Produk

Oksidasi lan tungku bedane

Oksidasi lan tawon bedhil digunakake ing macem-macem lapangan kayata piranti semikonduktor, piranti diskriminasi, piranti optoelektronik, sel solar ukuran gedhe, lan skala circuit integral. Dheweke digunakake kanggo proses kalebu panyebaran, oksidasi, annealing, alloying, lan gawe dosa saka wafers.


Vetek Semiconduktor minangka pabrikan utama sing duwe spesialisasi ing produksi grafit grafit kanthi dhuwur, silikon karbida lan karbida ing oksidasi lan tungku. Kita setya nyedhiyakake komponen tungku kanthi kualitas tinggi kanggo industri semikonduktor lan fotovolta, lan ing ngarep teknologi lapisan lumahing, kayata CVD-TAC, CVD-TAC, Pyrocarbon, lsp.


Keuntungan saka komponen karbida Vetek silikon:

● Rintangan suhu dhuwur (nganti 1600 ℃)

● Konduktivitas termal lan stabilitas termal

● Rintangan karat kimia sing apik

● koefisien kurang ekspansi termal

● kekuatan lan kekerasan dhuwur

● Urip layanan sing dawa


Ing oksidasi lan tungku sing beda-beda, amarga ana suhu suhu sing dhuwur lan gas sing kudu mbutuhake bahan tahan suhu sing dhuwur lan karat (SIC) sing digunakake. Ing ngisor iki minangka komponen karbida umum silikon sing ditemokake ing tungku oksidasi lan tawon penyebaran:



● prau wafer

Boat prau silikon karbida yaiku wadhah sing digunakake kanggo nggawa wafers silikon, sing bisa nahan suhu sing dhuwur lan ora bakal reaksi karo wafers silikon.


● Tube tungku

Tube tungku yaiku komponen inti tungku panyebaran, digunakake kanggo ngrampungake silikon wafers lan ngontrol lingkungan reaksi. Tabung tungku karbida karbida duwe suhu suhu dhuwur lan kinerja tahan karat.


● piring baffle

Digunakake kanggo ngatur penyebaran udara lan distribusi suhu ing njero tungku


● Tube perlindungan thermocouple

Digunakake kanggo nglindhungi suhu kanggo ngukur thermocuples saka kontak langsung kanthi gas currosive.


● Paddle cantilever

Paddles carbide carbide carbide carbide tahan suhu lan suhu dhuwur, lan digunakake kanggo ngeterake kapal silikon utawa kapal kuarza sing nggawa wafers silikon menyang tabung tawon sing beda.


● injector gas

Digunakake kanggo ngenalake gas reaksi menyang tungku, kudu tahan suhu lan karat sing dhuwur.


● kapal prau

Carrier Boat Boat silikon kareta digunakake kanggo ndandani lan nyengkuyung wafers silikon, sing duwe kaluwihan kayata kekuatan sing dhuwur, resistance karat, lan stabilitas struktural sing apik.


● lawang tungku

Kelainan karbida utawa komponen bisa uga digunakake ing njero lawang tungku.


● Unsur pemanasan

Unsur pemanasan karbida karbida cocog kanggo suhu sing dhuwur, kekuwatan dhuwur, lan bisa cepet ngunggahake suhu nganti luwih saka 1000 ℃.


● Sic liner

Digunakake kanggo nglindhungi tembok batin tabung tungku, bisa mbantu nyuda energi panas lan tahan lingkungan sing kuat kayata suhu dhuwur lan tekanan dhuwur.

View as  
 
Kapal Wafer SiC

Kapal Wafer SiC

Kapal wafer SiC digunakake kanggo nindakake wafer, utamane kanggo proses oksidasi lan difusi, kanggo mesthekake yen suhu bisa disebarake kanthi rata ing permukaan wafer. Stabilitas suhu dhuwur lan konduktivitas termal sing dhuwur saka bahan SiC njamin pangolahan semikonduktor sing efisien lan dipercaya. Semikonduktor Vetek setya nyedhiyakake produk kualitas kanthi rega sing kompetitif.
Tabung proses sic

Tabung proses sic

Vetek semiconduktor nyedhiyakake tabung proses SICK sing dhuwur kanggo Pabrik Semikonduktor. Tabung proses SIC Excel ing oksidasi, proses penyebaran. Kanthi kualitas lan kerajinan sing unggul, tabung iki nawakake stabilitas suhu dhuwur lan konduktivitas termal kanggo proses semikonduktor sing efisien. Kita nawakake rega kompetitif lan ngupayakake mitra jangka panjang ing China.
Paddle sic cantilever

Paddle sic cantilever

Tumpukan detek semikonduktor SIC digunakake digunakake ing tungku perawatan panas kanggo nangani lan ndhukung kapal wafer. Stabilitas suhu dhuwur lan konduktivitas termal saka SIC SICS Bahan njamin efisiensi dhuwur lan linuwih ing proses pangolahan semikonduktor. Kita setya nyedhiyakake produk berkualitas tinggi kanthi rega sing kompetitif lan ngarepake dadi mitra jangka panjang ing China.
Silicon Carbide Wafer Boat kanggo Tungku Horizontal

Silicon Carbide Wafer Boat kanggo Tungku Horizontal

SiC wafer boat nduweni syarat dhuwur ing kemurnian materi.Vetek Semiconductor nyedhiyakake kemurnian SiC >99,96% recrystallized SiC kanggo produk iki.VeTek Semiconductor minangka produsen profesional lan supplier ing China kanggo prau wafer silikon karbida kanggo tungku horisontal, kanthi pengalaman taun ing R&D lan produksi, bisa ngontrol kualitas uga lan kurban rega competitive. Sampeyan bisa yakin tuku prau wafer silikon karbida kanggo tungku horisontal saka kita.
Boat Water Caples Silikon SIC ditutupi

Boat Water Caples Silikon SIC ditutupi

SiC Coated Silicon Carbide Wafer Boat dirancang kanthi 165 slot kanggo nggawa wafer.VeTek Semiconductor minangka produsen profesional lan pemasok ing China kanggo kapal wafer silikon karbida sing dilapisi SiC, kanthi pengalaman pirang-pirang taun ing R&D lan produksi, bisa ngontrol kualitas kanthi apik lan nawakake kompetitif. regane. Sugeng rawuh ing pabrik kita lan diskusi luwih lanjut babagan kerjasama.
Paddle carbide carbide carbide

Paddle carbide carbide carbide

Vetek Segion Cantilever Kayak Cantilever Canilever Panddle minangka komponen penting ing proses manufaktur semikonduktor, utamane cocog kanggo tungku lowongan ing semikonduktor, tungku lpcvd ing proses suhu sing dhuwur kayata diffusion lan RTP. Paddle cantilever carbide carbide kita dirancang kanthi ati-ati lan diprodhuksi kanthi resistensi suhu dhuwur lan kekuatan mekanik, lan bisa dipercaya transportasi wafers kanggo macem-macem proses proses kanggo macem-macem proses suhu sing dhuwur kayata diffusion lan RTP. Kita ngarep-arep dadi mitra jangka panjang ing China.Feel gratis kanggo takon kita.

Shop high-performance Oxidation and Diffusion Furnace components at Veteksemicon—your trusted source for SiC-based thermal process solutions.


Veteksemicon supplies premium-grade silicon carbide (SiC) components designed specifically for oxidation and diffusion furnace systems in semiconductor manufacturing. These SiC parts exhibit excellent thermal shock resistance, high mechanical strength, and long-term dimensional stability in ultra-high-temperature and oxidizing environments. Ideal for process temperatures exceeding 1200°C, they are widely used in atmospheric and low-pressure diffusion systems, oxidation furnaces, and vertical thermal reactors.


Our product portfolio includes SiC cantilevers, boats, support rods, and tube liners, all engineered for precise wafer positioning and minimal particle contamination. The low thermal expansion coefficient of SiC helps maintain alignment across thermal cycles, while its chemical inertness ensures compatibility with O₂, N₂, H₂, and dopant gases. Whether for dry oxidation or dopant diffusion (e.g., phosphorus or boron), Veteksemicon’s diffusion furnace solutions enhance process stability, extend maintenance intervals, and support 200mm/300mm wafer formats.


For technical drawings, material datasheets, or quotation support, please visit Veteksemicon’s Oxidation and Diffusion Furnace product page or contact our application engineers.


Minangka Produsen lan supplier profesional Oksidasi lan tungku bedane ing China, kita duwe pabrik dhewe. Apa sampeyan mbutuhake layanan khusus kanggo nyukupi kabutuhan wilayah tartamtu utawa pengin tuku sing digawe lan awet sing digawe ing China, sampeyan bisa ninggalake pesen.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept