Aluminium Nitride (AlN) Keramik Elektrostatik Chuck

1.Kaluwihan

• Keramik AlN kemurnian dhuwur kanthi konduktivitas termal nganti ~180 W/m·K kanggo transfer panas sing efisien lan keseragaman suhu

• Isolasi listrik sing kuat lan resistivity volume dhuwur ndhukung clamping stabil ing 1-3 kV (voltase luwih dhuwur kasedhiya)

• Bahan lapisan dielektrik khusus lan tata letak elektroda: Coulomb utawa Johnsen-Rahbek (JR); siji utawa multi-zona

• Cepet clamp lan de-clamp kinerja, biasane ing 0,1 detik

• Struktur mikro dimple lumahing nganti diameter ~300 μm, nyuda area kontak nganti ~1%

• Kapabilitas flatness dhuwur; flatness global khas ing urutan 0,5-3 μm PV kanggo platform kelas 300 mm

• Struktur mikro sing padhet kanthi panyerepan banyu cedhak-nol lan resistensi kimia sing apik kanggo lingkungan proses

2.Aplikasi Khas

Aluminium Nitride Keramik Elektrostatik Chucks digunakake ing langkah proses sing mbutuhake loro nyekeli wafer aman lan prilaku termal kontrol:

• Etch plasma garing (ICP / RIE) lan pangolahan kamar sing gegandhengan

• CVD, PEALD, ALD termal, lan tahap deposisi film tipis liyane

• Modul proses Annealing lan termal mbutuhake suhu wafer seragam

• Tahap inspeksi, metrologi, lan presisi ing ngendi partikel cilik lan clamping stabil kritis

3.Kelas Material AlN - Properties Khas

VeTek nawakake macem-macem gelar Aluminium Nitride kanggo ngimbangi konduktivitas termal, kekuatan mekanik, lan biaya kanggo desain ESC:

Unit: Konduktivitas termal ing W/(m·K); kekuatan dielektrik ing kV / mm; resistivitas volume ing Ω·cm (25 °C); konstanta dielektrik ing 1 MHz. Nilai sing khas lan bisa beda-beda karo proses lan geometri bagean.

4.Paramèter Desain ESC sing khas

5.Kenapa Chooapa VeTek AlN Electrostatic Chucks?

VeTek Semiconductor nggabungake keramik AlN canggih kanthi manufaktur ESC presisi kanggo pelanggan semikonduktor sing mbutuhake kinerja termal lan clamping sing dipercaya:

• Multiple gelar AlN kanthi konduktivitas termal saka ~90 nganti ~180 W/m·K kanggo cocog karo anggaran termal proses

• Elektroda fleksibel lan desain dielektrik kanggo Coulomb utawa JR clamping prilaku

• Kontrol kenceng, struktur mikro permukaan, lan kinerja insulasi listrik

• Dhukungan siklus urip lengkap: desain, bangunan anyar, lan renovasi multi-level

Kanggo alat etch, deposisi, lan termal sing gumantung ing suhu wafer seragam lan clamping sing resik, bisa diulang, VeTek Aluminium Nitride Ceramic Electrostatic Chucks nyedhiyakake platform keramik kinerja dhuwur sing didhukung dening dhukungan teknik fokus aplikasi.