Single Wafer Epi Graphite Untertaker

Katrangan:

Penyusangan Grafis Tunggal Epi kalebu set grafite Graphite tray, cincin grafit lan aksesoris liyane, nggunakake stabilitas suhu komposit, kanthi nggunakake kimia lan keseragaman lapangan termal. Iki minangka komponèn inti saka lembar epitisixial tliti ing produksi massa.

Inovasi materi: lapisan + grafit

Grafit

● Konduktivitas termal sing paling dhuwur (> 130 w / m · k), kanthi cepet nanggepi syarat kontrol suhu, kanggo njamin stabilitas proses.

● Koefisien ekspansi termal (CTE: 4.6 × 10⁻⁶ / ° C), Ngurangi deformasi suhu dhuwur, urip layanan.

Pelapisan SIC CVD

● Rintangan KorosiWaca rangkeng-. Nolak serangan kanthi gas reaksi kayata H₂, HCL, lan Sih₄. Ngindhari kontaminasi lapisan epitoxial kanthi vololumezation saka bahan dhasar.

● Densitas permukaan: Porositas lapisan kurang saka 0,1%, sing nyegah kontak antarane grafit lan wafer lan nyegah panyebaran impuritas karbon.

● Toleransi suhu sing dhuwur: Kerja stabil jangka panjang ing lingkungan ing ndhuwur 1600 ° C, adaptasi karo panyebaran suhu epitexy SIC.

Desain termal lan desain optimasi udara

Struktur radiasi termal seragam

Lumahing Susceptor dirancang karo pirang-pirang alur refleksi termal, lan sistem kontrol lapangan termal ing piranti ngasilake keseragaman suhu, ngasilake konsistensi lan keseragaman lan keseragaman saka tebal saka empitact (fluktuasi <3%).

Teknik setir udara

Bolongan Diversion Edge lan Columns Dhukungan sing Cithakan dirancang kanggo ngoptimalake distribusi reaksi laminar gas reaksi reaksi ing permukaan wafer, nyuda bedane tingkat deposisi sing disebabake dening arus edan, lan nambah keseragaman eddy, lan nambah keseragaman eddy, lan nambah keseragaman eddy, lan nambah keseragaman eddy, lan nambah keseragaman eddy, lan nambah keseragaman eddy, lan nambah keseragaman eddy, lan nambah keseragaman eddy, lan nambah keseragaman eddy, lan nambah keseragaman eddy, lan nambah keseragaman eddy, lan nambah keseragaman edan, lan nambah keseragaman eddy, lan nambah keseragaman eddy, lan nambah keseragaman eddy, lan nambah keseragaman edan, lan nambah keseragaman eddy, lan nambah keseragaman edan, lan nambah keseragaman edan.