Napa lapisan SiC entuk perhatian akeh? - VeTek Semikonduktor

Ing taun-taun pungkasan, kanthi terus berkembang industri elektronik,semikonduktor generasi kateluBahan wis dadi kekuwatan nyopir anyar kanggo pangembangan industri semikonduktor. Minangka wakil khas saka bahan semikonduktor generasi, SIC wis digunakake digunakake ing lapangan pabrik semikonduktor, utamane inglapangan termalBahan, amarga sifat fisik lan kimia sing apik banget.

Dadi, apa sejatine lapisan SiC? Lan apaLapisan CVD SiC?

SiC minangka senyawa ikatan kovalen kanthi kekerasan dhuwur, konduktivitas termal sing apik, koefisien ekspansi termal sing sithik, lan tahan korosi sing dhuwur. Konduktivitas termal bisa tekan 120-170 W / m · K, nuduhake konduktivitas termal sing apik banget ing boros panas komponen elektronik. Kajaba iku, koefisien ekspansi termal silikon karbida mung 4.0 × 10-6 / K (ing kisaran 300-800 ℃), sing ngidini kanggo njaga stabilitas dimensi ing lingkungan suhu dhuwur, nyuda deformasi utawa kegagalan sing disebabake dening termal. kaku. Lapisan silikon karbida nuduhake lapisan sing digawe saka silikon karbida sing disiapake ing permukaan bagean kanthi deposisi uap fisik utawa kimia, nyemprot, lsp.  

Depepensi uap kimia (CVD)saiki dadi teknologi utama kanggo nyiapake lapisan SiC ing permukaan substrat. Proses utama yaiku reaktan fase gas ngalami serangkaian reaksi fisik lan kimia ing permukaan substrat, lan pungkasane lapisan CVD SiC disimpen ing permukaan substrat.

Data Sem saka CVD SiC Coating

Wiwit lapisan silikon karbida kuat banget, apa hubungane manufaktur semikonduktor nduweni peran gedhe? Jawaban iki aksesoris produksi epitaxy.

Lapisan SIC nduweni kaluwihan utama sing cocog karo proses pertumbuhan epitaxial ing babagan sifat materi. Ing ngisor iki minangka peran penting lan alasan lapisan SIC ingSIC Coating Susceptor Epitexial:

1. Konduktivitas termal lan resistensi suhu sing dhuwur

Suhu lingkungan wutah epitoxial bisa tekan ndhuwur 1000 ℃. Pelapisan SIC nduweni konduktivitas termal sing akeh banget, sing bisa ngilangi panas kanthi efektif lan njamin keseragaman suhu saka wutah epitoxial.

2. Stabilitas kimia

Pelapisan SIC duwe inertness kimia sing apik lan bisa nolak karat kanthi gas sing bisa diobati lan bahan kimia, mesthekake yen ora bisa nanggepi reaktan sajrone wutah epitega lan njaga integritas permukaan.

3. Concing Concentice Constant

Ing pertumbuhan epitaksal, lapisan SIC bisa dicocogake kanthi macem-macem bahan epitoxial amarga struktur kristal, sing bisa nyuda cacat kristal, mula bisa nyuda kualitas lan ningkatake kualitas lan ningkatake kualitas epitoxial.

4. Koefision ekspansi termal sing kurang

Lapisan SiC nduweni koefisien ekspansi termal sing kurang lan relatif cedhak karo bahan epitaxial umum. Iki tegese ing suhu dhuwur, ora bakal ana kaku abot antarane basa lan lapisan SiC amarga beda ing koefisien expansion termal, ngindhari masalah kayata peeling materi, retak utawa deformasi.

5. kekerasan dhuwur lan resistensi nyandhang

Lapisan SiC nduweni kekerasan sing dhuwur banget, saéngga nutupi ing permukaan dasar epitaxial bisa ningkatake resistensi nyandhang lan ngluwihi umur layanan, nalika mesthekake yen geometri lan kerata permukaan basa ora rusak sajrone proses epitaxial.

Seksi-bagean lan Gambar lumahing lapisan SIC

Saliyane dadi aksesoris kanggo produksi epitoxial,Lapisan SiC uga duwe kaluwihan sing signifikan ing wilayah kasebut:

Pembawa wafer semikonduktor：Sajrone pangolahan semikonduktor, penanganan lan pangolahan wafer mbutuhake kabersihan lan tliti. Pelapisan SIC asring digunakake ing operator wafer, kurungan lan tray.

Operator wafer

Preheating Ring：Dering preheating dumunung ing dering njaba saka tray substrat epitaxial Si lan digunakake kanggo kalibrasi lan dadi panas. Iki diselehake ing kamar reaksi lan ora langsung ngubungi wafer.

  Preheating Ring

Bagean setengah wulan ndhuwur yaiku operator aksesoris liyane saka kamar reaksi ingPiranti epiteksi sic, sing suhu sing dikendhaleni lan diinstal ing ruangan reaksi tanpa kontak karo wafer kasebut. Bagean sing luwih murah wulan disambungake menyang tabung kuarza sing ngenalake gas. Suhu kontrol, diinstal ing ruangan reaksi lan ora mlebu kontak langsung karo wafer.

Bagean setengah rembulan ndhuwur

Kajaba iku, ana lebur cuci kanggo nguas ing industri semikonduktor, gerbang tabung elektronik sing dhuwur, sikat kontak karo regulator voltase, monopromator grafit kanggo x-ray lan neutron, macem-macem bentuk substrat grafit lan lapisan tabung panyerepan atom, etc., lapisan SiC muter peran tambah penting.

Napa milihIku semikonduktor?

Ing vetek semiconduktor, proses manufaktur gabungke teknik kanggo bahan canggih karo bahan canggih kanggo ngasilake produk lapisan SIC kanthi kinerja sing unggul kanthi kinerja sing unggulWafer wafer dilapisi SiC, panrima SiC Coating Epi,UV LED Epi panrima, Silicon Carbide Keramik CoatinglanSIC lapisan Susceptor. Kita bisa nyukupi kabutuhan khusus industri semikonduktor uga industri liyane, nyedhiyakake lapisan SiC khusus kanggo pelanggan.

Yen sampeyan duwe pitakon utawa butuh rincian tambahan, aja ragu-ragu kanggo sesambungan karo kita.

Mob / samsung: + 86-180 6922 0752

Email: Anny@veteksemi.com