Produk

Lapisan Silicon Carbide

VeTek Semiconductor spesialisasi ing produksi produk Lapisan Silicon Carbide Ultra murni, lapisan iki dirancang kanggo ditrapake kanggo komponen grafit, keramik, lan logam refraktori sing diresiki.


Lapisan kemurnian dhuwur utamane ditargetake digunakake ing industri semikonduktor lan elektronik. Iki minangka lapisan protèktif kanggo operator wafer, susceptor, lan unsur pemanas, nglindhungi saka lingkungan korosif lan reaktif sing ditemoni ing proses kayata MOCVD lan EPI. Proses kasebut minangka integral kanggo pangolahan wafer lan manufaktur piranti. Kajaba iku, lapisan kita cocog kanggo aplikasi ing tungku vakum lan pemanasan sampel, ing ngendi lingkungan vakum, reaktif, lan oksigen sing dhuwur ditemokake.


Ing VeTek Semiconductor, kita nawakake solusi lengkap kanthi kapabilitas toko mesin canggih. Iki ngidini kita nggawe komponen dhasar nggunakake grafit, keramik, utawa logam refraktori lan aplikasi lapisan keramik SiC utawa TaC ing omah. Kita uga nyedhiyakake layanan lapisan kanggo bagean sing disedhiyakake pelanggan, njamin keluwesan kanggo nyukupi kabutuhan sing beda-beda.


Produk Silicon Carbide Coating kita akeh digunakake ing Si epitaxy, SiC epitaxy, sistem MOCVD, proses RTP / RTA, proses etsa, proses etsa ICP / PSS, proses macem-macem jinis LED, kalebu LED biru lan ijo, UV LED lan jero-UV LED etc., kang dicocogake kanggo peralatan saka LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI lan ing.


Bagian reaktor sing bisa ditindakake:


Aixtron G5 MOCVD Susceptors


Silicon Carbide Coating sawetara kaluwihan unik:

Silicon Carbide Coating several unique advantages



VeTek Semikonduktor Silicon Carbide Coating Parameter

Sifat fisik dhasar saka lapisan CVD SiC
Properti Nilai Khas
Struktur Kristal FCC β fase polikristalin, utamané (111) oriented
SiC coating Kapadhetan 3,21 g/cm³
SiC coatingKekerasan Kekerasan 2500 Vickers (beban 500g)
Ukuran Gandum 2~10μm
Kemurnian Kimia 99.99995%
Kapasitas panas 640 J·kg-1· K-1
Suhu Sublimasi 2700 ℃
Kekuatan lentur 415 MPa RT 4-titik
Modulus Young 430 Gpa 4pt tikungan, 1300 ℃
Konduktivitas termal 300W·m-1· K-1
Thermal Expansion (CTE) 4.5×10-6K-1

STRUKTUR KRISTAL FILM SIC CVD

CVD SIC FILM CRYSTAL STRUCTURE



Silicon Carbide coated Epi susceptor Silicon Carbide dilapisi susceptor Epi SiC Coating Wafer Carrier SiC Coating Wafer Carrier SiC coated Satellite cover for MOCVD SiC ditutupi Satelit tutup kanggo MOCVD CVD SiC Coating Wafer Epi Susceptor CVD SiC Coating Wafer Epi Susceptor CVD SiC coating Heating Element Elemen Pemanas lapisan CVD SiC Aixtron Satellite wafer carrier operator wafer Satelit Aixtron SiC Coating Epi susceptor SiC Coating Epi panrima SiC coating halfmoon graphite parts SiC lapisan grafit halfmoon


View as  
 
Solid SiC Fokus Rings

Solid SiC Fokus Rings

Dirancang kanggo ngubengi zona pelacakan wafer, Solid SiC Focus Ring njamin distribusi plasma linier lan profil etch pinggir-kanggo-tengah sing tepat. Komponen β-SiC premium iki dibangun dening Vetek Semiconductor (Wuyi Tianyao New Material Technology Co., LTD) nggunakake teknologi Deposition Uap Kimia (CVD) proprietary. Kanthi nguap bahan mentah dadi matriks sing padhet lan tanpa binder, Vetek ngilangi celah mikro keropos sing umum ing bahan lawas. Dibandhingake karo perisai kuarsa utawa silikon standar, komponen CVD SiC kita luwih apik kanggo gas halogen korosif, nglindhungi wafer ing logika sub-7nm jero lan manufaktur chip memori sing padhet.
AMAT 0200-03201 CVD SiC Wafer Lift Pin

AMAT 0200-03201 CVD SiC Wafer Lift Pin

Iki AMAT 0200-03201 Wafer Lift Pin saka VeTek diwiwiti kanthi grafit kemurnian dhuwur, banjur kita nambah lapisan CVD SiC sing padhet ing ndhuwur. Iki digawe kanggo sistem epitaksi 300mm lan reaktor EPI Bahan Terapan. Kenapa grafit lan SiC? Grafit nangani panas banget. Lapisan SiC njupuk gas korosif lan ora cepet rusak. Desain tembok tipis? Iki kanggo ngangkat wafer lan posisi sing luwih resik, partikel sing luwih sithik, lan umur sing luwih dawa ing suhu dhuwur. Kita uga nggawe bagean grafit sing dilapisi SiC sing padha kanggo sistem ASM, Aixtron, lan LPE. Looking nerusake kanggo pitakonan Panjenengan.
Wafer Carrier kanggo VEECO MOCVD (LED Epitaxy)

Wafer Carrier kanggo VEECO MOCVD (LED Epitaxy)

Vetek Semiconductor nggawe operator wafer kanggo sistem VEECO MOCVD, dibangun khusus kanggo karya epitaksi LED kaya LED GaN, LED biru-ijo, lan pertumbuhan LED UV jero. Operator kasebut diwiwiti kanthi grafit kemurnian dhuwur lan entuk lapisan silikon karbida (SiC) CVD sing padhet. Kombinasi kasebut bisa tahan ing suhu dhuwur sing sampeyan deleng ing MOCVD - stabilitas termal sing apik, tahan karat, lan lapisan tahan.
Halfmoon kanggo LPE Reaction Chamber

Halfmoon kanggo LPE Reaction Chamber

Halfmoon minangka komponen grafit sing digunakake ing reaktor LPE SiC, utamane dipasang ing zona panas kamar. Sanajan ora langsung ngubungi wafer, nanging isih nduweni peran ing stabilitas aliran gas lan operasi reaktor sajrone pertumbuhan epitaxial. Kanggo nangani suhu dhuwur lan kondisi proses reaktif, komponen kasebut biasane dilindhungi karo lapisan CVD SiC, dene lapisan TaC uga kasedhiya kanggo sawetara aplikasi. VETEK uga nyedhiyakake insulasi grafit lan bagean grafit sing dilapisi liyane kanggo sistem epitaksi SiC.
8-Inch CVD Silicon Carbide (SiC) Dilapisi Epitaxy Top Ring

8-Inch CVD Silicon Carbide (SiC) Dilapisi Epitaxy Top Ring

Ring ndhuwur epi SiC 8-inch minangka bagean hardware kanggo reaktor semikonduktor. Kerjane ing sistem epitaksi Si / SiC lan MOCVD / CVD. dering iki stabilizes panas nang kamar. Uga ngontrol aliran gas. Bahan kasebut yaiku CVD Silicon Carbide kemurnian dhuwur. Ora duwe masalah outgassing grafit. Uga nyuda kontaminasi partikel sajrone produksi. We welcome pitakonan Panjenengan.
MOCVD SiC Coated Susceptor

MOCVD SiC Coated Susceptor

VETEK MOCVD SiC Coated Susceptor minangka solusi operator sing direkayasa kanthi tliti sing dikembangake khusus kanggo pertumbuhan epitaxial semikonduktor LED lan senyawa. Iki nuduhake keseragaman termal lan inertness kimia sing luar biasa ing lingkungan MOCVD sing kompleks. Nggunakake proses deposisi CVD sing ketat VETEK, kita setya ningkatake konsistensi pertumbuhan wafer lan ndawakake umur layanan komponen inti, nyedhiyakake jaminan kinerja sing stabil lan dipercaya kanggo saben kumpulan produksi semikonduktor sampeyan.
Minangka Produsen lan supplier profesional Lapisan Silicon Carbide ing China, kita duwe pabrik dhewe. Apa sampeyan mbutuhake layanan khusus kanggo nyukupi kabutuhan wilayah tartamtu utawa pengin tuku sing digawe lan awet sing digawe ing China, sampeyan bisa ninggalake pesen.
X
Kita nggunakake cookie kanggo menehi pengalaman browsing sing luwih apik, nganalisa lalu lintas situs lan nggawe konten pribadi. Kanthi nggunakake situs iki, sampeyan setuju kanggo nggunakake cookie.Kebijakan Privasi
nolakNampa