VeTek Semiconductor spesialisasi ing produksi produk Lapisan Silicon Carbide Ultra murni, lapisan iki dirancang kanggo ditrapake kanggo komponen grafit, keramik, lan logam refraktori sing diresiki.
Lapisan kemurnian dhuwur utamane ditargetake kanggo digunakake ing industri semikonduktor lan elektronik. Iki minangka lapisan protèktif kanggo operator wafer, susceptor, lan unsur pemanas, nglindhungi saka lingkungan korosif lan reaktif sing ditemoni ing proses kayata MOCVD lan EPI. Proses kasebut minangka integral kanggo pangolahan wafer lan manufaktur piranti. Kajaba iku, lapisan kita cocog kanggo aplikasi ing tungku vakum lan pemanasan sampel, ing ngendi vakum dhuwur,
reaktif, lan lingkungan oksigen ditemoni.
Ing VeTek Semiconductor, kita nawakake solusi lengkap kanthi kapabilitas toko mesin canggih. Iki ngidini kita nggawe komponen dhasar nggunakake grafit, keramik, utawa logam refraktori lan aplikasi lapisan keramik SiC utawa TaC ing omah. Kita uga nyedhiyakake layanan lapisan kanggo bagean sing disedhiyakake pelanggan, njamin keluwesan kanggo nyukupi kabutuhan sing beda-beda.
Produk Silicon Carbide Coating kita akeh digunakake ing Si epitaxy, SiC epitaxy, sistem MOCVD, proses RTP/RTA, proses etsa, proses etsa ICP/PSS, proses saka macem-macem jinis LED, kalebu LED biru lan ijo, LED UV lan jero-UV LED etc., kang dicocogake kanggo peralatan saka LPE, Aixtron, Veeco, ASM, TSITEL, Nuflare lan TSITEL.
Bagian reaktor sing bisa ditindakake:
Fitur Utama
● Kemurnian ultra-dhuwur (99,99995%) kanthi struktur polikristalin fase β sing padhet kanggo ngasilake partikel minimal.
● Resistance kimia banget kanggo HCl, NH₃, H₂, SiH₄ lan gas proses korosif liyane.
● Konduktivitas termal dhuwur (~300 W·m⁻¹·K⁻¹) lan stabilitas termal nganti suhu sublimasi 2700°C.
● atose Superior (2500 Vickers) lan adhesion kuwat kanggo grafit, keramik lan logam refractory.
● Jangkoan lapisan conformal cocok kanggo geometri Komplek kalebu susceptors, operator, sirah padusan lan unsur panas.
● Kompatibel karo platform peralatan utama: LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI lan liyane.
Silicon Carbide Coating sawetara kaluwihan unik
Spesifikasi Produk
VeTek Semikonduktor Silicon Carbide Coating Parameter
| Sifat fisik dhasar saka lapisan CVD SiC |
| Properti |
Nilai Khas |
| Struktur Kristal |
FCC β fase polikristalin, utamané (111) oriented |
| SiC coating Kapadhetan |
3,21 g/cm³ |
| Kekerasan lapisan SiC |
Kekerasan 2500 Vickers (beban 500g) |
| Ukuran gandum |
2~10μm |
| Kemurnian Kimia |
99.99995% |
| Kapasitas panas |
640 J·kg⁻¹·K⁻¹ |
| Suhu Sublimasi |
2700 ℃ |
| Kekuatan lentur |
415 MPa RT 4-titik |
| Modulus Young |
430 GPa 4pt tikungan, 1300 ℃ |
| Konduktivitas termal |
300 W·m⁻¹·K⁻¹ |
| Thermal Expansion (CTE) |
4.5×10⁻⁶ K⁻¹ |
STRUKTUR KRISTAL FILM SIC CVD
Aplikasi
Kanggo nyukupi kabutuhan macem-macem proses semikonduktor, VeTek nawakake produk Coating Silicon Carbide sing ditargetake. Tabel ing ngisor iki nggolongake miturut area aplikasi utama, nyathet komponen khas lan proses sing ditrapake:
| Lapangan Aplikasi |
Produk Khas |
Deskripsi Aplikasi |
| Iki Epitaxy |
CVD SiC Coated Graphite Susceptor, SiC Coating Wafer Carrier, Epi susceptor
|
Cocog kanggo pangolahan epitaxial silikon, nyediakake distribusi suhu seragam, resistance kimia lan generasi partikel kurang kanggo lapisan epi kualitas dhuwur. |
| SiC Epitaxy |
CVD SiC Coated Planetary Susceptor, SiC dilapisi wafer susceptor, ring panuntun |
Kanggo wutah epitaxial SiC suhu dhuwur (LPE, lsp.), nyedhiyakake stabilitas termal lan antarmuka sing resik kanggo njamin keseragaman film lan ngasilake proses. |
| GaN / LED Epitaxy (MOCVD) |
SiC ditutupi Satelit tutup, Kepala Pancuran, disk satelit, ring masking |
Kompatibel karo sistem Aixtron, Veeco MOCVD; tahan korosi H₂/NH₃, nyuda kontaminasi partikel lan nambah asil epi LED (biru, ijo, UV, jero-UV). |
| Proses RTP/RTA |
CVD SiC Coated RTP Susceptor, Pembawa RTP RTA, unsur dadi panas
|
Dirancang kanggo proses termal kanthi cepet lan anil; tahan siklus suhu dhuwur sing bola-bali kanthi konduktivitas termal lan stabilitas dimensi sing apik. |
| Etching / ICP / PSS |
Solid SiC Fokus Rings, SiC dilapisi komponen kanggo kamar etch
|
Kekerasan dhuwur lan resistensi plasma nglindhungi bagean kamar, njamin keseragaman profil etch lan ngluwihi umur layanan ing lingkungan sing sugih halogen. |
| Dhuwur-Temp Pemanasan & Dhukungan |
Elemen Pemanas lapisan CVD SiC, operator wafer, susceptors
|
Kanggo aplikasi pemanasan induksi/resistif lan tungku vakum; nawakake atose dhuwur, resistance kejut termal lan umur komponen dawa. |
Kanggo solusi sing cocog proses sing luwih rinci, waca ingSilicon Epitaxy KablanSilicon Carbide Epitaxy Kabkaca aplikasi sing gegandhengan.
Minangka produsen lan supplier Silicon Carbide Coating profesional ing China, kita duwe pabrik dhewe. Apa sampeyan butuh layanan khusus kanggo nyukupi kabutuhan khusus wilayah sampeyan utawa pengin tuku Coating Silicon Carbide sing canggih lan tahan lama digawe ing China, sampeyan bisaninggalake kita pesen.
