Nggunakake karbida sing padhet

Silicon Solicon Carbide SIC minangka bahan keramik sing canggih sing dumadi saka silikon (SI) lan karbon (c). Iki dudu bahan sing akeh ditemokake ing alam lan biasane mbutuhake sintesis suhu dhuwur. Kombinasi unik saka sifat fisik lan kimia ndadekake bahan utama sing ditindakake kanthi apik ing lingkungan sing ekstrem, utamane ing manufaktur semikonduktor.

ⅠWaca rangkeng-. Properti fisik Key of Silicon Key (SIC SCOLD)

High hardness lan nyandhang tahan:

Sic duwe kekerasan mohs udakara 9-9.5, nomer loro mung kanggo berlian. Iki menehi tansaya lan nyandhang resistensi, lan bisa ditindakake kanthi apik ing lingkungan sing kudu tahan stres utawa erosi partikel.

Kekuwatan lan stabilitas suhu sing apik banget

1. SIC bisa njaga kekuwatan mekanik lan integritas mekanik lan integritas struktural ing suhu sing dhuwur banget (operasi suhu 1600 ° C utawa kemurnian sing luwih dhuwur, gumantung karo jinis lan kemurnian).

2 .. Kémah sing kurang ekspansi termal tegese duwe stabilitas dimensi sing apik lan ora gampang ditindakake utawa nyakot nalika suhu nalika suhu saya ganti drastis.

▶ Konduktivitas termal dhuwur:

Ora kaya pirang-pirang bahan keramik liyane, sic duwe konduktivitas termal sing cukup dhuwur. Iki ngidini tumindak lan ngilangi panas kanthi efisien, sing kritis kanggo aplikasi sing mbutuhake kontrol suhu sing tepat lan keseragaman.

Inertian Kimia Suporior lan Resistance Korosi:

SIC nampilake ketahanan sing kuwat banget kanggo asam sing kuat, dhasar sing kuwat, lan gas sing biasane digunakake ing proses semikonduktor (kayata gas-lingkungan sing larang regane), sanajan suhu sing dhuwur. Iki kritis kanggo nyegah komponen ruangan proses supaya ora ana utawa kontaminasi.

▶ Potensi kanggo kemurnian dhuwur:

Kelipur SIC utawa bagean SIC sing kuat bisa diproduksi liwat proses manufaktur khusus (kayata deposisi uap kimia - CVD). Ing pabrik semikonduktor, kemurnian materi langsung mengaruhi tingkat kontaminasi lan ngasilake produk pungkasan.

▶ Tinggi (modulus enom):

SIC duwe modulus enom, tegese angel banget lan ora gampang dielingake kanthi ngemot. Iki penting banget kanggo komponen sing kudu njaga bentuk lan ukuran sing tepat (kayata operator wafer).

▶ Tunaga listrik Properties:

Sanajan asring digunakake minangka insulator utawa semikonduktor (gumantung saka bentuk kristal lan doping), sing dhuwur mbantu ngatur prilaku plasma utawa nyegah discharge arc sing ora perlu ing sawetara aplikasi komponen.

ⅡWaca rangkeng-. Aplikasi lan kaluwihan khusus saka silikon padhet karbida (SIP) rampung produk ing Pabrik Semikonduktor

Adhedhasar sifat fisik ing ndhuwur, SIC Solid diprodhuksi dadi macem-macem komponen presisi lan digunakake ing pirang-pirang tautan tombol ing semikonduktor.

1) operator wafer sic wafer (kapal / prau saring sonten):

Aplikasi:

Digunakake kanggo nggawa lan mindhah silikon wafers ing proses suhu sing dhuwur (kayata panyebaran, oksidasi, lpcvd - deposisi uap kimia sing kurang).

Analisis kaluwihan:

1. Stabilitas suhu dhuwur: ing suhu proses luwih saka 1000 ° C, USAf Carriers ora bakal lemes, cacat utawa bisa njaga jarak wafer kanggo njamin keseragaman proses.

2 .. Generasi dawa lan rendah: atose SIC lan nyandhang resistensi adoh luwih saka kwarsa, lan ora gampang ngasilake partikel cilik kanggo ngrusak wafers. Urip layanan biasane kaping pirang-pirang utawa malah puluhan wektu saka operator kuarsa, nyuda frekuensi frekuensi lan pangopènan.

3. Inertness kimia: bisa nolak erosien kimia ing suasana proses lan nyuda kontaminasi wafer sing disebabake dening udan saka bahan-bahan dhewe.

4. Konduktivitas termal: konduktivitas termal sing apik mbantu entuk pemanasan lan penyerapan operator lan wafer lan seragam lan keseragaman proses.

5. Kemurnian dhuwur: Carriers SIC sing dhuwur bisa diprodhuksi kanggo nyukupi syarat ketat saka kelenjar majeng kanggo kontrol sing ora sopan.

Nilai pangguna:

Ngapet stabilitas proses, nambah ngasilake produk, nyuda downtime sing disebabake dening komponen gagal utawa kontaminasi komponen, lan nyuda biaya kepemilikan ing jangka panjang.

2) Kepala Pancuran Shaped Campuran Siklus Siklus Sik:

Aplikasi:

Diinstal ing sisih ndhuwur ruangan reaksi kayata plasma Elatche, Depeksi uap kimia (CVD), deposisi mundhak atom (ALD), lsp), lan liya-liyane kanggo nyebarake gas ing ngisor iki.

Analisis kauntungan:

1 .. Toleransi Plasma: Ing energi dhuwur, lingkungan plasma sing kimia, sirah pancuran sik nuduhake resistensi plasma lan karat kimia, sing adoh banget kanggo kwarsa utawa alumina.

2 .. Kesataman lan stabil: Kepala Pancuran Sik Precision bisa njamin supaya aliran gas kasebut disebar ing saindenging permukaan wafer, sing kritis kanggo keseragaman perhiasan film, utawa tingkat etching. Nduweni stabilitas jangka panjang sing apik lan ora gampang dimuat utawa clog.

3 .. Manajemen termal: Konduktivitas termal sing apik mbantu njaga keseragaman suhu ing permukaan sumber ruangan ruangan, sing kritis kanggo deposisi sing sensitif utawa proses etching.

4 .. Kontaminasi rendah: Kemurnian dhuwur lan inertness kimia nyuda kontaminasi bahan-bahan showerhead menyang proses kasebut.

Nilai pangguna:

Ningkatake keseragaman lan mbaleni asil asil proses, ngluwihi layanan layanan showerhead, nyuda kahanan partikel, lan ndhukung proses proses sing luwih maju lan luwih maju.

3) Cincin sing fokus ing Etching SIC (Cincin Sik Solid Fokus Ring / Edge Cincin):

Aplikasi:

Digunakake utamane ing kamar peralatan plasma etching (kayata Plasma CCP capacitive utawa plasma ICP sing duwe gandhengane kanthi industri), biasane diselehake ing pinggiran operator wafer (Chuck), sekitar wafer kasebut. Fungsine yaiku kanggo ngalangi lan nuntun plasma supaya tumindak luwih merata ing permukaan wafer nalika nglindhungi komponen ruangan liyane.

Analisis kauntungan:

1. Rintangan kuwat kanggo erosi plasma: Iki minangka kauntungan sing paling misuwur saka cincin fokus ing sic. Ing plasmas etching sing agresif (kayata bahan kimia fluorine- utawa klorin), SIC nganggo luwih alon tinimbang kwarsa, alumina, utawa uga yttria (yttria oxide), lan duwe umur dawa banget.

2. Ngopeni dimensi kritis sing dhuwur: dhuwur lan kaku sing dhuwur ngidini sik supaya luwih becik njaga bentuk lan ukuran sing tepat kanggo nggawe seragam plasma sing tepat lan njamin keseragaman let.

3 .. Generasi partikel sing murah: Amarga nyemprotake, mula nyuda partikel sing digawe dening komponen tuwa, saéngga ningkatake ngasilake.

4. Kemurnian dhuwur: Ngindhari introduksi logam utawa impurities liyane.

Nilai pangguna:

Siklus panggantos komponen, nyuda biaya pangopènan lan peralatan downtime; Ningkatake stabilitas lan mbaleni proses etching; Ngurangi cacat lan nambah asil manufaktur chip dhuwur.

Ⅲ.Ringkesan

Karbida padhet wis dadi salah sawijining bahan utama ing pabrik semikonduktor amarga kombinasi sing unik, kekerasan dhuwur, stabilitas kimia sing dhuwur lan resistensi karat. Apa dadi operator kanggo nggawa wafers, kepala padusan kanggo ngontrol distribusi gas, utawa cincin sing apik kanggo pandang sing nantang lan ngasilake produk sing saya tambah akeh, lan kanthi promosi produk sing luwih apik, lan kanthi mangkono promosi Sustainable industri semikonduktor kabeh.

Minangka pabrikan utama lan supplier produk karbida padhet ing China,SemiconProduk kayata kayataCarrier / Kapal / Boat Solid, Kepala Shaped Shaped Shaped Siklus / Gas Pancuran Gas, Cincin Sik Solid Fokus Ring Ring / EdgeBareng didol ing Eropa lan Amerika Serikat, lan wis pujian lan dikenali pujian sing dhuwur lan dikenali saka pelanggan kasebut. Kita tulus ngarep-arep dadi mitra jangka panjang ing China. Sugeng rawuh ing konsultasi.

Mob / samsung: + 86-180 6922 0752

Email: Anny@veteksemi.com