8-Inch CVD Silicon Carbide (SiC) Dilapisi Epitaxy Top Ring

Fitur Utama Ring Top SiC Epi 8 Inch

● High Purity: 99,9995% minimal. Logam ora bakal migrasi menyang lapisan epi. Iki njaga konsentrasi operator wafer ing ngendi wae.

● Supresi partikel: Struktur CVD kandhel. Ora ana pori. Ora bakal ngeculake partikel nalika alat lagi mlaku. Pabrik ndeleng asil sing luwih apik kanthi cara iki.

● Tahan Panas: Dering tetep stabil ing 1500°C. CTE rendah (ekspansi termal) tegese ora ana warping sajrone siklus panas / adhem kanthi cepet.

● Stabilitas Kimia: CVD SiC padat tahan gas H2 lan HCl. Uga tahan NH3. Ora ana lapisan sing bisa dicopot. Ora degradasi ing lingkungan CVD sing atos.

● Urip Komponen: Lumahing banget hard. Iku tahan reresik kimia HF/HCl bola-bali. Iki nyuda frekuensi panggantos. Iku uga ngedhunake total biaya kepemilikan kanggo fab.

Spesifikasi Teknis

Keseragaman kekandelan lapisan antarane batch dikontrol ing 10um

Aplikasi

Dering ndhuwur CVD SiC epi akeh digunakake ing:

● Reaktor silikon epitaksi (Si Epi).

● Silicon carbide epitaxy (SiC Epi)

● sistem MOCVD

● peralatan deposisi CVD

Biasane dipasangake karo:

● Susceptors

● operator wafer

● Preheat dering

● reaktor epitaksi

Napa hoose VETEK SiC Epi Top Ring?

● Kapabilitas Manufaktur Lengkap: 

Saka pemurnian bahan mentah nganti mesin presisi lan lapisan CVD, VETEK ngontrol kabeh proses produksi kanggo njamin kualitas kelas semikonduktor sing konsisten.

● Akurasi dhuwur: 

Kita nggunakake mesin tingkat micron. Kekandelan CVD banget seragam. Iki ndadekake saben dering nindakake kanthi cara sing padha.

FAQ

(1) Apa dering ndhuwur epi SiC?

Ring ngatur aliran panas lan gas. Iku ndadekake manawa film tipis mundak akeh roto-roto ing wafer.

(2) Napa CVD SiC luwih apik tinimbang grafit?

Grafit keropos. Grafit nduweni pori-pori lan ngeculake gas. CVD SiC padhet kandhel lan resik. Iku luwih dawa ing alat korosif.

(3) Apa ring ndhuwur SiC 8 inch bisa disesuaikan?

ya wis. Kita nggawe gambar alat khusus sampeyan. Kita bisa nyetel geometri adhedhasar proses sampeyan.

(4) Apa industri nggunakake dering epitaxy SiC?

Utamane digunakake ing manufaktur semikonduktor, kalebu piranti listrik, piranti RF, lan produksi wafer SiC.