Bagean grafit grafit sic lapisan

Ing kamar reaksi saka tungku wutah epitaxial SiC, bagean SiC lapisan grafit Halfmoon minangka komponen kunci kanggo ngoptimalake distribusi aliran gas, kontrol lapangan termal, lan keseragaman atmosfer reaksi. Biasane digawe saka lapisan SiCgrafit, dirancang ing bentuk setengah rembulan, sing ana ing papan grafit ndhuwur lan ngisor saka ruangan reaksi, sing ngubengi wilayah landasan.

    •Bagean grafit halfmoon ndhuwur: Diinstal ing sisih ndhuwur kamar reaksi, cedhak inlet gas, sing tanggung jawab kanggo nuntun gas reaksi kanggo mili menyang permukaan landasan.

    •Bagean grafit halfmoon ngisor: Dumunung ing sisih ngisor ruangan reaksi, biasane ing ngisor sing duwe substrat, digunakake kanggo ngontrol arah aliran gas lan ngoptimalake lapangan termal lan distribusi gas ing sisih ngisor saka landasan.

SajroneProses epitaksi SiC, bagean grafit setengah ndhuwur mbantu nuntun aliran gas supaya bisa disebar kanthi rata, nyegah gas kasebut langsung mengaruhi lumahing lumahing lan nyebabake kerusuhan lokal utawa kerusuhan lokal. Bagean grafit setengah sing luwih murah ngidini gas bisa mili kanthi lancar liwat landasan banjur dibuwang, nalika nyegah kerusuhan saka lapisan saka lapisan epitoxial.

Ing syarat-syarat angger lapangan termal, SiC nutupi bagean grafit Halfmoon bantuan kanggo roto-roto disebaraké panas ing kamar reaksi liwat wangun lan posisi. Bagean grafit halfmoon ndhuwur bisa kanthi efektif nggambarake panas sing sumringah saka pemanas kanggo mesthekake suhu ing ndhuwur landasan stabil. Bagean grafit setengah rembulan ing ngisor uga nduweni peran sing padha, mbantu nyebarake panas ing ngisor substrat liwat konduksi panas kanggo nyegah beda suhu sing gedhe banget.

Pelapisan SIC ndadekake komponen tahan suhu suhu dhuwur lan bagéan saka semikonduktor, saéngga setarah gunung semenmonductor, dadi urip layanan sing dawa. Dirancang kanthi ati-ati, bagean grafit setengah rembulan kanggo epitexy SIC bisa ditrapake kanthi lancar dadi akeh reaktor epitoxial, mbantu nambah efisiensi proses manufaktur semikonduktor. Apa wae butuh grafitrafitrafitra SIC sampeyan, hubungi vetek semikonduktor.

Veteksemtoko SiC coating halfmoon grafit parts: