Fokus cincin kanggo etching

Ringing Etching Monocrystalline minangka komponen penting ing proses etmikon Semikonduktor kanthi njaga stabilitas lingkungan plasma, nglindhungi nggunakake peralatan lan adaptasi kanggo syarat proses maju. Kinerja kasebut langsung mengaruhi ngasilake lan biaya manufaktur chip.

Cincin fokus, elektroda lan etc (pengontrol suhu Suhu) yaiku konsumables inti kanggo njamin keseragam plasma, kontrol suhu lan proses ulang. Komponen kasebut cocog karo kamar vakum saka CVD, etching lan film lan langsung nemtokake akurasi lan ngasilake etching saka pofer wafer.

Nanggepi panjaluk ketat kanggo properti materi ing proses manufaktur tinggi, Veteksemi inovasi kanthi resistensi monocrystalline kanthi resistensial kanthi resistensi 10-20 · cm kanggo ngasilake cincin lan ndhukung konsumsi. Liwat lirik kanthi kolaborasi ilmiah materi, desain listrik lan termodinamik, dokter veteksemi bisa ngasilake cincin sing fokus lan ndhukung konsumen. Ngluwihi solusi kuarsa tradisional kanthi lengkap kanggo entuk dandan breakthrough ing umur dawa, akurasi lan efektifitas.

Perbandingan Bahan Bahan lan Rekot Optimization

Silikon monocrystals vs. Kuarsa

Ganti Product Producte

1. Akurasi proses atom

Optimisasi tahan resistensi + Ultra-Presision Polishing (RA <0.1μM) ngilangi pembuangan micro-discharge lan kontaminasi partikel kanggo cocog karo standar Semi F47.

Mundhut dielektrik (tanly <0.001) banget dicocogake karo lingkungan dielektrik wafer, ngindhari deleksi lapangan listrik lan ndhukung 3D Nand 89.5 ± 0.3 °.

2. Kompatibilitas sistem cerdas

Integrasi karo Modul Kontrol Suhu Etc Edge, aliran udara pendinginan wis dinamis diatur dening thermocouple lan AI algoritma kanggo ngimbangi hanyut termal kamar.

Ndhukung jaringan match RF sing cocog karo jaringan matching, cocog kanggo mesin mainstream kayata Amat Centura, Lam Research Kiyo lan ACP / CCP Plasma.

3. Komplektif biaya lengkap

Urip silikon monocrystalline 275% luwih dawa tinimbang saka kuarsa, siklus pangopènan luwih saka 3.000 jam, lan biaya kepemilikan (TCO) dikurangi 30%.

Layanan Kustomisasi Gradient Resep Layanan (5-100ω · CM), cocog karo jendhela Proses Pelanggan (kayata Material GAP GAM / SIC Wide Band).

Efek resikan

Istilah komersial produk

Kuantitas pesenan minimal	1 pesawat
Regane	Hubungi kanggo kutipan khusus
Rincian kemasan	Paket Ekspor Standard
Wektu Pangiriman	Wektu Pangiriman: 30-35 dina sawise konfirmasi pesenan
Sarat Pembayaran	T / t
Kemampuan pasokan	600 set / Wulan