CVD SiC Coated Graphite Susceptor kanggo Wafer Carrier

1. Kaluwihan produk

• Bahan kemurnian dhuwur:Bahan grafit kelas semikonduktor lan struktur lapisan SiC sing padhet nyuda resiko kontaminasi lan nambah linuwih susceptor grafit sing dilapisi CVD SiC.
• Keseragaman termal sing apik banget:Struktur grafit sing dioptimalake lan lapisan SiC nyedhiyakake transfer panas sing stabil lan kontrol suhu wafer sing seragam.
• Ketahanan kimia sing unggul:Lapisan SiC sing padhet menehi resistensi sing kuat marang gas proses lan lingkungan korosif.
• Long Service Life:Atose dhuwur lan tahan nyandhang nambah daya tahan ing kahanan epitaksi suhu dhuwur.
• Generasi Partikel Rendah:Lumahing CVD SiC sing padhet nyuda pelepasan partikel lan nambah linuwih proses wafer.
• Kapabilitas Desain Kustomisasi:Kasedhiya ing macem-macem ukuran, struktur, lan konfigurasi miturut syarat peralatan.

2. Spesifikasi Teknis

3. Aplikasi

• Proses Epitaksi SiC:Susceptor grafit digunakake minangka operator wafer ing peralatan epitaksi SiC, ndhukung substrat SiC sajrone pertumbuhan epitaxial suhu dhuwur.
• Proses Silicon Epitaxy:Ditrapake ing reaktor epitaxial silikon kanggo ndhukung wafer lan njaga kondisi termal sing stabil.
• Epitaksi MOCVD:Susceptor grafit VETEK cocok kanggo MOCVD, epitaxy LED, epitaxy GaN, epitaxy silikon, lan proses manufaktur semikonduktor liyane sing mbutuhake keseragaman termal lan stabilitas kimia sing apik.
• Peralatan Produksi Semikonduktor:Kompatibel karo macem-macem platform epitaxy, kalebu tungku horisontal LPE, Aixtron, NuFlare, lan peralatan semikonduktor sing gegandhengan.

4. Kenapa Pilih VETEK?

VETEK nyedhiyakake solusi susceptor grafit sing dilapisi CVD SiC khusus sing nggabungake pemurnian grafit, mesin presisi, lapisan CVD, lan kemampuan inspeksi. Produk susceptor grafit kelas semikonduktor kita nduweni kemurnian dhuwur, kekandelan lapisan seragam, kinerja termal sing apik, lan umur layanan sing dawa kanggo aplikasi operator wafer sing nuntut.