Reachtor sic efacmoon sic lpe

Reachtor sic efacmoon sic lpeminangka piranti khusus sing dirancang kanggo ngasilake kualitas tinggiEpitarial Carbide (SIC) SilikonLapisan, ing endi proses epitarxial dumadi ing rembatan reaksi setengah rembulan ing Lpe, ing endi landasan kasebut kapapar kahanan sing ekstrem kayata suhu sing dhuwur lan gas korosive. Kanggo njamin urip lan kinerja komponen ruangan reaksi, Depektedi uap kimia (CVD)SIC lapisanbiasane digunakake. 

Reachtor sic efacmoon sic lpeKomponen:

Kamar reaksi utama: Kamar reaksi utama digawe saka bahan tahan suhu sing dhuwur kayata silikon karbida (sic) langrafit, sing duwe resistensi karat kimia lan resistensi suhu sing dhuwur. Suhu operasi biasane antara 1,400 ° C lan 1,600 ° C, sing bisa ndhukung pertumbuhan kristal karbida silikon ing kahanan suhu dhuwur. Tekanan operasi saka kamar reaksi utama antarane 10^-3lan 10^-1Mbar, lan keseragaman saka wutah EPitoxial bisa dikontrol kanthi nyetel tekanan.

Komponen pemanasan: Grafis utawa silikon karbida (SIC) Pemanas umume digunakake, sing bisa nyedhiyakake sumber panas sing stabil ing kahanan suhu dhuwur.

Fungsi utama saka reaktor ipi halfmoon sic elpor yaiku kanggo Epitoxial tuwuh film karbida silikon kanthi kualitas tinggi. Khusus,Iki diwujudake ing aspek ing ngisor iki:

Wutah Lapisan Epititaxial: Liwat proses epitexy fase cair, lapisan angkasa arang banget cacat bisa thukul ing substrat SIC, kanthi tingkat pertumbuhan kira-kira 1-10μm / H, sing bisa njamin kualitas kristal sing dhuwur banget. Ing wektu sing padha, tingkat aliran gas ing ruangan reaksi utama biasane dikontrol ing 10-100 suntimeter (sentimeter standar standar saben menit) kanggo njamin keseragaman lapisan epitoxial.

Stabilitas suhu dhuwur: Lapisan epitoxial sic isih bisa njaga kinerja sing apik ing suhu sing dhuwur, tekanan dhuwur, lan lingkungan frekuensi sing dhuwur.

Nyuda kapadhetan cacat: Desain struktural unik saka reaktor SIC EPI Halfmoon SIC kanthi efektif bisa nyuda cacat generasi kristal sajrone proses epitexy, saengga bisa nambah kinerja piranti lan linuwih.

Vetek Somiconductor setya menehi solusi teknologi lan solusi produk kanggo industri semikonduktor. Ing wektu sing padha, kita ndhukung layanan produk sing disesuaikan.Muga-muga ngarep-arep dadi mitra jangka panjang ing China.

Data SEM saka struktur kristal film CVD SIC:

Properties fisik dhasar lapisan SIC CVD：

Vetek semikonduktor lpe halfmoon sic epi reactor toko produksi: