Apa sing diarani elekrostatik chuck (esc)?

The Electrostatic Chuck (ESC), uga dikenal minangka Chuck Elecrostatic (Esc, E-Chuck), yaiku nggunakake prinsip elektromatik adsorption. Iki cocog kanggo lingkungan vakum lan plasma. Fungsi utama yaiku kanggo addorb ultra-Lembar tipis sing resik (kayata silikon wafers) lan njaga materi sing apik banget ing kandang sing apik, sing uga bisa nyandhet deformasi Materi Asided sajrone proses kasebut lan bisa nyetel suhu adsorbate.

Chuckrostatic (ESC) minangka jinis Chuck khusus sing nggunakake tenaga electrostatic kanggo ditahan, penet banjur pilih obyek (workpieces). Bahan apa wae sing nggawa biaya positif lan negatif sing ora katon mripat wuda. Nalika materi diselehake ing ESC lan voltase bipolar ditrapake ing elektrods internal saka ESC, positif lan negatif sing bakal bisa obah ing materi kanggo cocog karo polarasi elektrif internal ESC. Atraksi iki antara ESC lan materi diarani kekuwatan elektrostatic lan uga prinsip dhasar ing mburi bojone.

Kauntungan produk

Nduwe macem suhu operasi (-50 nganti 700 ℃)

Piala kesenangan elektrostatik iki nampilake kekuatan sing apik banget, konduktivitas termal lan resistensi kejut termal, lan bisa adaptasi karo suhu suhu keramik volume keramik kanthi kontrol resistensial Ngk.

Rintangan Korosi Tinggi

Piala kesucian elektrostatik iki duwe resistensi korosi sing apik kanggo gas halogen.

Pangolahan partikel

Perawatan partikel sing murah bisa digayuh liwat perawatan permukaan lan reresik khusus

Kesucian dhuwur

Produk kanthi kemurnian 99,9% utawa luwih dhuwur uga kasedhiya.

Fungsi pemanasan

Teknologi Embedding unsur dhuwur tliti bisa digabung karo fungsi pemanas, lan suhu wafer bisa dikendhaleni ing ± 1%.

Fungsi Kelangan

Pupung kasotik elektrostatik iki duwe kinerja pendinginan sing dhuwur banget kanthi ikatan keramik kanthi cara konduktivitas termal lan piring pendinginan sing dhuwur.

Elektrode Frekuensi Radio

Elektronisasi logam sing akeh bisa nyedhiyakake clamping lan frekuensi radio frekuensi plasma generasi.

Parameter

1.Ing bidang semikonduktor lan pabrik elektronik, sajrone proses manufaktur elektronik lan process manufaktur elektronasik digunakake kanggo ndandani lan nangani cuplikan sing kuat, lan ora bisa nambah efisiensi produksi lan kualitas produk.

2 .. Industri kaca lan keramik: sajrone proses nglereni, nggiling, lan nangani kaca lan keramik, cangkir kasat elekstatik bisa nindakake operasi sing ora bisa ngrusak ing bahan bejat, nyuda tingkat breakage produk

3. Pabrik mesin precision lan komponen optik

4. Garis produksi otomatis: ing garis produksi otomatis, gajian kasat elektrosa kanggo digunakake ing posisi, nangani bagean, lan sapiturute, nambah tingkat automation lan efisiensi baris produksi.