Wafer Piezoelektrik PZT (PZT ing Si/SOI)

1. Arsitektur Teknis

Wafer kita duwe struktur tumpukan multi-lapisan sing dirancang kanggo njamin adhesi, konduktivitas, lan respon piezoelektrik sing optimal sajrone pangolahan MEMS sing kompleks:

 ●Elektroda Top (Lapisan Kunci): Pt (Platinum).

● Lapisan Piezo (Lapisan Inti): PZT.

● Lapisan penengah: Kalebu Lapisan Buffer, Elektroda Ngisor, lan Lapisan Adhesi kanggo ngoptimalake orientasi gandum lan stabilitas struktur.

● Substrat: Kompatibel karo wafer Si utawa SOI.

2. Jaminan Kualitas & Analisis Struktur Mikro

Kita njamin keandalan sing dhuwur liwat karakterisasi teknis sing ketat:

 ●Analisis SEM: Scanning Electron Microscopy (SEM) gambar mbukak kandhel, morfologi lumahing free crack karo distribusi ukuran gandum seragam, becik kanggo aplikasi MEMS linuwih dhuwur.

 ●Karakteristik XRD: Pola X-Ray Difraction (XRD) ngonfirmasi pembentukan fase perovskite murni kanthi orientasi sing luwih disenengi (100), njamin koefisien kinerja piezoelektrik maksimal.

3. Spesifikasi Teknis (Karakteristik)

4. Aplikasi inti

 ● Piezoelektrik Micromachined Ultrasonic Transducers (pMUT): Array miniatur frekuensi dhuwur kanggo sensor bekas driji, pangenalan gerakan, lan radar ultrasonik otomotif.

 ● Komunikasi: Kunci kanggo nggawe saringan FBAR utawa SAW ing 5G/6G kanggo entuk bandwidth luwih akeh lan mundhut sisipan sing luwih murah.

 ● MEMS akustik: Nyedhiyakake respon transient kuat kanggo speaker MEMS lan nambah Sinyal-kanggo-Noise Ratio (SNR) kanggo mikropon MEMS.

 ● Kontrol Cairan Presisi: Getaran kacepetan dhuwur liwat mode d31 kanggo kontrol akurat skala nanoliter volume tetesan ing printhead inkjet.

 ● Kedokteran & Kecantikan (Micro-pumping): Nyopir nebulizer medis utawa pompa ultrasonik kosmetik kanthi linuwih lan ukuran kompak.

5. Layanan Kustomisasi

Saliyane deposisi standar ing wafer Si, kita uga nyedhiyakake layanan deposisi khusus:

 ●Kustomisasi Film & Ketebalan: Deposisi jinis film tartamtu lan kekandelan khusus miturut syarat desain.

 ●OEM Foundry: Penerimaan wafer sing diwenehake saka pelanggan kanggo pertumbuhan film tipis piezoelektrik sing berkualitas tinggi.

 ●Dhukungan Substrat SOI: Deposisi khusus ing wafer SOI kanthi spesifikasi ing ngisor iki: