Produk

Oksidasi lan tungku bedane

Oksidasi lan tawon bedhil digunakake ing macem-macem lapangan kayata piranti semikonduktor, piranti diskriminasi, piranti optoelektronik, sel solar ukuran gedhe, lan skala circuit integral. Dheweke digunakake kanggo proses kalebu panyebaran, oksidasi, annealing, alloying, lan gawe dosa saka wafers.


Vetek Semiconduktor minangka pabrikan utama sing duwe spesialisasi ing produksi grafit grafit kanthi dhuwur, silikon karbida lan karbida ing oksidasi lan tungku. Kita setya nyedhiyakake komponen tungku kanthi kualitas tinggi kanggo industri semikonduktor lan fotovolta, lan ing ngarep teknologi lapisan lumahing, kayata CVD-TAC, CVD-TAC, Pyrocarbon, lsp.


Keuntungan saka komponen karbida Vetek silikon:

● Rintangan suhu dhuwur (nganti 1600 ℃)

● Konduktivitas termal lan stabilitas termal

● Rintangan karat kimia sing apik

● koefisien kurang ekspansi termal

● kekuatan lan kekerasan dhuwur

● Urip layanan sing dawa


Ing oksidasi lan tungku sing beda-beda, amarga ana suhu suhu sing dhuwur lan gas sing kudu mbutuhake bahan tahan suhu sing dhuwur lan karat (SIC) sing digunakake. Ing ngisor iki minangka komponen karbida umum silikon sing ditemokake ing tungku oksidasi lan tawon penyebaran:



● prau wafer

Boat prau silikon karbida yaiku wadhah sing digunakake kanggo nggawa wafers silikon, sing bisa nahan suhu sing dhuwur lan ora bakal reaksi karo wafers silikon.


● Tube tungku

Tube tungku yaiku komponen inti tungku panyebaran, digunakake kanggo ngrampungake silikon wafers lan ngontrol lingkungan reaksi. Tabung tungku karbida karbida duwe suhu suhu dhuwur lan kinerja tahan karat.


● piring baffle

Digunakake kanggo ngatur penyebaran udara lan distribusi suhu ing njero tungku


● Tube perlindungan thermocouple

Digunakake kanggo nglindhungi suhu kanggo ngukur thermocuples saka kontak langsung kanthi gas currosive.


● Paddle cantilever

Paddles carbide carbide carbide carbide tahan suhu lan suhu dhuwur, lan digunakake kanggo ngeterake kapal silikon utawa kapal kuarza sing nggawa wafers silikon menyang tabung tawon sing beda.


● injector gas

Digunakake kanggo ngenalake gas reaksi menyang tungku, kudu tahan suhu lan karat sing dhuwur.


● kapal prau

Carrier Boat Boat silikon kareta digunakake kanggo ndandani lan nyengkuyung wafers silikon, sing duwe kaluwihan kayata kekuatan sing dhuwur, resistance karat, lan stabilitas struktural sing apik.


● lawang tungku

Kelainan karbida utawa komponen bisa uga digunakake ing njero lawang tungku.


● Unsur pemanasan

Unsur pemanasan karbida karbida cocog kanggo suhu sing dhuwur, kekuwatan dhuwur, lan bisa cepet ngunggahake suhu nganti luwih saka 1000 ℃.


● Sic liner

Digunakake kanggo nglindhungi tembok batin tabung tungku, bisa mbantu nyuda energi panas lan tahan lingkungan sing kuat kayata suhu dhuwur lan tekanan dhuwur.

View as  
 
Tabung tungku sic diffusion

Tabung tungku sic diffusion

Minangka produsen utama lan supplier peralatan tungku bedhil ing China, detek semikonduktor sik Sikmonductor SIC Tube, resistensi corrosion, lan sifat mekanik sing dhuwur banget. Nggawe bahan peralatan sing penting banget ing aplikasi pawon sing beda. Vetek semiconduktor setya kanggo nggawe utawa nyuplayakake tabung tungku sic sing bermutu tinggi, lan nampani pitakon luwih lengkap.
Carrier Boat Kapal Sik WaFer

Carrier Boat Kapal Sik WaFer

Vetek Semiconduktor nawakake operator prajurit Sic sing sregep. Digawe saka silikon murni karbida, nampilake slot kanggo nyekel wafer ing papan, nyegah saka geser nalika ngolah. Pelapisan SIC CVD uga kasedhiya yen dibutuhake. Minangka produsen semikonduktor profesional lan kuwat, kesucian kapal pemurnian Sik Wafer sing wis kompetitif lan kualitas dhuwur. Vetek semiconduktor ngarepake dadi mitra jangka panjang ing China.
Paddle sic cantilever tingging

Paddle sic cantilever tingging

Vetek Somiconductor minangka pabrikan utama lan supplier saka produk paddle cantilever sic cantilever sic cantilever sic cantilever ing China. Kanding Sik Cantilever Sik Apik banget kanggo digunakake ing Semikonduktor Penyebaran tungku minangka transfer wafer utawa loading platform.
Boat & Kayu Vertikal WAral

Boat & Kayu Vertikal WAral

Boat & Kayu Vetek Semikonduktor Vetek Semikonduktor digawe saka bahan keramik keramik dhuwur utawa silikon, kanthi resistensi suhu carbon sing apik, stabilitas kimia lan kekuwatan mekanik, lan minangka komponen inti sing penting ing proses manufaktur semikonduktor. Sugeng rawuh konsultasi luwih lengkap.
Boat wafer sing conciguous

Boat wafer sing conciguous

Boat WaFer Vetek Semikonduktor minangka peralatan maju kanggo proses semikonduktor. Struktur produk kasebut dirancang kanthi ati-ati kanggo njamin proses efisien lan produksi wafers tliti. VetekSemi ndhukung solusi produk sing disesuaikan lan ngarepake konsultasi sampeyan.
Pembawa Wafer SiC Horisontal

Pembawa Wafer SiC Horisontal

VeTek Semiconductor minangka pabrikan profesional lan pemasok cincin pandhuan sing dilapisi TaC, operator wafer SiC horisontal, lan susceptor dilapisi SiC ing China. Kita setya nyedhiyakake dhukungan teknis sing sampurna lan solusi produk utama kanggo industri semikonduktor. Sugeng rawuh kanggo hubungi kita.

Shop high-performance Oxidation and Diffusion Furnace components at Veteksemicon—your trusted source for SiC-based thermal process solutions.


Veteksemicon supplies premium-grade silicon carbide (SiC) components designed specifically for oxidation and diffusion furnace systems in semiconductor manufacturing. These SiC parts exhibit excellent thermal shock resistance, high mechanical strength, and long-term dimensional stability in ultra-high-temperature and oxidizing environments. Ideal for process temperatures exceeding 1200°C, they are widely used in atmospheric and low-pressure diffusion systems, oxidation furnaces, and vertical thermal reactors.


Our product portfolio includes SiC cantilevers, boats, support rods, and tube liners, all engineered for precise wafer positioning and minimal particle contamination. The low thermal expansion coefficient of SiC helps maintain alignment across thermal cycles, while its chemical inertness ensures compatibility with O₂, N₂, H₂, and dopant gases. Whether for dry oxidation or dopant diffusion (e.g., phosphorus or boron), Veteksemicon’s diffusion furnace solutions enhance process stability, extend maintenance intervals, and support 200mm/300mm wafer formats.


For technical drawings, material datasheets, or quotation support, please visit Veteksemicon’s Oxidation and Diffusion Furnace product page or contact our application engineers.


Minangka Produsen lan supplier profesional Oksidasi lan tungku bedane ing China, kita duwe pabrik dhewe. Apa sampeyan mbutuhake layanan khusus kanggo nyukupi kabutuhan wilayah tartamtu utawa pengin tuku sing digawe lan awet sing digawe ing China, sampeyan bisa ninggalake pesen.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept