Sirah pada mobil silikon

Kepala ruangan semikonduktor karbida biasane digawe saka SIC. Ing pangolahan semikonduktor, fungsi utama sirah silikon karbida yaiku merata kanggo nyebarake gas reaksi kanggo njamin formasi film seragam sajroneDepepensi uap kimia (CVD)utawaDepepor uap fisik (PVD)Proses. Amarga sifat-sifat sing apik banget kayata konduktivitas termal lan stabilitas kimia, sirah panci SIC bisa mlaku kanthi efisien kanthi suhu sing dhuwur, nyuda unevenness saka aliran gas sajroneProses pemendhotan, lan kanthi mangkono nambah kualitas lapisan film.

Sirangan siram karbida bisa nyemprotake bensin reaksi liwat aperture sing padha, njamin konsentrasi gas sing seragam, supaya konsentrasi lokal sing dhuwur banget utawa kurang, lan kanthi mangkono nambah kualitas film kasebut. Digabungake karo resistensi suhu dhuwur lan stabilitas kimia sakaCVD SIC, ora ana partikel utawa rereged dibebasake sajroneProses pemendhotan film, sing kritis kanggo njaga kemurnian deposisi film kasebut.

Matrix kinerja inti

Indikasi Key Posisi standar Teknik

Bahan dhasar 6n kelas uap kimia deposition Silicon Carbide Semi F47-0703

Konduktivitas termal (25 ℃) 330 w / (m · k) ± 5% ASTM e1461

Range operasi suhu -196 ℃ ~ 1650 ℃ metode stabilitas stabilitas mil-std-883

Akurasi Machining Aperture ± 0.005mm (teknologi macining mikrouhole) iso 286-2

Lumahing atosness ra ≤0.05μm (perawatan kelas pangilon) jis b 0601: 2013

Keuntungan inovasi triple

Ngontrol Airflow Nanoscale

Desain matriks 1080: nganggo struktur sarang asimetris kanggo entuk keseragaman distribusi gas 95,7% (data sing diukur)

Teknologi Apperk Krencan: Cincin Outer 0.35mm → tata letak kemajuan pusat 0.2mm, ngilangi efek pojok

Proteksi simpenan nol kontaminasi

Perawatan Lumahing ULTRA-Bersih:

Ion Beam Etching Mbusak Lapisan Rusak Subsurface

Deposisi 40 atom (Ald) Film Protective (opsional)

Stabilitas mekanik termal

Koefision deformasi termal: ≤0.8μm / m · ℃ (73% luwih murah tinimbang bahan tradisional)

Liwati 3000 tes kaget termal (Rt↔1450 ℃ Siklus)

Data semStruktur Film Film CVD SIC：

Properti fisik dhasar saka CVD SIC lapisan：

Vetek semikonduktor silikon karbide padhet: