Aplikasi komponen Quartz ing peralatan semikonduktor

Produk KuarsaDigunakake kanthi akeh ing proses manufaktur semikonduktor amarga kesucian sing dhuwur, resistensi suhu dhuwur, lan stabilitas kimia sing kuwat.

1.quartz Crucible

Aplikasi - digunakake kanggo nggambar rod silikon monocrystalline lan yaiku konsumen core nggunakake manufaktur wafer.

Kuarsa Kuarsadigawe saka wedhi kuarsa sing dhuwur (4n8 lan ndhuwur) kanggo nyuda kontaminasi kanthi reged logam. Sampeyan kudu stabilitas suhu dhuwur (Celting Point> 1700 ° C) lan koefisien sing kurang ekspansi termal. Kuarsa kwaralan ing lapangan semikonduktor utamane digunakake kanggo manufaktur kristal silikon. Iki minangka kontaner kuarza sing bisa digunakake kanggo loading bahan mentah polidiksi lan bisa dipérang dadi jinis kothak lan bunder. Wong-wong sing digunakake kanggo pemotong ingoty silikon silikon, nalika bunder digunakake kanggo nggambar rod silikon monocrystalline. Bisa nahan suhu sing dhuwur lan njaga stabilitas kimia, njamin kesucian lan kualitas kristal silikon.

2 .. Tabung tungku Quartz

Quartz tabungDigunakake kanthi umum ing industri semikonduktor amarga ciri-ciri kayata tahan suhu dhuwur (suhu operasi jangka panjang), tingkat ppm (utamane nglawan sinar sinar ultaviolet). Skenario inti konsentrasi ing pirang-pirang proses kunci link saka manufaktur wafer.

Link aplikasi utama:Penyebaran, oksidasi, cvd (deposisi uap kimia)

Tujuane:

• Tube Penyebaran: Digunakake ing proses panyebaran suhu dhuwur, nggawa wafers silikon kanggo doping.
• Tube tungku: Ndhukung kapal kuarza ing tungku oksidasi kanggo perawatan oksidasi suhu sing dhuwur.

Fitur:

Sampeyan kudu nyukupi syarat saka kemurnian sing dhuwur (ion logam ≤1ppm) lan resistensi deformasi suhu dhuwur (ndhuwur 1200 ° C).

3. Kapal Crystal Quartz

Gumantung ing peralatan sing beda, dipérang dadi jinis vertikal lan horisontal. Gumantung ing garis produksi sing beda-beda, ukuran ukuran 4 nganti 12 inci. Ing manufaktur saka semikonduktor,Boat Crystal QuartzDigunakake utamane ing proses transfer wafer, reresik lan pangolahan. Minangka karyawan kanthi dhuwur lan dhuwur, lan duwe peran sing penting. Ing proses panyebaran utawa oksidasi tabung tungku, macem-macem waFers diselehake ing kapal kristal Quartz lan banjur diusir menyang tabung tungku kanggo manufaktur karusakan.

Injectory ing semikonduktor utamane digunakake kanggo transportasi gas utawa bahan cair lan ditrapake ing pirang-pirang link proses utama kayata pemecodi film tipis, etching, lan doping.

Ing proses reresik transistor silikon lan produksi sirkuit terpadu, digunakake kanggo nggawa wafers silikon lan kudu dadi asam lan alkali tahan kanggo mesthekake yen silikon wafers ora kontaminasi sajrone proses reresik.

6 .. Kuarsa Flanges, Ring Kuarsa, Cincin Fokus, lsp

Iki digunakake ing proses etching Semikonduktor, digabungake karo produk kuarsa liyane kanggo nggayuh perlindungan rongga, kanthi rapet, nyegah macem-macem jinis kontaminasi sajrone proses prodhuk etching, lan muter peran proteksi.

Kuarsa LoncengMinangka komponen utama sing digunakake ing industri semikonduktor, sing nampilake tahan suhu, tahan karat, lan transmisi cahya sing dhuwur.polysilicon: Tutup tungku kuarsa biasane digunakake minangka tutup suda kanggo polyz. Ing produksi polysilicon, trichlorarilane dhuwur dicampur karo hidrogen ing proporsi tartamtu lan banjur ngenalake tutup pengurangan sing dilengkapi ing silikon silikon ing silikon cuplikat kanggo siliket lan mbentuk polyilicon.

8. Kuarsa Wet Udan Wet

Tahap aplikasi: ngresiki wafir silikon

Dianggo: digunakake kanggo ngumbah asam (HF, h₂so₄, lan sapiturute) lan reresik ultrasonik.

Fitur: stabilitas kimia lan resistensi kimia sing kuat kanggo karat asam sing kuwat.

9 .. kwarna koleksi cair botol

Botol koleksi cair utamane digunakake kanggo ngempalaken cairan sampah utawa cairan sisa ing proses ngresiki udan

Sajrone proses ngresiki udan saka wafers (kayata reresik RCA, reresik SC1 / SC2) akeh banyu utawa reagen sing dibutuhake kanggo mbilas wafers, lan sawise mbuwang, cairan sawah sing bisa diprodhuksi. Sawise sawetara proses lapisan (kayata lapisan photoresist), uga bakal ana cairan sing berlebihan (kayata cairan sampah foto) sing kudu diklumpukake.

Botol koleksi cuplikan quartz digunakake kanggo ngempalaken cairan sisuran utawa limbah iki, utamane ing "langkah resik-langkah dhuwur" (kayata cairan precision sing wafer), ing endi cairan visual bisa ngemot reagen utawa rezek sing sithik. Kontaminasi suda botol kuarza bisa nyegah cairan sudut sing ora bisa dicalonake, nggampangake pemulihan sakteruse (kayata pemurnian reagen) utawa deteksi sing tepat (kayata istirahat isi sing ora pati jelas).

Kajaba iku, topeng kuarza sing digawe saka bahan wiban sintetik ditrapake ing mesin fotolithologi "negatives" kanggo transfer pola. Lan osz osz Crystal sing digunakake ing deposisi film tipis (PVD, CVD, ALD) kanggo ngawasi kekandelan film tipis lan njamin keseragaman saka pemandangan, ing antarane akeh aspek liyane, ora njlentrehake ing artikel iki.

Kesimpulane, produk kuarza meh saiki ana ing proses pabrik semikonduktor, saka wutah mocrrystalline silikon (kwarsa cabat) kanggo fotolate (cincin kwarsa), lan sifat kuarza (etchyl Crystal of Film lan kimia sing apik banget. Kanthi evolusi proses semikonduktor, syarat kanggo kesucian, resistensi suhu lan akurasi dimensi bahan kuarza bakal ditambah maneh.