Warta industri

Artikel iki ngenalake pangembangan paling anyar ing reaktor cvd Tembok Tembok Tembok sing mentas dirancang lan kemampuane nindakake epitimxy sing seragam 4h-SIC ing taun 200mm.

Kanthi permintaan sing akeh kanggo bahan SiC ing elektronika daya, optoelektronik lan lapangan liyane, pangembangan teknologi pertumbuhan kristal tunggal SiC bakal dadi area utama inovasi ilmiah lan teknologi. Minangka inti saka peralatan wutah kristal tunggal SiC, desain lapangan termal bakal terus nampa manungsa waé ekstensif lan riset ing-ambane.

Liwat kemajuan teknologi terus lan riset mekanisme ing jero, teknologi Heteroepitains 3C-SIC wis samesthine kanggo nggawe peran sing luwih penting ing industri semikonduktor lan promosi pangembangan piranti elektronik sing efisien.

Spatial Ald, Deposisi 40 Sambungake kanthi Spatial. Wafer kasebut ana macem-macem posisi lan kapapar prekursor beda ing saben posisi. Tokoh ing ngisor iki yaiku perbandingan antarane Ald tradisional Ald lan spatial terpencil.