CVD TaC lapisan susceptor epitaxial SiC planet

Reaktor planet Aixtron minangka salah sawijining reaktor paling majuperalatan MOCVD. Iku wis dadi cithakan learning kanggo akeh manufaktur reaktor. Adhedhasar prinsip reaktor aliran laminar horisontal, njamin transisi sing jelas ing antarane bahan sing beda-beda lan nduweni kontrol sing ora padha karo tingkat deposisi ing area lapisan atom siji, nyetop ing wafer puteran ing kahanan tartamtu. 

Sing paling kritis yaiku mekanisme rotasi pirang-pirang: reaktor nggunakake pirang-pirang rotasi susceptor epitaxial SiC lapisan CVD TaC. Rotasi iki ngidini wafer bisa merata ing gas reaksi sajrone reaksi, saéngga mesthekake yen materi sing disimpen ing wafer nduweni keseragaman sing apik ing ketebalan lapisan, komposisi lan doping.

Keramik TaC minangka bahan kinerja dhuwur kanthi titik leleh sing dhuwur (3880 ° C), konduktivitas termal sing apik, konduktivitas listrik, kekerasan dhuwur lan sifat sing apik banget, sing paling penting yaiku resistensi karat lan tahan oksidasi. Kanggo kahanan pertumbuhan epitaxial saka bahan semikonduktor nitrida SiC lan klompok III, TaC nduweni inertiousness kimia sing apik banget. Mulane, susceptor epitaxial SiC lapisan CVD TaC sing disiapake kanthi metode CVD nduweni kaluwihan sing jelas ingwutah epitaxial SiCproses.

Gambar SEM saka salib-bagean saka TaC-dilapisi grafit

●  Tahan suhu dhuwur: Suhu wutah epitaxial SiC dhuwuré 1500 ℃ - 1700 ℃ utawa malah luwih dhuwur. Titik lebur saka TaC dhuwuré kira-kira 4000 ℃. Sawise inglapisan TaCwis Applied kanggo lumahing grafit, ingbagean grafitbisa njaga stabilitas apik ing suhu dhuwur, tahan kahanan suhu dhuwur saka wutah epitaxial SiC, lan njamin kemajuan Gamelan saka proses wutah epitaxial.

●  Enhanced karat resistance: Lapisan TaC nduweni stabilitas kimia sing apik, kanthi efektif ngisolasi gas-gas kimia kasebut saka kontak karo grafit, nyegah grafit saka corroded, lan ngluwihi umur layanan bagean grafit.

●  Konduktivitas termal sing luwih apik: Lapisan TaC bisa nambah konduktivitas termal grafit, supaya panas bisa disebarake luwih merata ing permukaan bagian grafit, nyedhiyakake lingkungan suhu sing stabil kanggo pertumbuhan epitaxial SiC. Iki mbantu nambah keseragaman wutah saka lapisan epitaxial SiC.

●  Kurangi kontaminasi najis: Lapisan TaC ora bereaksi karo SiC lan bisa dadi penghalang efektif kanggo nyegah unsur impurity ing bagean grafit saka nyebar menyang lapisan epitaxial SiC, saéngga ningkatake kemurnian lan kinerja wafer epitaxial SiC.

VeTek Semiconductor saged lan apik kanggo nggawe CVD TaC lapisan susceptor epitaxial planet SiC lan bisa nyedhiyani pelanggan karo produk Highly selaras. kita Looking nerusake kanggo priksaan.

Sifat fisik sakaTantalum Carbide Coating 

Toko produksi VeTek Semiconductor