Produk

Oksidasi lan tungku bedane

Oksidasi lan tawon bedhil digunakake ing macem-macem lapangan kayata piranti semikonduktor, piranti diskriminasi, piranti optoelektronik, sel solar ukuran gedhe, lan skala circuit integral. Dheweke digunakake kanggo proses kalebu panyebaran, oksidasi, annealing, alloying, lan gawe dosa saka wafers.


Vetek Semiconduktor minangka pabrikan utama sing duwe spesialisasi ing produksi grafit grafit kanthi dhuwur, silikon karbida lan karbida ing oksidasi lan tungku. Kita setya nyedhiyakake komponen tungku kanthi kualitas tinggi kanggo industri semikonduktor lan fotovolta, lan ing ngarep teknologi lapisan lumahing, kayata CVD-TAC, CVD-TAC, Pyrocarbon, lsp.


Keuntungan saka komponen karbida Vetek silikon:

● Rintangan suhu dhuwur (nganti 1600 ℃)

● Konduktivitas termal lan stabilitas termal

● Rintangan karat kimia sing apik

● koefisien kurang ekspansi termal

● kekuatan lan kekerasan dhuwur

● Urip layanan sing dawa


Ing oksidasi lan tungku sing beda-beda, amarga ana suhu suhu sing dhuwur lan gas sing kudu mbutuhake bahan tahan suhu sing dhuwur lan karat (SIC) sing digunakake. Ing ngisor iki minangka komponen karbida umum silikon sing ditemokake ing tungku oksidasi lan tawon penyebaran:



● prau wafer

Boat prau silikon karbida yaiku wadhah sing digunakake kanggo nggawa wafers silikon, sing bisa nahan suhu sing dhuwur lan ora bakal reaksi karo wafers silikon.


● Tube tungku

Tube tungku yaiku komponen inti tungku panyebaran, digunakake kanggo ngrampungake silikon wafers lan ngontrol lingkungan reaksi. Tabung tungku karbida karbida duwe suhu suhu dhuwur lan kinerja tahan karat.


● piring baffle

Digunakake kanggo ngatur penyebaran udara lan distribusi suhu ing njero tungku


● Tube perlindungan thermocouple

Digunakake kanggo nglindhungi suhu kanggo ngukur thermocuples saka kontak langsung kanthi gas currosive.


● Paddle cantilever

Paddles carbide carbide carbide carbide tahan suhu lan suhu dhuwur, lan digunakake kanggo ngeterake kapal silikon utawa kapal kuarza sing nggawa wafers silikon menyang tabung tawon sing beda.


● injector gas

Digunakake kanggo ngenalake gas reaksi menyang tungku, kudu tahan suhu lan karat sing dhuwur.


● kapal prau

Carrier Boat Boat silikon kareta digunakake kanggo ndandani lan nyengkuyung wafers silikon, sing duwe kaluwihan kayata kekuatan sing dhuwur, resistance karat, lan stabilitas struktural sing apik.


● lawang tungku

Kelainan karbida utawa komponen bisa uga digunakake ing njero lawang tungku.


● Unsur pemanasan

Unsur pemanasan karbida karbida cocog kanggo suhu sing dhuwur, kekuwatan dhuwur, lan bisa cepet ngunggahake suhu nganti luwih saka 1000 ℃.


● Sic liner

Digunakake kanggo nglindhungi tembok batin tabung tungku, bisa mbantu nyuda energi panas lan tahan lingkungan sing kuat kayata suhu dhuwur lan tekanan dhuwur.

View as  
 
Lengan robot karbida karbida

Lengan robot karbida karbida

Lengan robotic silikon (SIC) kita dirancang kanggo wafer wafer sing dhuwur kanggo manufaktur semikonduktor. Digawe saka silikon silikon kanthi dhuwur, lengen robot iki nawakake resistensi luar biasa ing suhu sing dhuwur, karat plasma, lan serangan kimia, njamin operasi sing bisa dipercaya ing ruangan resik. Kekuwatan mekanik sing luar biasa lan stabilitas dimensi Aktifake penanganan wafer nalika minimalake risiko kontaminasi, nggawe pilihan sing cocog kanggo MOCVD, Epitassi, implantasi Ion, lan aplikasi sing nangani Wefer liyane. We welcome pitakon sampeyan.
Boat Silicon Carbide SIC wafer

