SIC ditutupi jero UV Susceptor

SIC ditutupi jero UV Susceptor yaiku komponen prewangan inti ingMOCVD (metal organik kimia organik)Waca rangkeng-. Susceptor langsung mengaruhi keseragaman, kontrol kekandelan lan kualitas materi saka jero epitumxial sing wutah, desain lan kinerja susceptor kasebut wigati.

SIC ditutupi jero UCPTOR LED Susceptor dioptimalake kanggo Epitexy UV sing jero, lan dirancang adhedhasar karakteristik lingkungan termal, mekanik lan kimia lan kimia kanggo ketemu syarat proses stringent.

Vetek Somiconductor nggunakake teknologi pangolahan canggih kanggo njamin distribusi panas panas sing seragam saka macem-macem suhu operasi, ngindhari pertumbuhan epitarxial sing disebabake dening gradient suhu. Kontrol Proses Precisioness Perseceress Manuda, nyuda kontaminasi partikel, lan ningkatake efisiensi konduktivitas termal saka kontak wafer.

Vetek Semiconductor nggunakake grafit SGL minangka bahan, lan permukaan diobatiPelapisan SIC CVD, sing bisa tahan NH3, HCL lan suasana suhu sing dhuwur kanggo wektu sing suwe. Siket vetek semikonduktor SIC sing dipimpin Susceptor cocog karo koefisi saka wafers termal Aln / gan epitexial, nyuda perang wafer utawa retacing sing disebabake dening stres termal sajrone proses.

Sing paling penting, detak semikonduktor sic sing ditutupi Sikmonduktor SIC Susceptor kanthi sampurna cocog karo peralatan mocvd mainstream (kalebu Veeco K465i, epik 700, AIxtron C465i, lan sapiturute). Ndhukung layanan sing disesuaikan kanggo ukuran wafer (2 ~ 8 inci), desain slot wafer, suhu proses lan syarat liyane.

Skenario aplikasi:

● Persiapan LED jero UV: Ditrapake kanggo proses epitoxial piranti ing band ing ngisor iki 260 nm (disinfeksi UV-C, sterilisasi lan lapangan liyane).

● Epitoxy Nitride Semiconctor: Digunakake kanggo persiapan epitoxial kanggo bahan semikonduktor kayata Gallium Nitride (Gan) lan Aluminium Nitride (Aln).

● Eksperimasi EPITAXIAL level-level tingkat: Epitexy Epitexy jero lan eksperimen pangembangan materi anyar ing universitas lan institusi riset.

Kanthi dhukungan saka tim teknis sing kuwat, para pendhudhuk vetek bisa ngembangake susperta kanthi spesifikasi lan fungsi sing unik miturut kabutuhan pelanggan, ndhukung Proses Produksi Khusus, lan wenehi layanan produksi khusus.

Data SEM Film Coating SIC CVD:

Properties fisik dhasar lapisan SIC CVD:

Iku semikonduktorSIC ditutupi jero produk produk Susceptor: