Silikon nitride

1. Stabilitas Kimia sing Apik

Keramik Nitride Silicon duwe stabilitas kimia sing apik lan bisa tahan macem-macem asam sing kuat, gas alkali lan korosif. Proses manufaktur semikonduktor asring kudu ngatasi bahan kimia, keramik nitride silikon bisa nyedhiyakake jaminan kinerja sing stabil.

2. Properti mekanik sing apik banget

Keramik nitride silikon duwe kekerasan, kekuatan kompresif sing apik banget lan nyandhang, bisa nahan stres lan nyandhang lumahing mekanik lan nyandhang lumahing, ora gampang digawa. Properti mekanik iki ndadekake cocog karo bahan kanggo bagean struktural lan proses ing peralatan semikonduktor.

3. Stabilitas suhu dhuwur

Keramik Nitride Silicon bisa njaga stabilitas ing lingkungan suhu sing dhuwur, ora gampang lemes utawa cair, lan bisa nangani proses suhu sing dhuwur lan nangani proses manufaktur semikonduktor. Iki ngidini digunakake kanggo ngasilake komponen utama peralatan suhu, kayata grippers, komponen ruangan reaksi lan liya-liyane.

4. Properti insulasi sing apik banget

Properti insilasi kritis ing manufaktur piranti semikonduktor. Keramik Nitride Silicon duwe sifat penebat, sing bisa ngisolasi lan nglindhungi komponen sirkuit saka bocor saiki utawa gangguan elektromagnetik saiki, ngewangi stabilitas piranti kasebut.

5. Konduktivitas termal lan konduktivitas termal

Keramik Nitride Silicon duwe tumindak termal sing dhuwur, bisa ngilangi rasa panas sing digawe dening piranti, mbantu njaga stabilitas suhu ing proses operasi. Iki kritis kanggo operasi kinerja piranti semikonduktor kanthi dhuwur.

1. Bapak electrostatic lan komponen ruangan etching

Keramik Nitride Silicon asring digunakake minangka bahan kanggo komponen chamber electrostatic lan komponen ruangan antching sing apik banget lan resistensi suhu sing apik banget. Chuckrostatic biyen digunakake kanggo ndandani lan stabilake wafer utawa substrat, nalika komponen ruangan etching digunakake kanggo nahan gas-gas sing bisa digunakake lan lingkungan suhu sing dhuwur.

2. Piring distribusi gas lan reflektrem gas

Keramik Nitride Silicon uga digunakake ing pabrik peralatan semikonduktor ing piring distribusi gas lan reflektor. Plat distribusi gas digunakake kanggo seragam basis reaktif utawa pelindung menyang ruangan reaksi, nalika reflektor digunakake kanggo ngoptimalake distribusi lan refleksi cahya ing ruang reaksi lan keseragaman reaksi lan keseragaman reaksi.

3. Sing duwe komponen termal

Keramik Nitride Silicon asring digunakake minangka sing duwe lan komponen manajemen termal ing peralatan pabrik semikonduktor. Komponen kasebut kudu duwe kekuatan mekanik sing apik, nyandhang resistensi lan konduktivitas termal kanggo njamin operasi peralatan stabil lan akurasi pangolahan piranti.

4. Kimia Polajuan mekanik (CMP)

Keramik Nitride Silicon digunakake digunakake minangka bahan pad ing proses polishing mekanis mekanis kimia (CMP). Nduwe flatness sing apik lan nyandhang, lan bisa nyedhiyani dhukungan stabil sajrone proses polish kanggo njamin flatness lan tliti permisun permenchtortor permiconduktor.