Analisis jero babagan penyebab kuning pinggir lan peeling lapisan silikon karbida ing susceptor grafit epitaksi MOCVD. VeTek ngilangi stres mikro kanthi tepat ngontrol tingkat deposisi CVD lan lapangan aliran, nambah asil lapisan saka 50% dadi 90% lan ndawakake umur layanan bagean grafit kemurnian dhuwur.
Ngatasi variasi kekandelan saku-kanggo-kantong 1.4% ing susceptor grafit epitaksi silikon multi-kantong, VeTek Semi ningkatake kerataan susceptor dadi <0.08mm lan ngurangi variasi dadi 0.69% liwat simulasi lapangan aliran CVD lan lapisan SiC ultra-presisi, ningkatake asil wafer.
Sinau carane Vetek ngilangi retak radial ing susceptor grafit sing dilapisi MOCVD SiC ukuran gedhe. Structural stress buffer desain ulang & CTE cocog urip layanan tambah dening 300%+.
Kita nggunakake cookie kanggo menehi pengalaman browsing sing luwih apik, nganalisa lalu lintas situs lan nggawe konten pribadi. Kanthi nggunakake situs iki, sampeyan setuju kanggo nggunakake cookie.Kebijakan Privasi