Bahan saka Silicon Carbide Epitexy

Carbide Silikon, kanthi formula kimia, minangka bahan semikonduktor sing dibentuk dening ikatan kovalen sing kuwat ing antarane silikon (SI) lan karbon (c) unsur-unsur. Kanthi sifat fisik lan kimia sing apik banget, nduweni peran sing tambah penting ing pirang-pirang lapangan industri, utamane ing proses manufaktur semikonduktor sing nuntut.

ⅠWaca rangkeng-. Properties fisik saka Silicon Carbide (SIC)

Ngerti sifat fisik SIC minangka dhasar kanggo ngerteni nilai aplikasi:

1) Hardness High:

Kekayaan Mohs saka SIC udakara 9-9.5, nomer loro mung kanggo berlian. Iki tegese duwe resistensi sing apik lan ngeret.

Nilai aplikasi: Ing proses pangolahan semikonduktor, iki tegese bagean sing digawe saka SIC (kayata lengen robis, chucks, cakram sing luwih dawa bisa nyandhang, lan kanthi mangkono nambah kabersihan lan stabilitas proses kasebut.

2) Properti termal sing apik banget:

● Konduktivitas termal dhuwur: 

Konduktivitas termal SIC luwih dhuwur tinimbang bahan silikon tradisional lan pirang-pirang logam (nganti 300-490w / (m⋅k) ing suhu kamar, gumantung saka bentuk kristal lan kemurnian).

Nilai Aplikasi: Bisa ngeculake panas kanthi cepet lan efisien. Iki kritis kanggo nyebarake piranti semikonduktor kanthi dhuwur, sing bisa nyegah piranti ora bisa diatasi lan gagal, lan nambah linuwih lan kinerja piranti kasebut. Ing peralatan Proses, kayata piring sing adhem, konduktivitas termal sing dhuwur njamin keseragaman suhu lan respon cepet.

● Koefision ekspansi termal: SIC wis owah-owahan dimensi cilik ing sawetara suhu sudhut.

Nilai Aplikasi: Ing proses semikonduktor sing ngalami owah-owahan suhu drastik (kayata bagean termal kanthi cepet), bagean-bagean SIC bisa njaga akurat lan cacat sing disebabake, lan mesthekake asil akurat termal, lan ngasilake asil akurasi termal, lan mesthekake asil akurat lan asil.

● Kemampuan termal sing apik banget: SIC bisa njaga stabilitas lan stabilitas kinerja ing suhu sing dhuwur, lan bisa tahan suhu nganti 1600 ºC utawa luwih dhuwur ing swasana sing luwih dhuwur.

Nilai Aplikasi: Cocog kanggo lingkungan proses suhu kayata wutah epitaksal, oksidasi, panyebaran, lan sapiturute, lan ora gampang diuripake utawa reaksi karo bahan liyane.

● Rintangan kejut termal sing apik: bisa nambah owah-owahan suhu kanthi cepet tanpa retak utawa karusakan.

Nilai Aplikasi: Komponen SIC luwih tahan tahan lama ing mundhak suhu kanthi cepet lan musim gugur.

3) sifat listrik sing unggul (utamane kanggo piranti semikonduktor):

● Bandgap: Bandgap SIC udakara kaping telu saka silikon (umpamane, 4h-SIC udakara 3.26ev lan SI udakara udakara 1.12EV).

Nilai Aplikasi:

Suhu operasi dhuwur: The Wide Bandgap nggawe konsentrasi operator intrinsik piranti SIC isih sithik ing suhu sing dhuwur, saengga bisa digunakake ing suhu sing luwih dhuwur tinimbang piranti silikon (nganti 300ºC utawa luwih).

Lapangan listrik tinggi: Kekuwatan kolom listrik breakdown SIC meh 10 kaping silikon. Iki tegese ing tingkat resistansi voltage sing padha, piranti SIC bisa digawe luwih tipis lan resistensi tahan DRIFT luwih cilik, mula bakal nyuda kerugian konduksi.

Rintangan radiasi sing kuwat: Bandgap wide uga nggawe resistensi radiasi sing luwih apik lan cocog kanggo lingkungan khusus kayata aeroangkasa.

● Velocity Drift Electron Elektron Dhuwur: Kecepatan Sabanjure Ukuran SIC kaping pindho saka silikon.

Nilai Aplikasi: Iki ngidini piranti SIC kanggo operate ing frekuensi pemuka sing luwih dhuwur, sing migunani kanggo nyuda volume lan bobot komponen pasif kayata instruksi lan kapasitor ing sistem kasebut lan nambah kapadhetan daya sistem.

4) stabilitas kimia sing apik banget:

SIC duwe resistensi karat sing kuwat lan ora nanggepi kanthi asam, dhasar utawa molten uyah ing suhu kamar. Iki ditanggepi karo oksidan sing kuwat utawa molten mung ing suhu sing dhuwur.

Nilai Aplikasi: Ing proses sing nglibatake bahan kimia kayata semikonduktor udan etching lan reresik, komponen SIC (kayata kapal, pipa, lan muncung) lan risiko kontaminasi. Ing proses garing kayata Plasma Etching, toleransi kanggo plasma uga luwih apik tinimbang bahan tradisional.

5)Kemurnian dhuwur (kemurnian sing bisa digayuh):

Bahan SIC kanthi dhuwur bisa disiapake kanthi metode kayata deposisi uap kimia (CVD).

Nilai pangguna: Ing Pabrik Semikonduktor, kemurnian materi kritis, lan ora ana impurities bisa mengaruhi kinerja piranti lan ngasilake. Komponen SIC sing dhuwur banget nyilikake kontaminasi saka wafers silikon utawa lingkungan proses.

ⅡWaca rangkeng-. Aplikasi saka Carbide Silicon (SIC) minangka Substrat Epitarial

Wafers Crystal Single Sik yaiku Bahan Substrat Key kanggo Manufaktur Piranti Power SIC (kayata Mosfets, Jfets, SBD) lan piranti RF / Gan).

Skenario aplikasi khusus lan panggunaan:

1) epitexy SIC-On-SIC:

Gunakake: Ing Substrat Kristal SIC sing paling dhuwur, lapisan epitoxial sing dhuwur banget karo doping lan kekandelan khusus thukul dening uap kimia epitexy (CVD) kanggo mbangun area aktif piranti SIC.

Nilai Aplikasi: Konduktivitas termal sing apik banget mbantu piranti nyiram panas, lan ciri bandgap sing bisa ngaktifake piranti kanthi tahan voltase dhuwur lan operasi frekuensi dhuwur lan operasi dhuwur. Iki nggawe piranti SIC SIC kanthi apik ing kendaraan energi sing anyar (kontrol listrik, tumpukan fotovolta, petani motor industri, ningkatake efisiensi sistem lan nyuda ukuran peralatan lan bobote.

2) gan-on-sic epitexy:

Gunakake: Substrat SIC cocog kanggo nambah lapisan gan epitoxial sing bermutu (utamane kanggo piranti RF sing dhuwur banget kayata hemts) amarga kentang sing cocog karo gan (dibandhingake karo sapir lan konduktivitas termal sing dhuwur banget.

Nilai aplikasi: Substrat SIC bisa kanthi efektif nindakake panas sing digawe saka piranti Gan sajrone operasi kanggo njamin linuwih lan kinerja piranti. Iki ndadekake piranti Gan-on-Sik duwe kaluwihan sing ora bisa dicapai ing stasiun dhasar komunikasi 5G, sistem radar, countermeasurs elektronik lan lapangan liyane.

ⅢWaca rangkeng-. Aplikasi silikon karbida (sic) minangka lapisan

Kelipan SIC biasane setor ing permukaan substrat kayata grafit, keramik utawa logam dening metode CVD kanggo menehi properti sing apik lancar.

Skenario aplikasi khusus lan panggunaan:

1) Komponen Peralatan Etching Plasma:

Conto komponen: showerheads, linerch ruangan, lumahing esc, cincin fokus, jendhela atur.

Panganggone: Ing lingkungan plasma, komponen kasebut dibomakake kanthi ion energi dhuwur lan gas corrosive. Kelipis SIC nglindhungi komponen kritis kasebut saka karusakan kanthi kekerasan, stabilitas kimia sing dhuwur, lan resistensi erosi plasma.

Nilai Aplikasi: Lumampahaken Komponen Urip, Ngurangi Partikel Dipasang dening Komponen Kemampuan, Ngapikake stabilitas proses lan mbalekake, nyuda biaya pangopènan lan downtitas proses wafer.

2) Komponen Peralatan Pertumbuhan Epititaxial:

Conto komponen: Penyerahan subkeptor / wafer, unsur pemanas.

Panganggone: ing lingkungan wutah Epitifial dhuwur, lapisan sik (biasane SIC High -ity High-Tinggi) bisa menehi stabilitas suhu dhuwur lan inertian kimia kanggo nyegah reaksi kanthi gas utawa ngilangi impurities.

Nilai aplikasi: Mesthekake kualitas lan kemurnian lapisan epitoxial, nambah keseragaman suhu lan akurasi kontrol.

3) Komponen Peralatan Proses Liyane:

Tuladha komponen: disk grafit saka peralatan mocvd, kapal sing ditutupi sic (kapal kanggo bedhil / oksidasi).

Panggung: nyedhiyakake tahan karat, permukaan sing tahan suhu dhuwur, permukaan sing dhuwur.

Nilai Aplikasi: Ngapikake linuwih lan Komponen Proses.

ⅣWaca rangkeng-. Aplikasi silikon karbida (SIC) minangka komponen produk khusus liyane (komponen produk khusus liyane)

Saliyane dadi landasan lan lapisan, SIC dhewe uga langsung diproses dadi macem-macem komponen presisi amarga kinerja lengkap sing apik banget.

Skenario aplikasi khusus lan panggunaan:

1) Penanganan wafer lan komponen transfer:

Conto komponen: efisi robot pungkasan, chuck vacuum, grumbs pinggir, angkat pin.

Gunakake: Komponen kasebut mbutuhake kaku sing dhuwur, nyandhang nyandhang, ekspansi termal sing murah lan kesucian sing dhuwur, lan ora ana cacah-ewahan sing digawe saka suhu kanthi cepet lan tliti.

Nilai Aplikasi: Ningkatake linuwih lan kabersihan transmisi wafer, nyuda karusakan wafer, lan mesthekake operasi stabil saka garis produksi otomatis.

2) Peralatan proses struktural suhu sing dhuwur:

Conto komponen: tabung tungku kanggo penyebaran / oksidasi, kapal / cantilevers, tubes pangayoman termocouple, muncung.

Aplikasi: Gunakake kekuatan suhu dhuwur SIC, resistensi kejut termal, inertness kimia lan ciri polusi rendah.

Nilai Aplikasi: Nyedhiyani lingkungan proses sing stabil ing oksidasi suhu sing dhuwur, panyebaran, panyebaran lan proses liyane, ngluwihi peralatan lan nyuda pangopènan lan nyuda pangopènan.

3) Komponen Keramik Precision:

Tuladha komponen: bantalan, segel, pandhuan, lempitan lempeng.

Aplikasi: Gunakake atruen sing dhuwur, nyandhang resistensi, resistensi karat lan stabilitas dimensi.

Nilai Aplikasi: Kinerja sing apik ing sawetara komponen mekanik sing mbutuhake tliti sing dhuwur, umur dawa lan resistensi kanggo lingkungan sing angel, kayata sawetara komponen sing digunakake ing CMM (Polandia Keamananan mekanan kimia).

4) Komponen Optik:

Contone komponen: mirror kanggo optik UV / X-ray, jendhela optik.

Migunakake: SIC paling dhuwur, ekspansi termal, konduktivitas termal lan polisabilitas nggawe bahan kanggo stabil-stabil, cekak teleskop (utamane ing titik radiasi).

Nilai Aplikasi: Nyedhiyakake kinerja optik sing apik banget lan stabilitas dimensi ing kahanan sing ekstrem.