Boat Silicon Carbide SIC wafer

Boots VetekSemikon SIC Wefer digunakake ing proses suhu berkramik, dadi operator sing dipercaya kanggo oksidasi, panyebaran, lan proses anneintasi kanggo sirkuit sing adhedhasar silikon. Dheweke uga unggul ing sektor semikonduktor katelu, cocog kanggo proses nuntut kayata pertumbuhan epitaksal (EPI) lan Depepensi kimia kimia-organik (MOCVD) kanggo piranti Power SIC lan Gan. Dheweke uga ndhukung pabrik suhu suhu dhuwur ing sel surya solar ing industri fotovolta. Ngarepake konsultasi luwih.
Kurungan cantilever sic

Kurungan cantilever sic

Paddlever Sic Cantilever VetekSemover minangka tangan dhukungan karbida kanthi dhuwur kanggo nangani wafer ing horisontal batu gedhe lan reaktor epitoxial. Kanthi konduktivitas termal sing luar biasa, resistensi karat, lan kekuwatan mekanik, paddles iki njamin stabilitas lan kabersihan ing lingkungan semikonduktor sing nuntut nuntut lingkungan semikonduktor. Kasedhiya kanthi ukuran khusus lan dioptimalake kanggo urip layanan sing dawa.
Membran keramik sic

Membran keramik sic

Membran Keramik Sic VetekSemikon minangka jinis membran anorganik lan kalebu bahan membran solid ing teknologi pamisah membran. Membran sik dipecat ing suhu ndhuwur 2000 ℃. Lumahing partikel wis lancar lan bunder. Ora ana pori utawa saluran sing ditutup ing lapisan dhukungan lan saben lapisan. Biasane dumadi saka telung lapisan kanthi ukuran sing beda.
Piring Keramik Sikir

Piring Keramik Sikir

Piring keramik paling keramik yaiku bahan keramik keramik sing digawe saka silikon karbida minangka komponen utama lan diproses dening proses khusus. Dheweke penting bahan ing pabrik semikonduktor, deposisi uap kimia (CVD) lan proses liyane.
Boat Keramik Sic Keramik

Boat Keramik Sic Keramik

Vetek Semiconduktor minangka suppli kapal prau keramik SIC sing utama, pabrikan lan pabrik pabrik ing China. Kapal WAfrat Keramik Sik Kita minangka komponen penting ing proses penanganan wafer, katering industri fotovolta, elektronik, lan semikonduktor. Nggolek konsultasi sampeyan.

Shop high-performance Oxidation and Diffusion Furnace components at Veteksemicon—your trusted source for SiC-based thermal process solutions.


Veteksemicon supplies premium-grade silicon carbide (SiC) components designed specifically for oxidation and diffusion furnace systems in semiconductor manufacturing. These SiC parts exhibit excellent thermal shock resistance, high mechanical strength, and long-term dimensional stability in ultra-high-temperature and oxidizing environments. Ideal for process temperatures exceeding 1200°C, they are widely used in atmospheric and low-pressure diffusion systems, oxidation furnaces, and vertical thermal reactors.


Our product portfolio includes SiC cantilevers, boats, support rods, and tube liners, all engineered for precise wafer positioning and minimal particle contamination. The low thermal expansion coefficient of SiC helps maintain alignment across thermal cycles, while its chemical inertness ensures compatibility with O₂, N₂, H₂, and dopant gases. Whether for dry oxidation or dopant diffusion (e.g., phosphorus or boron), Veteksemicon’s diffusion furnace solutions enhance process stability, extend maintenance intervals, and support 200mm/300mm wafer formats.


For technical drawings, material datasheets, or quotation support, please visit Veteksemicon’s Oxidation and Diffusion Furnace product page or contact our application engineers.


Minangka Produsen lan supplier profesional Oksidasi lan tungku bedane ing China, kita duwe pabrik dhewe. Apa sampeyan mbutuhake layanan khusus kanggo nyukupi kabutuhan wilayah tartamtu utawa pengin tuku sing digawe lan awet sing digawe ing China, sampeyan bisa ninggalake pesen.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept