Operator wafer wafer AIxtron

Satelit Wafer Satelit AIxtron minangka bagean integral saka peralatan MOxtron Mocvd AIxtron, khusus kanggo nggawa wafers kanggo wawasan angkuxial. Iku cocog kanggoWutah epitoxialproses gan lan silikon karbida (sic) piranti. Desain "satelit" unik ora mung njamin keseragaman aliran gas, nanging uga nambah keseragaman deposisi film babagan permukaan wafer.

AIxtron'soperator waferbiasane digawe sakasilikon karbida (sic)utawa grafit sing ditutupi cvd. Antarane, karbida karbida (SIC) duwe konduktivitas termal sing apik, resistensi suhu dhuwur lan koefision ekspansi termal sing kurang. Grafit Coated Cvd yaiku grafit sing dilapisi film karbida silikon liwat proses pemecatahan kimia (CVD) (CVD) (CVD) (CVD) (CVD) (CVD) (CVD) vapor Bahan grafit lan ditutupi kanthi suhu nganti 1,400 ° C-1,600 ° C lan duwe stabilitas termal sing apik ing suhu sing dhuwur, sing kritis kanggo proses wutah epitoxial.

Satelit wafer wafer AIxtron biasane digunakake kanggo nggawa lan muter wafers ingProses MOCVDKanggo njamin aliran gas seragam lan deposisi seragam sajrone wutah epitixial.Fungsi tartamtu kaya ing ngisor iki:

● rotasi wafer lan pemendakan seragam seragam: Liwat rotasi operator satelit AIxtron, wafer bisa njaga gerakan stabil sajrone wutah epitixial, ngidini gas kanggo merata lumahing wafer kanggo njamin pemendhotan seragam.

● Bearing suhu lan stabilitas: Bahan-bahan grafis utawa bahan grafit sing ditutupi bisa tahan suhu nganti 1,400 ° C-1,600 ° C. Fitur iki mesthekake yen wafer ora bakal cacat sajrone tuwuhing epitoxial suhu dhuwur, nalika nyegah ekspansi termal saka operator kasebut dhewe ora mengaruhi proses epitoxial.

● Generasi partikel sing suda: Bahan operator berkualitas tinggi (kayata SIC) duwe permukaan sing lancar sing nyuda generasi partikel sajrone vapor kontaminasi, sing dadi kritis kanggo ngasilake bahan-bahan sing gedhe-gedhe, kualitas semikonduktor.

Pembaruan wafer wafer AIxtron satelit kasedhiya ing 100mm, 150mm, ukuran wafer, lan bisa nyedhiyakake layanan produk khusus adhedhasar peralatan lan proses proses sampeyan. Muga-muga ngarep-arep dadi mitra jangka panjang ing China.

Data SEM saka struktur kristal film CVD SIC：

Satelit Produksi Mixtron Wafer Toko Produksi: