Tungku Oksidasi lan Difusi

Tungku Oksidasi lan Difusi digunakake ing macem-macem lapangan kayata piranti semikonduktor, piranti diskrit, piranti optoelektronik, piranti elektronik daya, sel surya, lan manufaktur sirkuit terpadu skala gedhe. Iki digunakake kanggo proses kalebu difusi, oksidasi, anil, paduan, lan sintering wafer.

VeTek Semiconductor minangka produsen terkemuka sing spesialisasine ing produksi grafit, karbida silikon lan komponen kuarsa kanthi kemurnian dhuwur ing tungku oksidasi lan difusi. Kita setya nyedhiyakake komponen tungku berkualitas tinggi kanggo industri semikonduktor lan fotovoltaik, lan ana ing ngarep teknologi lapisan permukaan, kayata CVD-SiC, CVD-TaC, pyrocarbon, lsp.

Kaluwihan komponen silikon karbida VeTek Semiconductor:

Tahan suhu dhuwur (nganti 1600 ℃)

Konduktivitas termal sing apik lan stabilitas termal

resistance karat kimia apik

Koefisien ekspansi termal sing kurang

Kekuwatan lan kekerasan sing dhuwur

urip dawa layanan

Ing tungku oksidasi lan difusi, amarga ana suhu dhuwur lan gas korosif, akeh komponen sing mbutuhake bahan tahan suhu dhuwur lan tahan korosi, ing antarane silikon karbida (SiC) minangka pilihan sing umum digunakake. Ing ngisor iki minangka komponen silikon karbida sing umum ditemokake ing tungku oksidasi lan tungku difusi:

Kapal Wafer

Kapal wafer silikon karbida minangka wadhah sing digunakake kanggo nggawa wafer silikon, sing bisa tahan suhu dhuwur lan ora bakal reaksi karo wafer silikon.

Tabung Tungku

Tabung tungku minangka komponen inti saka tungku difusi, digunakake kanggo nampung wafer silikon lan ngontrol lingkungan reaksi. Tabung tungku silikon karbida duwe kinerja tahan suhu lan karat sing apik banget.

Plat Bakul

Digunakake kanggo ngatur aliran udara lan distribusi suhu ing njero pawon

Thermocouple Protection Tube

Digunakake kanggo nglindhungi thermocouple pangukur suhu saka kontak langsung karo gas korosif.

Kantilever Paddle

Paddle cantilever silikon karbida tahan kanggo suhu dhuwur lan karat, lan digunakake kanggo ngeterake prau silikon utawa prau kuarsa sing nggawa wafer silikon menyang tabung tungku difusi.

Injektor Gas Kab

Digunakake kanggo ngenalake gas reaksi menyang tungku, kudu tahan suhu dhuwur lan karat.

Pembawa Perahu

Silicon carbide wafer boat carrier digunakake kanggo ndandani lan ndhukung wafer silikon, kang duwe kaluwihan kayata kekuatan dhuwur, resistance karat, lan stabilitas struktural apik.

Pintu Tungku

Lapisan utawa komponen silikon karbida uga bisa digunakake ing njero lawang pawon.

Elemen Pemanas

Unsur pemanasan silikon karbida cocok kanggo suhu dhuwur, daya dhuwur, lan bisa kanthi cepet ngunggahake suhu nganti luwih saka 1000 ℃.

SiC Liner

Digunakake kanggo nglindhungi tembok njero tabung tungku, bisa mbantu nyuda mundhut energi panas lan tahan lingkungan sing atos kayata suhu dhuwur lan tekanan dhuwur.