Produk
SiC Coated Graphite Barrel Susceptor kanggo EPI
  • SiC Coated Graphite Barrel Susceptor kanggo EPISiC Coated Graphite Barrel Susceptor kanggo EPI
  • SiC Coated Graphite Barrel Susceptor kanggo EPISiC Coated Graphite Barrel Susceptor kanggo EPI
  • SiC Coated Graphite Barrel Susceptor kanggo EPISiC Coated Graphite Barrel Susceptor kanggo EPI

SiC Coated Graphite Barrel Susceptor kanggo EPI

Basis pemanas wafer epitaxial jinis tong minangka produk kanthi teknologi pangolahan rumit, sing nantang banget kanggo peralatan lan kemampuan mesin. Vetek semikonduktor wis peralatan majeng lan pengalaman sugih ing Processing SiC ditutupi grafit tong minyak susceptor kanggo EPI, bisa nyedhiyani padha urip pabrik asli, liyane biaya-efektif tong minyak epitaxial.Yen sampeyan kasengsem ing datas kita, pls ora ragu-ragu kanggo hubungi kita.

VeTek Semikonduktorminangka pabrikan & pemasok China sing utamane ngasilake susceptor tong grafit sing dilapisi SiC kanggo EPI kanthi pengalaman pirang-pirang taun. Muga-muga bisa mbangun hubungan bisnis karo sampeyan.EPI (Epitaksi)minangka proses kritis ing manufaktur semikonduktor canggih. Iki kalebu deposisi lapisan tipis materi ing substrat kanggo nggawe struktur piranti sing kompleks. Susceptor laras grafit sing dilapisi SiC kanggo EPI umume digunakake minangka susceptor ing reaktor EPI amarga konduktivitas termal sing apik banget lan tahan kanggo suhu dhuwur. karoLapisan CVD-SiC, dadi luwih tahan kontaminasi, erosi, lan kejut termal. Iki nyebabake umur dawa kanggo para peluru lan kualitas film sing apik.


Kaluwihan saka Susceptor Barrel Graphite Coated SiC:


Suda Kontaminasi: Sifat inert SiC nyegah impurities saka adhering menyang lumahing susceptor, ngurangi risiko kontaminasi film setor.

Tambah Resistance Erosi: SIC luwih tahan banget kanggo erosi tinimbang grafit konvensional, nyebabake umur luwih suwe kanggo para ugheptor.

Stabilitas termal sing luwih apik: SiC nduweni konduktivitas termal banget lan bisa tahan suhu dhuwur tanpa distorsi sing signifikan.

Kualitas film sing ditingkatake: Stabilitas termal sing luwih apik lan suda kontaminasi ngasilake film sing disimpen kanthi kualitas sing luwih apik kanthi seragam lan kontrol ketebalan sing luwih apik.


Aplikasi:

Susceptor laras grafit sing dilapisi SiC digunakake akeh ing macem-macem aplikasi EPI, kalebu:

✔ LED berbasis GaN

✔ Elektronik listrik

✔ Piranti OPTOELEKTRIK

✔ Transistor frekuensi dhuwur

✔ sensor

Parameter produk Susceptor Barrel Sis Coated

Properties fisik sakagrafit isostatik
Properti Unit Nilai Khas
Kapadhetan gedhe g/cm³ 1.83
Hardness HSD 58
Resistivitas listrik μω.m 10
Kekuwatan fleksibal MPA 47
Kekuwatan kompresif MPA 103
Kekuwatan tensile MPA 31
Modulus enom GPa 11.8
Thermal Expansion (CTE) 10-6K-1 4.6
Konduktivitas termal W · m-1· K-1 130
Ukuran gandum rata-rata μm 8-10
Porositas % 10
Konten awu ppm ≤10 (sawise diresiki)

        Cathetan: Sadurunge lapisan, kita bakal nindakake pemurnian pisanan, sawise lapisan, bakal nindakake pemurnian kapindho.

Sifat fisik dhasar saka lapisan CVD SiC

Properties fisik dhasar lapisan SIC CVD
Properti Nilai Khas
Struktur Kristal FCC β Fase Polycrystalline, utamane (111) orientasi
Kapadhetan lapisan SIC 3.21 g / cm³
Kekayaan CVD Coating SIC 2500 Vickers (52G Muu)
Ukuran gandum 2~10μm
Kemurnian kimia 99.99995%
Kapasitas panas 640 J · KG-1· K-1
Suhu Sublimasi 2700 ℃
Kekuwatan fleksibal 415 MPa RT 4-titik
Modulus enom 430 GPA 4pt Bend, 1300 ℃
Konduktivitas termal 300w · m-1· K-1
Ekspansi Termal (Cte) 4.5×10-6K-1

VeTek SemikonduktorSusceptor Barrel Grafis Sic Coated Kanggo EpiToko Produksi

SiC Coated Graphite Barrel Susceptor for EPI products shops

Hot Tags: Susceptor Barrel Grafis Sic Coated Kanggo Epi
Kirim Pitakonan
Info kontak
Kanggo pitakon babagan Silicon Carbide Coating, Tantalum Carbide Coating, Graphite Khusus utawa dhaptar rega, mangga tinggalake email sampeyan lan kita bakal hubungi sajrone 24 jam.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept