Teknologi anyar kristal sic

VEtek Sikmonduktor teknologi anyar SIC ETEK nggunakake blok CVD-SIC sing dibuwang kanggo daur-ulang materi minangka sumber kanggo kristal sik sing tuwuh. Bluk CVD-SIC digunakake kanggo wutah kristal tunggal disiapake blok sing rusak, sing duwe bedane kanthi wujud lan ukuran dibandhingake karo bubuk sic sing umum digunakake ing proses pvt, saéngga prilaku wutah kristal sic samesthine bakal diarep-arep sKepiye tumindak beda.

Sadurunge eksperimen pertumbuhan kristal sic wis ditindakake, simulasi komputer ditindakake kanggo entuk tarif sing tuwuh, lan zona panas wis dikonfigurasi kanthi pertumbuhan kristal. Sawise pertumbuhan kristal, kristal thukul ditaksir kanthi tomografi salib, spektroskopy mikro-ray, lan topografi sinar x-rayon putih.

✔ Siapke sumber Blok CVD-SIC: Pisanan, kita kudu nyiapake sumber blok blok CVD-SIC sing bermutu tinggi, sing biasane saka kemurnian sing dhuwur lan kapadhetan sing dhuwur. Iki bisa disiapake dening metode hep deposisi kimia (CVD) ing kahanan reaksi sing cocog.

✔ Persiapan substrat: Pilih substrat sing cocog amarga landasan kanggo wutah kristal sic. Bahan substrat sing umume digunakake kalebu karbida silikon, silikon nitrida, lsp, sing cocog karo kristal tunggal sic sing tuwuh.

✔ Pemanasan lan sublimasi: Selehake sumber blok cvD-SIC lan landasan ing tungku suhu dhuwur lan menehi kahanan sublimasi sing cocog. Sublimasi tegese kanthi suhu sing dhuwur, sumber blok langsung owah kanggo negara beluk, banjur kondisi maneh ing permukaan landasan kanggo mbentuk kristal siji.

✔ Kontrol suhu: Sajrone proses sublimasi, distribusi gradient lan suhu sing kudu dikendhaleni kanthi tepat kanggo ningkatake sublimasi sumber blok lan tuwuh kristal tunggal. Kontrol suhu sing cocog bisa entuk kualitas kristal lan tingkat pertumbuhan sing cocog.

✔ Kontrol Atmosfera: Sajrone proses sublimasi, swasana reaksi uga kudu dikendhaleni. Gas inert dhuwur (kayata argon) biasane digunakake minangka gas operator kanggo njaga tekanan lan kemurnian sing cocog lan nyegah kontaminasi kanthi reged.

✔ Wutah Kristal tunggal: Sumber blok CVD-SIC ngalami transisi fase uap sajrone proses sublimasi lan ngetrapake lumahing landasan kanggo mbentuk struktur kristal siji. Pertumbuhan kristal kanthi cepet bisa digayuh liwat kahanan sublimasi sing cocog lan kontrol sing bisa ditandur.