Lapisan Silicon Carbide

Susceptor grafit grafit sing ditutupi kanggo ASM yaiku komponen operator inti ing prosesxarixial Semikonduktor. Produk iki nggunakake teknologi lapisan karbida karbida karbida karbida lan proses mesin presisi kanggo njamin kinerja sing luwih unggul lan umur dawa ing lingkungan proses sing dhuwur lan suhu. Kita luwih ngerti babagan syarat-syarat senjata EPITITAXIAL ing kemurnian substrat, stabilitas termal, lan konsistensi, lan setya menehi panyedhiya pelanggan sing duwe performa peralatan sing luwih stabil.

Dering fokus VetekSemikon dirancang khusus kanggo piranti etching semikonduktor, utamane aplikasi etcation. Dipasang ngubengi chuck electrostatic (ESC), ing jarak cedhak karo wafer, fungsi utama kanggo ngoptimalake distribusi lapangan elektromagnetik ing ruangan reaksi lan fokus ing permukaan wafer kabeh. Dering fokus sing dhuwur banget ningkatake keseragaman rate etch lan nyuda efek pinggiran, langsung nambah ngasilake asil lan efisiensi produksi.

Piring pembaruan karbida VetekSemikon karbida kanggo LED ETCHING, sing dirancang khusus kanggo manufaktur chip LED, yaiku proses chip ing proses etching. Digawe saka karbida silikon sing tliti, nawakake resistensi kimia sing luar biasa lan stabilitas dimensi suhu, kanthi efektif nolak karat saka asam sing kuwat, dhasar, lan plasma. Properti kontaminasi sing kurang Mesthi ngasilake bathi kanggo wafers epitoxial sing dipimpin, nalika kekiatan, mula bisa uga milih biaya operasi sing bisa dipercaya, nggawe konsistensi proses etching.

Fokus solid vetekiika kanthi signifikan ningkatake keseragaman etching lan stabilitas proses kanthi tepat kanthi cepet ngontrol lapangan listrik lan airflow ing pinggir wafer. Iki digunakake ing proses ETCHION ETCHON kanggo silikon, dielektrik, lan bahan semikonduktor, lan minangka komponen utama kanggo ngasilake asil produksi massa lan operasi peralatan sing bisa dipercaya.

Siklus Coated Siklus Grafite saka VetekSemicon minangka komponen kinerja dhuwur sing dirancang kanggo pemampihan vapon Chemical (CVD). Diprodhuksi saka grafit murni lan dilindhungi karo lapisan uap kimia (Sic) Carbide (SIC), sirah mandheg, stabilitas termal, lan tahan kanggo gas proses kegrosif. Ngarepake konsultasi luwih.

Sing nduwèni karbida Carbide Carbide Carbide Carkon Wefer dening VetekSemicon direkayasa kanggo presisi lan kinerja ing proses semikonduktor sing maju kayata moccvd, lan panyebaran suhu sing dhuwur, lan suhu suhu dhuwur. Kanthi lapisan SIC sing seragam, sing duwe seragam iki njamin konduktivitas termal sing luar biasa, inertness kimia, lan kekuatan mekanik, penting kanggo kontaminasi-dhuwur-kontaminasi-ditindhes.