SiC dilapisi susceptor grafit kanggo ASM

Informasi produk umum

syarat bisnis produk

✔ Aplikasi: Veteksemicon SiC-dilapisi substrat grafit punika consumable tombol kanggo peralatan epitaxial seri ASM. Langsung ndhukung wafer lan nyedhiyakake lapangan termal sing seragam lan stabil sajrone epitaksi suhu dhuwur, dadi komponen inti kanggo njamin pertumbuhan bahan semikonduktor canggih kayata GaN lan SiC.

✔ Layanan sing bisa diwenehake: analisis skenario aplikasi customer, materi cocog, mecahaken masalah technical. 

✔ Profil Perusahaan：Veteksemicon duwe 2 laboratorium, tim ahli kanthi pengalaman materi 20 taun, kanthi kemampuan R&D lan produksi, tes lan verifikasi.

Parameter teknis

Veteksemicon SiC dilapisi susceptor grafit kanggo kaluwihan inti ASM

1. kemurnian nemen lan tingkat cacat kurang

Nggunakake substrat grafit khusus kanthi kemurnian dhuwur, partikel alus, digabungake karo proses lapisan deposisi uap kimia (CVD) sing dikontrol kanthi ketat, kita mesthekake yen lapisan kasebut kandhel, ora ana lubang jarum, lan ora ana impurities. Iki kanthi signifikan nyuda risiko kontaminasi partikel sajrone proses epitaxial, nyedhiyakake lingkungan substrat sing resik kanggo pertumbuhan lapisan epitaxial sing bermutu.

2. resistance karat banget lan nyandhang resistance

Lapisan karbida silikon pirolitik nduweni kekerasan lan inert kimia sing dhuwur banget, kanthi efektif nolak erosi sumber silikon (kayata SiH4, SiHCl3), sumber karbon (kayata C3H8), lan gas etsa (kayata HCl, H2) ing suhu dhuwur. Iki sacara signifikan ngluwihi siklus pangopènan dhasar lan nyuda downtime mesin sing disebabake dening panggantos komponen.

3. Keseragaman termal lan stabilitas sing apik

Kita ngoptimalake distribusi lapangan termal ing sawetara suhu operasi liwat desain struktur substrat sing tepat lan kontrol ketebalan lapisan. Iki langsung nerjemahake menyang kekandelan lan resistivity uniformity banget ing wafer epitaxial, contributing kanggo asil manufaktur chip apik.

4. kekuatan adhesion lapisan banget

Pretreatment lumahing unik lan teknologi lapisan gradien mbisakake lapisan silikon karbida kanggo mbentuk lapisan iketan kuwat karo substrat grafit, èfèktif nyegah lapisan peeling, flaking, utawa retak masalah sing bisa kedaden sak long term muter muter.

5. Ukuran sing tepat lan réplikasi struktural

Kita duwe kemampuan mesin lan uji coba CNC sing diwasa, ngidini kita bisa niru geometri kompleks, dimensi rongga, lan antarmuka sing dipasang ing basis asli, njamin fungsi sing cocog lan plug-and-play sing cocog karo platform pelanggan.

6. Pengesahan verifikasi rantai ekologis

Susceptor grafit sing dilapisi Veteksemicon SiC kanggo verifikasi rantai ekologis ASM kalebu bahan mentah kanggo produksi, wis lulus sertifikasi standar internasional, lan duwe sawetara teknologi sing dipatenake kanggo njamin linuwih lan kelestarian ing bidang semikonduktor lan energi anyar.

Kanggo spesifikasi teknis sing rinci, kertas putih, utawa pangaturan pangujian sampel, hubungi Tim Dhukungan Teknis kanggo njelajah kepiye Veteksemicon bisa nambah efisiensi proses sampeyan.

Bidang aplikasi utama

Toko produk Veteksemicon