Chuck Elektrosstatic Keramik

Proses produksi semikonduktor, utamane pangolahan wafer, ditindakake ing lingkungan vakum, lan wafer mekanis 

risiko tartamtu. Yen kekuwatan kasebut konsentrasi ing titik clamping, cerah silikon wafers bisa nyusup sithik, nyebabake kerusakan sing serius kanggo produksi wafer.

Ing kasus iki, chuck elecrostatic keramik dadi pilihan sing luwih apik, sing ndandani wafer saka listrik. Kekuwatan elektrostatik tumindak kanthi tliti, saengga wafer bisa dibenerake kanthi rata, nambah akurasi proses kasebut.

Miturut kertas riset sing relevan, chuck elecrostatic keramik duwe sugih sing luwih kuat tinimbang bojo elektrostatik liyane. Contone, Chuck Elecrostatic keramik duwe sulap sing luwih kuat tinimbang Chuck Electrostatic Film Pet.

Chuck keramik biasane digawe saka bahan keramik dhuwur kayata Al2o3, all utawa SIC, sing duwe resistensi panas, insulasi lan resistensi karat. Chuck keramik keropos ora mung stabil ing suhu sing ekstrem, nanging uga kanthi efektif nyegah e-chuck keramik saka régradasi kimia lan plasma ing proses manufaktur.

Kontrol suhu: Konduktivitas termal lan sifat-sifat-sifat-sifat-sifat-sifat-sifat-sifat-sifat-sifat-sifat keramik materiik sing bisa diaktifake chuck keramik keramik kanthi efektif kontrol suhu, saéngga ngopek distribusi suhu sajrone proses kasebut.

Adaptasi vakum: Chuck eliscrostatic keramik cocog kanggo proses vakum, utamane ing proses etch-tekanan sing kurang lan tliti.

Generasi partikel sing murah: E-Chuck Kerope SIC Irak duwe permukaan sing lancar, sing bisa nyuda kontaminasi partikel sajrone luwih akeh ndandani lan mbantu nambah ngasilake produk.

Aplikasi: utamane digunakake ing pabrik semikonduktor, chuck elamik keramik sing bisa dicopot nyedhiyakake posisi lan stabilitas sing tepat, sing mbiyantu lithografi, etching lan proses manufakon manufaker liyane. Mesthekake yen wafer kasebut utuh nalika ngolah lan nambah kualitas produksi chip.

Iku semikonduktorToko Produksi Keramik E-Chuck: