Unsur pemanasan CVD CVD

Unsur pemanasan lapisan CVD utamane digunakake ing PVD (depresi uap fisik) peralatan). Ing proses penguapan, bahan digawe panas kanggo entuk penguapan utawa sputtering, lan pungkasane film tipis seragam dibentuk ing landasan.

Ⅰ.Aplikasi Khusus

Deposisi film lancip: Unsur pemanasan lapisan CVD digunakake ing sumber penguangan utawa sumber sputtering. Kanthi pemanasan, unsur kasebut ngetokake materi sing bakal disimpen kanthi suhu sing dhuwur, saéngga atom sing dhuwur, saéngga atom utawa molekul kasebut dipisah saka permukaan materi, saengga mbentuk bukus utawa plasma. Pelapis Sic Element sing Pemanas kita uga bisa langsung nggawe panas bahan logam utawa keramik kanggo evapatori utawa sublimate ing lingkungan vakum kanggo digunakake minangka sumber material ing proses PVD ing proses PVD. Amarga struktur kasebut duwe alur, bisa luwih ngontrol dalane jalur lan panyebaran panas kanggo njamin keseragaman pemanasan.

Diagram skematis proses pvd evaporasi

Ⅱ.Prinsip kerja

Pemanasan tahan, nalika saiki liwat dalan resistensi pemanas sing ditutupi, joule panas digawe, mula bisa nggayuh efek pemanasan. Struktur konsentrik ngidini arus bisa disebar kanthi merata. Piranti kontrol suhu biasane nyambung karo unsur kanggo ngawasi lan nyetel suhu.

Ⅲ.Desain Bahan lan Struktural

Unsur pemanasan lapisan CVD yaiku digawe saka lapisan grafit lan sicik kanggo ngrampungake lingkungan suhu sing dhuwur. Grafit sing gedhe-gedhe dhewe wis digunakake minangka bahan lapangan termal. Sawise lapisan lapisan ditrapake ing permukaan grafit dening metode CVD, stabilitas suhu dhuwur, resistensi karat, efisiensi termal lan karakteristik liyane luwih apik.

Desain alur concentric ngidini arus kanggo mbentuk gelung seragam ing permukaan disk. Nggawe distribusi panas panas seragam, ngindhari panas banget kanggo konsentrasi ing wilayah tartamtu, nyuda kerugian panas tambahan sing disebabake dening konsentrasi panas, lan kanthi mangkono nambah efisiensi pemanasan.

Unsur pemanasan lapisan CVD dumadi saka loro sikil lan awak. Saben sikil duwe benang sing nyambung menyang pasokan listrik. Vetek semiconduktor bisa nggawe bagean-potongan siji-potongan utawa bagean pamisah, yaiku sikil lan awak digawe kanthi kapisah lan banjur dipasang. Ora preduli apa syarat sing sampeyan duwe kanggo pemanas sing dilapisi CVD, wenehi konsultasi. VetekSemi bisa nyedhiyani produk sing dibutuhake.

Properties fisik dhasar lapisan SIC CVD: