Pinggir keramik SIC

Chuck keramik SIC sing ditawakake VetekSemicon digawe saka karangan silikon sing dhuwur banget (SIC), Chuck keramik iki njamin aliran gas seragam, lan stabil termal sing apik banget. Cocog kanggo sistem clamping vakum, ing ngendi nangani wafer sing ora kontak, yaiku kritis.

Ⅰ. Properties Bahan Kunci & Keuntungan Kinerja

1. Konduktivitas termal & resistensi suhu sing apik

Silikon karbida nawakake konduktivitas termal (120-200 w / m · k) lan bisa tahan suhu operasi ing ndhuwur 1600 ° C, nggawe proses pemanasan, lan proses pemecatah suhu dhuwur, lan proses peningkatan suhu dhuwur.

Peran: njamin dissipasi panas seragam, nyuda keseragaman wafer lan nambah keseragaman proses.

2 .. Kekuwatan mekanik lan resistensi nyandhang

Mikrostruktur sing kandhel SIC menehi rasa keras chuck (> 2000 HV) lan daya tahan mekan, penting kanggo mbaleni loading loading / Lingkungan ngolah lan lingkungan proses.

Peran: ndawakake umur Chuck nalika njaga stabilitas dimensi lan presisi lumahing.

3. Porositas sing dikontrol kanggo distribusi vakum seragam

Struktur keramik sing apik banget kanggo nyedhot vakum konsisten ing permukaan wafer, njamin keamanan wafer kanthi kontaminasi partikel minimal.

Peranan: Nambah kompatibilitas resik lan njamin pangolahan wafer gratis sing rusak.

4. Resistan kimia sing apik banget

Sic's inertness kanggo gas sing corrosive lan lingkungan plasma nglindhungi chuck saka rusak amarga reaktif etcate utawa reresik kimia.

Peranan: Minimalake downtime lan ngresiki frekuensi, nyuda biaya operasional.

Ⅱ. Layanan lan Dhukungan VetekSemicon

Ing dokter racdsemicon, kita nyedhiyakake spektrum layanan sing cocog kanggo nyukupi babagan produsen semikonduktor:

● Desain ukuran geometri & pori sing dipikirake: Kita nawakake chuck ing macem-macem ukuran, kekandelan, lan kapadhetan sing disesuaikan karo spesifikasi peralatan lan syarat vakum.

● prototing turnaround cepet: Tim Times Lead lan Dhukungan Produksi MOQ kanggo garis R & D lan pilot.

● Layanan sales sing dipercaya: Saka pandhuan instalasi kanggo ngawasi lifecycle, kita mesthekake stabilitas kinerja lan dhukungan teknis.

Ⅲ. Aplikasi

● Etching lan peralatan pangolahan plasma

● ion implantation lan pemancaran kamar

● Sistem Polandia Teknik Kimia (CMP)

● Platform Metrology lan Inspection

● Sistem nyekel lan clamping sistem ing lingkungan kamar resik

Toko Produk Vekeemeicon: