Cincin Grafit Grafis TAC Coated

TAC (tantalum karbida) cincin grafit sing ditutupi minangka komponen kritis sing digunakake ing prosises semikonduktor kaya deposisi epitaxial lan plasma. Cincin kasebut dirancang kanggo nahan kanthi aman lan nimbali wafers silikon, njamin persampan lan stabilitas sing tepat sajrone lingkungan kimia lan udhara sing angel. Dering tuntunan kita sing direkayasa kanggo nyukupi panjaluk fabrikasi semikonduktor, mbantu nambah proses ngasilake lan kualitas wafer.

Komposisi materi lan sifat fisik

Intine cincin grafiten sing ditutupi tAT yaiku cincin grafit sing sampurna, sing ditutupi lapisan karbida tantalum (tac).

Grafis Grafis:

Grafit nyedhiyakake sawetara kaluwihan utama. Nduwe stabilitas termal sing apik, nolak deformasi ing suhu sing umum ing proses semikonduktor. Sifat sing entheng, minimalake massa termal, saéngga siklus pemanasan lan pendinginan kanthi cepet. Grafit murni dhuwur uga nyegah kontaminasi ruangan proses.

Pelapisan Tac CVD:

Lapisan karbida tantalum minangka kunci kanggo kinerja unggul ring. TAC minangka materi keramik sing angel banget, nawakake resistensi nyandhang lan kimia sing luar biasa lan inertness kimia. Iki nglindhungi grafit dhasar saka plasma sing agresif lan gas korof, signifikan ngluwihi umur cincin kasebut. Pelapis iki uga nyegah partikel saka Shited, sing penting kanggo njaga lingkungan proses sing resik lan nyegah cacat ing permukaan wafer.

Peran nuntun ing proses wafer

Cincin pandhuan sing dilapisi TAC kita nduweni peran penting kanggo njamin kualitas lan efisiensi saka semikonduktor.

● Alignment wafer lan stabilitas: Sajrone wutah epitaksal utawa etching, cincin pandhuan nyekel wafer ing posisi sing tepat. Iki ngalangi wafer saka pindah, sing penting kanggo deposisi lapisan seragam lan pola sing akurat ing permukaan wafer kabeh.

● Manajemen termal: Sifat termal saka lapisan karbida tantalum ngaktifake distribusi lan manajemen panas sing efisien. Iki kritis kanggo njaga profil suhu seragam ing wafer, sing perlu kanggo kekandelan film sing konsisten lan sifat-bahan material.

● Kontrol kontaminasi: Bahan murni lan lapisan tap sing awet bisa nyuda generasi partikel lan outgassing. Iki nyuda risiko kontaminasi wafer lan cacat, nyebabake piranti lan linuwih piranti sing luwih dhuwur.

● Lifes Komponen sing Dikirim: Pelapisan karbida tantalum sing kuwat nyedhiyakake ketahanan sing apik kanggo erosi plasma lan serangan kimia. Iki ngluwihi urip operasional cincin pandhuan pandhuan, nyuda mudhun pangopènan lan ngedhunake jumlah kepemilikan.