MOCVD SiC Coated Susceptor

Parameter teknis

STRUKTUR KRISTAL FILM SIC CVD

Definisi lan Komposisi Produk

VETEK MOCVD SiC Coated Susceptor minangka komponen pembawa wafer premium sing dirancang khusus kanggo pangolahan epitaxial semikonduktor generasi katelu, kayata GaN lan SiC. Produk iki nggabungake sifat fisik sing unggul saka rong bahan kinerja dhuwur:

Substrat Grafit Kemurnian Tinggi: Diprodhuksi nggunakake teknologi pencet isostatik kanggo mesthekake materi dhasar nduweni integritas struktural sing luar biasa, Kapadhetan dhuwur, lan stabilitas pangolahan termal.

Coating CVD SiC: Lapisan protèktif silikon karbida (SiC) sing padhet lan tanpa stres ditanam ing permukaan grafit liwat teknologi Deposisi Uap Kimia (CVD) sing canggih.

Kenapa VETEK minangka Jaminan Hasil Sampeyan

Precision Ultimate ing Thermal Uniformity Control: Ora kaya operator konvensional, susceptor VETEK entuk transfer panas sing disinkronake ing kabeh permukaan liwat kontrol presisi skala nanometer saka ketebalan lapisan lan tahan termal. Manajemen termal sing canggih iki kanthi efektif nyuda simpangan standar dawa gelombang (STD) ing permukaan wafer, kanthi signifikan ningkatake kualitas wafer tunggal lan konsistensi batch sakabèhé.

Perlindhungan Jangka Panjang kanthi Kontaminasi Partikel Nol: Ing kamar reaksi MOCVD sing ngemot gas banget korosif, pedestal grafit biasa rentan kanggo partikel flaking. Lapisan CVD SiC VETEK nduweni inertness kimia sing luar biasa, tumindak minangka tameng sing ora bisa ditembus sing nutupi mikropori grafit. Iki njamin isolasi total impurities substrat, nyegah kontaminasi lapisan epitaxial GaN utawa SiC.

Resistance Fatigue lan Urip Layanan:Thanks kanggo proses perawatan antarmuka eksklusif VETEK, lapisan SiC kita entuk pertandhingan ekspansi termal sing dioptimalake karo substrat grafit. Malah ing siklus termal frekuensi dhuwur ing antarane suhu sing ekstrem, lapisan kasebut njaga adhesi sing unggul tanpa peeling utawa retak mikro. Iki kanthi nyata nyuda frekuensi pangopènan spare part lan nyuda total biaya kepemilikan.

Bengkel kita