Apa lapisan tAC? - vetek semikonduktor

Lapisan Tac (Lapisan karbida tantalum) minangka bahan pelapis kinerja sing diasilake dening proses pemendangan kimia (CVD). Amarga sifat-sifat-sifat banget saka lapisan tac ing kahanan sing ekstrem, umume digunakake ing proses manufaktur semikonduktor, utamane ing peralatan lan komponen sing mbutuhake suhu sing dhuwur lan lingkungan korosif sing kuwat. Peletah Tac biasane digunakake kanggo nglindhungi substrat (kayata grafit utawa keramik) saka karusakan kanthi suhu sing dhuwur, gas sing kuat lan nyandhang mekanik.

Properties fisik saka lapisan TAC

Fitur Produk lan kaluwihan

● Stabilitas termal banget:

Katrangan Fitur: Pelapisan Tac duwe titik leleh luwih saka 3880 ° C lan bisa njaga stabilitas tanpa bosok utawa ubah ing lingkungan suhu sing dhuwur.

Kauntungan: Iki nggawe bahan sing penting ing peralatan semikonduktor suhu kayata lapisan semikonduktor kanthi lapisan lapisan CVD TAC lan susceptor TAC, utamane kanggo aplikasi ing reaktor mocvd, kayata peralatan AIxtron G5.

● Rintangan karat sing apik banget:

Katrangan Fitur: Tac duwe inertness kimia sing kuat banget lan bisa nolak erosi gas sing bisa ditindakake kaya klorida lan fluorida.

Keuntungan: Ing proses semikonduktor sing nglibatake bahan kimia sing diombe, lapisan tac nglindhungi komponen peralatan saka kapal sing bisa digunakake lan nambah komponen utama silikon lan komponen utama silikon lan komponen utama silikon lan komponen utama.

● Kaangganan mekanik sing apik:

Fitur Katrangan: Hardness lapisan tac paling dhuwur 9-10 moh, sing ndadekake tahan kanggo nyandhang mekanik lan stres suhu sing dhuwur.

Kauntungan: Properti kekerahan sing dhuwur ndadekake lapisan tac cocog kanggo digunakake ing lingkungan sing dhuwur lan lingkungan stres sing dhuwur, njamin stabilitas jangka panjang lan linuwih peralatan jangka panjang.

● reaktivitas kimia murah:

Fitur Katrangan: Amarga inertness kimia, lapisan tac bisa njaga reaktivitas rendah ing lingkungan kimia sing dhuwur lan ngindhari reaksi kimia sing ora perlu karo gas reaktif.

Kauntungan: Iki penting banget ing proses manufaktur semikonduktor amarga njamin kesucian lingkungan proses lan bahan sing bermutu tinggi.

Peran lapisan tac ing proses pangolahan semikonduktor

● Nglindhungi komponen peralatan kunci:

Katrangan Fungsi: Pelapisan Tac umume digunakake ing komponen utama peralatan pabrik Semomonduktor, kayata susceptor sing dilapisi tac, sing kudu ditindakake ing kahanan sing ekstrem. Kanthi lapisan karo TAC, komponen kasebut bisa digunakake kanggo wektu sing suwe ing suhu dhuwur lan lingkungan gas sing ora rusak tanpa rusak.

● ngluwihi urip:

Katrangan Function: Ing peralatan MOCVD kayata AIxtron G5, lapisan tac bisa nambah daya tahan kanggo peralatan komponen lan nyuda kabutuhan peralatan peralatan lan nyandhang.

● Ningkatake stabilitas proses:

Katrangan Fungsi: Ing pabrik semikonduktor, lapisan tAC njamin keseragaman lan konsistensi proses pemendhotan kanthi nyedhiyakake suhu dhuwur lan lingkungan kimia. Iki penting banget ing proses wutah EPitoxial kayata Silicon Epitexy lan Gallium Nitride (Gan).

● Ngapikake efisiensi proses:

Katrangan Function: Kanthi ngoptimalake lapisan ing permukaan peralatan, lapisan tac bisa nambah efisiensi sakabèhé proses, nyuda tingkat kekurangan, lan nambah ngasilake produk. Iki kritis kanggo nggawe bahan semikonduktor dhuwur.

Stabilitas termal sing dhuwur, resistensi karat sing apik, kekerasan mekanik lan reaktivitas kimia sing kurang dipamerake dening TAC Coating Sajrone pangolahan semikonduktor ndadekake luwih apik kanggo nglindhungi komponen peralatan semikonduktor. Minangka panjaluk industri semikonduktor kanggo suhu sing dhuwur, kesucian sing dhuwur lan proses manufaktur sing terus-terusan terus mundhak, konsep-propeksi TAC, utamane ing peralatan lan proses sing dilengkapi lapisan lan aixtron g5 cvd.

Vetek Somiconductor Teknologi Co, Ltd minangka panyedhiya utama bahan lapisan kanggo industri semikonduktor. Perusahaan kita fokus ing solusi pemotong-pinggiran kanggo industri kasebut.

Kurban produk utama kita kalebuCVD Silicon Carbide (SIC), Lathi (Tac) Tantalum, Bulk SIC, bubuk sic, lan bahan sik sing dhuwur, sic ditutupi susceptor sing ditutupi, dering sing dilapisi, lan sapiturute, kemurnian ing ngisor iki 5ppm, bisa ketemu karo syarat pelanggan.

Fokus vetek semikonduktor kanggo ngembangake teknologi nglereni lan solusi pangembangan produk kanggo industri semikonduktor.Muga-muga ngarep-arep dadi mitra jangka panjang ing China.