1700 ° C, kurang kontaminasi. |
| Proses Etch Plasma |
Fokus ring, muncung, tameng, showerheads, jendhela / tutup, komponen etch adat |
Bagian SiC kemurnian dhuwur sing dirancang kanggo lingkungan etch plasma; nyilikake generasi partikel lan pangopènan unscheduled, resistance plasma unggul. |
| RTP / Epitaxial / Pangolahan Termal |
susceptors, diffusers, isolator, komponen termal khusus |
Komponen kanggo RTP, epi, difusi, oksidasi lan anil; dirancang kanggo tahan kejut termal lan ngirim kinerja suhu dhuwur sing konsisten. |
| Pertumbuhan Kristal SiC (PVT) |
bubuk SiC kemurnian dhuwur,Bahan baku 7N CVD SiC, bagean ikatan wiji sing gegandhengan |
Bahan sumber SiC ultra-murni lan komponen pendukung kanggo pertumbuhan kristal tunggal PVT SiC, ningkatake asil lan kualitas kristal. |
| Wafer Penanganan & Carriers |
Perahu wafer SiC vertikal/horisontal, kapal kaset silikon, pedestals, dering segel
|
Operator presisi lan komponen sealing sing nyedhiyakake seragam termal, stabilitas mekanik lan kontaminasi minimal sajrone pangolahan suhu dhuwur. |
Kanggo solusi sing cocog proses sing luwih rinci, waca ingTungku Oksidasi lan Difusikaca sing gegandhengan.
Minangka produsen Keramik Silicon Carbide profesional lan pemasok ing China, kita duwe pabrik dhewe. Apa sampeyan butuh layanan khusus kanggo nyukupi kabutuhan khusus wilayah sampeyan utawa pengin tuku Keramik Silicon Carbide sing canggih lan tahan lama digawe ing China, sampeyan bisaninggalake kita pesen.
