Produk
Tac Coating Chuck
  • Tac Coating ChuckTac Coating Chuck

Tac Coating Chuck

Vetek Semikonduktor's TAC Cailing Chats duwe lapisan dhuwur sing bermutu sing apik, sing dikenal amarga resistensi suhu dhuwur lan kimia, utamane ing proses Silic Vitaxy (SIC). Kanthi fitur sing luar biasa lan kinerja sing unggul, Chuck lapisan TAC kita nawakake sawetara kaluwihan tombol tombol.We setya nyedhiyakake produk sing kompetitif lan ngarepake dadi mitra jangka panjang ing China.

Vetek Semikonduktor's Tac Chails Chuck minangka solusi sing cocog kanggo entuk asil sing luar biasa ing proses SIC EPi. Kanthi lapisan karbida tantalum, resistensi suhu dhuwur, lan inertness kimia, produk kita nguatake sampeyan kanggo ngasilake kristal sing bermutu kanggo ngasilake tliti kanthi tliti lan reliability kanggo takon karo kita.



Tac Tantalum Carbide minangka bahan sing umume digunakake kanggo nglereni permukaan internal peralatan epitoxial. Nduwe karakteristik ing ngisor iki:


Tantalum carbide coating on a microscopic cross-section

Rintangan suhu sing dhuwur banget: Pelapis karbida tantalum bisa tahan suhu nganti 2200 ° C, nggawe sing cocog kanggo aplikasi ing lingkungan suhu epitoxial.


Hardness sing dhuwur: Kekayaan karbida tantalum tekan 2000 hk, sing luwih angel tinimbang aloi stainless steel utawa aluminium sing biasa digunakake, sing bisa nyegah nyandhang permukaan.


Stabilitas kimia kuat: Pelapisan karbida tantalum nindakake kanthi apik kanthi lingkungan kimia korosif lan bisa nambah layanan saka komponen peralatan epitixial.


Konduktivitas listrik sing apik: Lumahing lapisan duwe konduktivitas listrik sing apik, sing kondusif menyang release electrostatic lan konduksi panas.


Properti kasebut nggawe lapisan karbida tac tantalum minangka bahan sing cocog kanggo manufaktur kritis kayata bushings internal, tembok ruangan reaksi, lan heating unsur kanggo peralatan epitoxial. Kanthi nampilake komponen kasebut kanthi TAC, kinerja sakabehe lan layanan layanan saka peralatan EPitoxial bisa ditingkatake.


Kanggo Silicon Carbide Epitexy, cuwilan lapisan TAC uga bisa duwe peran penting. Lapisan permukaan lancar lan kandhel, sing kondusif menyang pembentukan film karbida silikon kanthi kualitas tinggi. Ing wektu sing padha, konduktivitas termal TAC bisa mbantu ningkatake keseragaman distribusi suhu ing peralatan, saéngga ningkatake akurasi kontrol suhu proses, lan pungkasane entuk kualitas sing luwih dhuwurSilicon Carbide EpituarxWutah Lapisan.


Parameter produk saka cute catter tac tantalum karbida

Properties fisik saka lapisan TAC
Kapadhetan lapisan 14,3 (g / cm³)
IMISA KHUSUS 0.3
Koefision ekspansi termal 6.3 * 10-6/ K
Hardness (HK) 2000 hk
Rintangan 1 × 10-5Ohm * cm
Stabilitas termal <2500 ℃
Owah-owahan ukuran grafit -10 ~ -20um
Penebalan lapisan ≥20um Nilai khas (35um ± 10um)


Produk Vetek Semikonduktor Toko:

SiC Coating Wafer CarrierSemiconductor process equipmentCVD SiC Focus RingOxidation and Diffusion Furnace Equipment


Hot Tags: Tac Coating Chuck
Kirim Pitakonan
Info kontak
Kanggo pitakon babagan Silicon Carbide Coating, Tantalum Carbide Coating, Graphite Khusus utawa dhaptar rega, mangga tinggalake email sampeyan lan kita bakal hubungi sajrone 24 jam.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept