Vetek Semiconduktor minangka produsen lan pemasok susceptor termal kanthi cepet ing China, sing fokus kanggo nyedhiyakake solusi kinerja kanggo industri semikonduktor. Kita duwe pirang-pirang taun akumulasi teknis ing lapangan bahan lapisan SIC. Susturing anmal sing cepet banget duwe resistensi suhu sing apik banget lan konduktivitas termal kanggo nyukupi kebutuhan wafer epitoxial. Sampeyan welcome kanggo ngunjungi pabrik kita ing China kanggo mangerteni sing luwih lengkap babagan teknologi lan produk kita.
VeTek Semiconductor Rapid Thermal Annealing Susceptor kanthi kualitas dhuwur lan umur dawa, welcome kanggo takon kita.
Rapid Thermal Anneal (RTA) minangka subset penting saka Rapid Thermal Processing sing digunakake ing fabrikasi piranti semikonduktor. Iki kalebu pemanasan wafer individu kanggo ngowahi sifat listrike liwat macem-macem perawatan panas sing ditargetake. Proses RTA mbisakake aktivasi dopan, owah-owahan antarmuka substrat film-kanggo-film utawa film-kanggo-wafer, densifikasi film sing disimpen, modifikasi negara film sing tuwuh, ndandani karusakan implantasi ion, gerakan dopan, lan nyopir dopan ing antarane film. utawa menyang substrat wafer.
Produk Vetek Semiconduktor, Susceptor Annealing Thermal, nduweni peran penting ing proses RTP. Iki dibangun kanthi nggunakake bahan grafit kanthi kemurnian kanthi lapisan pelindung saka silikon karbida (SIC). Substrat silikon silik ditutupi kanthi suhu nganti 1100 ° C, njamin kinerja sing bisa dipercaya sanajan ing kahanan sing ekstrem. Pelapisan SIC nyedhiyakake perlindungan sing apik kanggo bocor gas lan partikel Shedding, njamin umur dawa saka produk kasebut.
Kanggo njaga kontrol suhu sing tepat, chip kasebut dibungkus ing antarane rong komponen grafit kemurnian dhuwur sing dilapisi SiC. Pangukuran suhu sing akurat bisa dipikolehi liwat sensor suhu dhuwur sing terintegrasi utawa termokopel sing kontak karo substrat.
Properties fisik dhasar lapisan SIC CVD:
Properties fisik dhasar lapisan SIC CVD
Properti
Nilai khas
Struktur kristal
FCC β fase polikristalin, utamané (111) oriented
Kapadhetan
3,21 g/cm³
Kekerasan
2500 Vickers (52G Muu)
Ukuran gandum
2~10μm
Kemurnian Kimia
99.99995%
Kapasitas panas
640 J·kg-1· K-1
Suhu sublimasi
2700 ℃
Kekuwatan fleksibal
415 MPA RT 4-poin
Modulus Young
430 Gpa 4pt tikungan, 1300 ℃
Konduktivitas termal
300w · m-1· K-1
Thermal Expansion (CTE)
4.5×10-6K-1
Mbandhingake Toko Produksi Semikonduktor:
Ringkesan rantai industri epitaksi chip semikonduktor:
For inquiries about Silicon Carbide Coating, Tantalum Carbide Coating, Special Graphite or price list, please leave your email to us and we will be in touch within 24 hours.
Kita nggunakake cookie kanggo menehi pengalaman browsing sing luwih apik, nganalisa lalu lintas situs lan nggawe konten pribadi. Kanthi nggunakake situs iki, sampeyan setuju kanggo nggunakake cookie.Kebijakan Privasi