Enjing Wafer Epi Wefer

Semikonduktor Vetek ndhukung layanan produk sing disesuaikan, dadi sing duwe EPI wafer bisa nyedhiyakake layanan produk khusus adhedhasar ukuranwafer(100m, 150mm, 200mm, 300mm, lan sapiturute). Muga-muga ngarep-arep dadi mitra jangka panjang ing China.

Prinsip fungsi lan pegawean sing duwe pemegang epi wafer

Ing alam manu pabrik semikonduktor, proses epitexy minangka penting kanggo piranti sing dhuwur - piranti semikonduktor dhuwur. Ing proses iki yaiku sing duwe Eli Wer, sing duwe peran utama kanggo njamin kualitas lan efisiensi sakaWutah epitoxial.

Sing duwe epi wafer utamane dirancang supaya bisa nahan wafer sajrone proses epitexy. Tugas utama yaiku njaga wafer kanthi suhu lan gas sing tepat - lingkungan aliran. Kontrol meticulous iki ngidini materi epitoxial bisa disimpen kanthi rata ing permukaan wafer, langkah kritis ing lapisan uniform lan lapisan semikonduktor dhuwur.

Ing kahanan suhu sing dhuwur - proses epitexy, pemegang Waagal Epi Wefer Excels ing fungsine. Kanthi tegas ndandani wafer ing ruangan reaksi nalika ora ngindhari karusakan potensial, kayata goresan, lan nyegah kontaminasi partikel.

Properties Bahan:NapaSilikon karbida (sic)Sumunar

Sing duwe EPI wafer asring digawe saka Carbide Silicon (SIC), bahan sing nawakake kombinasi unik kanggo sifat sing migunani. SIC duwe koefisien ekspansi termal sing kurang kira-kira 4.0 x 10⁻⁶ / ° C. Karakteristik iki penting kanggo njaga stabilitas dimensi ing suhu sing dhuwur. Kanthi nyuda ekspansi termal, kanthi efektif nyegah stres ing wafer sing bisa nyebabake suhu saka suhu - owah-owahan ukuran sing gegandhengan.

Kajaba iku, SIC nyembah stabilitas suhu sing dhuwur - suhu. Iki bisa kanthi rapi tahan suhu sing dhuwur saka 1,200 ° C nganti 1,600 ° C dibutuhake ing proses epitisme. Gandheng karo resistensi karat sing luar biasa lan konduktivitas termal sing nggumunake (biasane antarane 120 - 160 w / mk), sic muncul minangka pilihan sing paling optimal kanggo sing duwe wafer epitarial.

Fungsi kunci ing proses epitoxial

Sing nduwe Impi wafer penting ing proses epitoxial ora bisa diatasi. Iku bisa uga dadi operator stabil ing suhu dhuwur - suhu lan lingkungan gas corrosive, mesthekake yen wafer tetep ora kena pengaruh sajrone lapisan epitoxial.

1. Fiksasi Lancel lan Alignment PreciseSing dhuwur - Holder Epi WAFer Engseder Epi Wefer sing tliti kanthi tegas ing pusat geometris ing ruangan reaksi. Penempatan iki njamin manawa permukaan wafer mbentuk sudut kontak sing cocog karo aliran gas reaksi. Alignment tepat ora mung penting kanggo nggayuh pemugaran lapisan epitormal empitorm nanging uga bisa nyuda konsentrasi stres sing diasilake asil konsentrasi stres saka panyimpangan posisi wafer.

Kontrol pemanasan 2.Uniform lan termalNggunakake konduktivitas termal saka SIC, sing duwe EFI WAFER ngidini transfer panas panas menyang wafer ing dhuwur - lingkungan epitoxial suhu. Bebarengan, bisa ngetrapake kontrol sing apik sajrone distribusi suhu sistem pemanasan. Mekanisme dual iki njamin suhu konsisten ing kabeh permukaan wafer, kanthi efektif ngilangi stres termal sing disebabake dening kecerunan suhu sing gedhe banget. Akibaté, kemungkinan cacat kaya warping lan retak wafer banget cukup minimalake.

3.Patle Kontrol Kontaminasi lan Kemurnian BahanPanganggone substrat sing dhuwur - murni lan CVD - bahan grafit sing ditutupi yaiku game - Changer ing kontrol kontaminasi partikel. Bahan-bahan kasebut substansial gumantung karo generasi lan penyebaran partikel sajrone proses epitisme, nyedhiyakake lingkungan sing utama kanggo tuwuh saka lapisan epitoxial. Kanthi nyuda cacat antarmuka, dheweke nambah kualitas lan keandalan lapisan epitoxial.

Waca resistansi 4.crorossionSajroneMocvdUtawa proses lpcvd, sing duwe Eli Wefer sing kudu tahan gas sing bisa diobong kayata amonia lan Trimethyl Gallium. Rintangan korosi korporsi sing pinunjul saka bahan sic sing ngidini wadhah duwe urip layanan lengkap, mula njamin linuwih saka proses produksi kabeh.

Layanan Selaras dening Vetek Semiconduktor

Vetek semikonduktor setya kanggo ngrampungake kabutuhan pelanggan sing beda-beda. Kita nawakake layanan Holder Epi WAFer sing disesuaikan karo macem-macem ukuran wafer, kalebu 100mm, 150mm, 200mm, 300mm, lan liya. Tim ahli kita darmabakti kanggo ngirim produk sing dhuwur - kualitas kualitas sing cocog karo syarat sampeyan. Kita tulus ngarep-arep dadi mitra sing dawa - istilah ing China, nyedhiyakake solusi semikonduktor ndhuwur - kedudukan.

Data SEM saka struktur kristal film CVD SIC:

Properties fisik dhasar lapisan SIC CVD：

Perbandingan semikonduktor Epi waefer Pemegang produksi: