Produk

Susceptor waffer cVD Coated VetekSemicon minangka solusi sing nglereni kanggo mriksa Épitoxial, nawakake kesucian ultra-dhuwur (stabilitas ICP-e10 sing apik banget kanggo gan, sic, lan lapisan eCP-basis sing luar biasa. Engineered kanthi teknologi CVD Precision CVD, Ndhukung 6 "/ 8" / 12 "Wafers, njamin stres termal minimal, lan nganggo suhu sing ekstrem nganti 1600 ° C.

Penyusangan planet sing dilapisi SIC kita minangka komponen inti ing proses suhu suhu semikonduktor. Rancangane nggabungake landasan grafun kanthi lapisan karbida silikon kanggo entuk optimasi kinerja manajemen termal, stabilitas kimia lan kekuatan mekanik.

Piring keramik paling keramik yaiku bahan keramik keramik sing digawe saka silikon karbida minangka komponen utama lan diproses dening proses khusus. Dheweke penting bahan ing pabrik semikonduktor, deposisi uap kimia (CVD) lan proses liyane.

Cincin Sealing Coated SIC kita kanggo epitexy minangka komponen pengecapan kinerja kanthi dhuwur utawa karbon-karbis sing dilapisi karo pendhudhuk vapor grafit kanthi resistensi uap sing ekstrem (E.g., MOCVD, MBE).

Boat kewalian sing dhuwur digawe saka fused kwarsa (konten SIO₂ ≥ 99.99%). Kanthi resistansi sing apik banget kanggo lingkungan sing ekstrem, koefisi ekspansi termal, lan siklus urip dawa, wis dadi bahan kunci sing ora bisa diganti ing industri semikonduktor lan energi anyar.

Fokus cincin kanggo etching minangka komponen utama kanggo njamin proses akurasi lan stabilitas. Komponen kasebut persis sing tepat ing kamar vakum kanggo nggayuh machining seragam struktur Nanoscale ing permukaan wafer liwat permukaan wafer liwat distribusi plasma, suhu sing tepat lan keseragaman lapangan.