EPI pendukung

Vetek Semiconduktor minangka pimpinan profesional China Epi ditindakake, Tugor Planor And lan Produsen Dhukungan Grafit Grafit. lan Dhukungan EPI kita minangka komponen penting kanggoWutah epitoxialIng proses manufaktur semikonduktor. Fungsi utama yaiku ndhukung lan panas wafer supaya lapisan epitoxial sing bermutu tinggi bisa thukul kanthi seragam ing permukaan wafer.

Susing Epi Semikonis Vetek biasane digawe saka grafit kemurnian dhuwur lan dilapisi nganggo lapisan karbida silikon (SIC).Desain iki duwe kaluwihan tombol ing ngisor iki:

● Stabilitas suhu dhuwur: Susceptor Epi bisa tetep stabil ing lingkungan suhu sing dhuwur, kanggo njamin alat seragam lapisan epitexial.

● Rintangan karat: Pelapisan sic duwe resistensi karat sing apik lan bisa nolak erosi saka gas kimia, nambah layanan tray.

● Konduktivitas termal: Konduktivitas termal sing dhuwur kanggo nyebarake suhu seragam wafer nalika dadi panas, saéngga ningkatake kualitas lapisan epitoxial.

● Pertandingan Ekspansi Eksisi termal: Koisensi ekspansi termal padha karo grafit, nyingkiri masalah pelat lapisan amarga ekspansi termal lan kontraksi.

Properti fisik dhasar sakaPelapisan SIC CVD:

Toko Produksi Coating CVD:

Ringkesan Rantai Industri Semikonduktor Chip Epitoxy: