Keropos SiC Vacuum Chuck

Vetek semikonduktor keropous chuck vacuum utamane dumadi saka silikon karbida (sic), bahan keramik kanthi kinerja sing apik. Keropos Vakum Chuck bisa main peran dhukungan lan fiksasi ing proses pangolahan semikonduktor. Produk iki bisa mesthekake pas ing antarane wafer lan chuck kanthi menehi nyedhot seragam, kanthi efektif ngindhari wafer lan deformasi wafer, saéngga njamin flatness aliran nalika diproses. Kajaba iku, resistensi suhu karbida silikon bisa njamin stabilitas chuck lan nyegah wafer saka mudhun amarga ekspansi termal. Sugeng rawuh ing konsultasi.

Ing bidang elektronik, keropos vakum vakum Chuck bisa digunakake minangka bahan semikonduktor kanggo nglereni laser, manufaktur, modul listrik, modul fotovaltik lan komponen elektronik tenaga lan komponen elektrafik. Konduktivitas termal lan resistensi suhu sing dhuwur nggawe bahan sing cocog kanggo piranti elektronik. Ing bidang optoelectronics, keropos vakum vakum Chuck bisa digunakake kanggo ngasilake piranti opoelectronis kayata laser, bahan solar dipimpin. Properti optik sing apik banget lan tahan karat mbantu ningkatake kinerja lan stabilitas piranti kasebut.

Vetek semikonduktor bisa nyedhiyani:

1. Kabersihan: Sawise Processing operator SiC, engraving, reresik lan pangiriman final, iku kudu tempered ing 1200 derajat kanggo 1,5 jam kanggo ngobong metu kabeh impurities lan banjur dikempalken ing tas vakum.

2. Flatness produk: Sadurunge manggonke wafer, iku kudu ndhuwur -60kpa nalika diselehake ing peralatan kanggo nyegah operator saka mabur mati sak transmisi cepet. Sawise diselehake wafer, kudu ndhuwur -70kpa. Yen suhu ora mbukak luwih murah tinimbang -50kpa, mesin bakal tetep waspada lan ora bisa digunakake. Mulane, flatness saka mburi iku penting banget.

3. Desain jalur gas: disesuaikan miturut syarat pelanggan.

3 tahap tes pelanggan:

1. Tes oksidasi: ora ana oksigen (pelanggan kanthi cepet dadi panas nganti 900 derajat, saengga produk kudu anil ing 1100 derajat).

2. Test ampas logam: Cepet panas nganti 1200 derajat, ora ana impurities logam sing dirilis kanggo contaminate wafer.

3 .. Tes vakum: Bentenane antara tekanan lan tanpa wafer yaiku ing + 2ka (Pasukan Sedana).

Vetek semikonduktor sik vakum chuck ciri khas meja:

Vetek semikonduktor kerous ing toko vakum chuck:

Ringkesan rantai industri epitaksi chip semikonduktor: