Tabung Tungku Kuarsa kanggo Tungku Difusi

1. Fitur Key & Kaluwihan

• Ultra-high purity dehydroxylated fused quartz (SiO₂ ≥ 99.999%) kanthi impurities logam sing dikontrol ing tingkat ppb lan kandungan hidroksil sing sithik banget

• Suhu operasi jangka panjang nganti 1100 °C; resistance puncak jangka cendhak kanggo 1200 ° C

• Resistance kejut termal banget sawise annealing-relief kaku lengkap-tahan kanggo retak ing owah-owahan suhu kanthi cepet

• Inertness kimia pinunjul marang oxidizing, reducing, lan gas proses halogen-ngemot; cocok kanggo plasma lan atmosfer korosif

• Outgassing vakum banget kurang; tembok njero Gamelan minimalake buildup produk sampingan lan ndhukung proses repeatability

• One-piece mbentuk karo kekandelan tembok seragam, coaxiality dhuwur, lan tliti-rampung ends kanggo sealing dipercaya

• Struktur sing bisa disesuaikan: tabung lurus, tabung peredam, tabung flanged, dawa sing luwih dawa, lan konfigurasi pungkasan khusus kanggo tungku vertikal utawa horisontal

2. Aplikasi Khas

Tabung tungku kuarsa VeTek digunakake minangka ruang reaksi inti ing:

• Tungku oksidasi termal (oksidasi garing/udan)

• Tungku difusi kanggo introduksi dopan (B, P, As, lsp.)

• sistem LPCVD kanggo deposisi film tipis

• Vakum annealing lan pangolahan panas-suhu dhuwur liyane

• Kompatibel karo platform wafer 4 inci, 6 inci, 8 inci, lan 12 inci (Si, SiC, GaN, substrat safir)

Dheweke ndhukung logika, memori, piranti daya, MCU, LED, MEMS, lan jalur manufaktur semikonduktor wide-bandgap sing mbutuhake keseragaman suhu sing stabil, kontrol aliran gas, lan lingkungan proses ultra-resik.

3. Parameter Teknis Utama

• Bahan: Semikonduktor kelas dehidroksilasi kuarsa lebur (SiO₂ ≥ 99,999%), hidroksil rendah, impurities logam rendah

• kompatibilitas wafer: 4 / 6 / 8 / 12 inch

• Suhu kerja jangka panjang: -20 °C nganti 1100 °C; puncak jangka pendek nganti 1200 °C

• Proses: Pembentukan termal siji-potong, homogenisasi tembok, finishing pungkasan, anil relief stres, tes bocor helium, reresik ultra-resik

• Struktur sing kasedhiya: Tabung lurus, tabung peredam, tabung flanged, tabung dawa / khusus, konfigurasi ujung khusus

• Kustomisasi: Dhiameter njero / njaba, dawa, kekandelan tembok, spek flange, lan geometri khusus saben gambar pelanggan

4. Napa Pilih VeTek Quartz Furnace Tubes?

Minangka produsen profesional komponen kuarsa semikonduktor, VeTek Semiconductor nawakake:

• Tabung tungku kuarsa kemurnian dhuwur sing dirancang kanggo peralatan oksidasi, difusi, LPCVD, lan anil

• Kontrol kemurnian sing ketat, akurasi dimensi, lan kebersihan sing cocog kanggo produksi kamar resik Kelas 10 / Kelas 100

• Kustomisasi lengkap lan desain sing kompatibel karo OEM kanggo tungku tabung vertikal lan horisontal

• Produk kuarsa semikonduktor pelengkap kalebu kapal wafer, crucible, liner, lan komponen proses liyane

Tabung tungku kuarsa kita mbantu njaga kahanan termal lan aliran gas sing stabil, nyilikake kontaminasi partikel lan logam, lan ngluwihi umur layanan ing siklus suhu dhuwur sing terus-terusan - ndhukung asil sing luwih dhuwur lan biaya kepemilikan sing luwih murah ing pangolahan termal semikonduktor.